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金屬化連接接觸孔接觸孔電遷徙電遷徙機械泵機械泵Roughing pumpHi-Vac valve高真空閥高真空閥高真空泵高真空泵Hi-Vac pumpProcess chamber工藝腔（鐘罩工藝腔（鐘罩)Crucible坩鍋坩鍋Evaporating metal蒸發(fā)金屬蒸發(fā)金屬Wafer carrier 載片臺載片臺 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)Exhauste-e-e-DC直流二極管濺射裝置直流二極管濺射裝置Substrate 1) 電場產(chǎn)生電場產(chǎn)生Ar+ 離子離子 2) 高能高能Ar+撞擊靶材撞擊靶材 3) 將金屬原子從靶材將金屬原子從靶材中撞出中撞出.陽極陽極 (+)陰極陰極(-)Ar原子原子電場電場金屬靶材金屬靶材等離子體等離子體 5) 金屬淀積在襯底上金屬淀積在襯底上 6) 用真空泵將多于物用真空泵將多于物質(zhì)從腔體中抽出質(zhì)從腔體中抽出4) 金屬原子向襯底遷移金屬原子向襯底遷移Gas delivery+0高能量的高能量的Ar+離子離子被濺射出的金屬原子被濺射出的金屬原子金屬原子金屬原子陰極陰極 (-)彈回的氬離子和自由電彈回的氬離子和自由電子復合形成中性原子子復合形成中性原子
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