臨沂機(jī)械設(shè)備項(xiàng)目可行性研究報(bào)告

1、泓域咨詢(xún)/臨沂機(jī)械設(shè)備項(xiàng)目可行性研究報(bào)告目錄 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc108565911 第一章 市場(chǎng)分析 PAGEREF _Toc108565911 h 9 HYPERLINK l _Toc108565912 一、 高密度等離子體刻蝕 PAGEREF _Toc108565912 h 9 HYPERLINK l _Toc108565913 二、 反應(yīng)離子刻蝕 PAGEREF _Toc108565913 h 10 HYPERLINK l _Toc108565914 三、 原子層刻蝕為未來(lái)技術(shù)發(fā)展方向 PAGEREF _Toc108565914 h 10 H

2、YPERLINK l _Toc108565915 第二章 項(xiàng)目基本情況 PAGEREF _Toc108565915 h 15 HYPERLINK l _Toc108565916 一、 項(xiàng)目名稱(chēng)及建設(shè)性質(zhì) PAGEREF _Toc108565916 h 15 HYPERLINK l _Toc108565917 二、 項(xiàng)目承辦單位 PAGEREF _Toc108565917 h 15 HYPERLINK l _Toc108565918 三、 項(xiàng)目定位及建設(shè)理由 PAGEREF _Toc108565918 h 16 HYPERLINK l _Toc108565919 四、 報(bào)告編制說(shuō)明 PAGERE

3、F _Toc108565919 h 17 HYPERLINK l _Toc108565920 五、 項(xiàng)目建設(shè)選址 PAGEREF _Toc108565920 h 19 HYPERLINK l _Toc108565921 六、 項(xiàng)目生產(chǎn)規(guī)模 PAGEREF _Toc108565921 h 20 HYPERLINK l _Toc108565922 七、 建筑物建設(shè)規(guī)模 PAGEREF _Toc108565922 h 20 HYPERLINK l _Toc108565923 八、 環(huán)境影響 PAGEREF _Toc108565923 h 20 HYPERLINK l _Toc108565924 九、

4、 項(xiàng)目總投資及資金構(gòu)成 PAGEREF _Toc108565924 h 20 HYPERLINK l _Toc108565925 十、 資金籌措方案 PAGEREF _Toc108565925 h 21 HYPERLINK l _Toc108565926 十一、 項(xiàng)目預(yù)期經(jīng)濟(jì)效益規(guī)劃目標(biāo) PAGEREF _Toc108565926 h 21 HYPERLINK l _Toc108565927 十二、 項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度規(guī)劃 PAGEREF _Toc108565927 h 21 HYPERLINK l _Toc108565928 主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表 PAGEREF _Toc108565928 h 22

5、 HYPERLINK l _Toc108565929 第三章 項(xiàng)目背景分析 PAGEREF _Toc108565929 h 24 HYPERLINK l _Toc108565930 一、 等離子體刻蝕面臨的問(wèn)題 PAGEREF _Toc108565930 h 24 HYPERLINK l _Toc108565931 二、 離子束刻蝕 PAGEREF _Toc108565931 h 24 HYPERLINK l _Toc108565932 三、 對(duì)接融入?yún)^(qū)域戰(zhàn)略布局，建設(shè)區(qū)域性中心城市 PAGEREF _Toc108565932 h 25 HYPERLINK l _Toc108565933 四、

6、 強(qiáng)化創(chuàng)新核心地位，不斷增創(chuàng)高質(zhì)量發(fā)展新優(yōu)勢(shì) PAGEREF _Toc108565933 h 27 HYPERLINK l _Toc108565934 五、 項(xiàng)目實(shí)施的必要性 PAGEREF _Toc108565934 h 30 HYPERLINK l _Toc108565935 第四章 建設(shè)內(nèi)容與產(chǎn)品方案 PAGEREF _Toc108565935 h 31 HYPERLINK l _Toc108565936 一、 建設(shè)規(guī)模及主要建設(shè)內(nèi)容 PAGEREF _Toc108565936 h 31 HYPERLINK l _Toc108565937 二、 產(chǎn)品規(guī)劃方案及生產(chǎn)綱領(lǐng) PAGEREF _

7、Toc108565937 h 31 HYPERLINK l _Toc108565938 產(chǎn)品規(guī)劃方案一覽表 PAGEREF _Toc108565938 h 31 HYPERLINK l _Toc108565939 第五章 項(xiàng)目選址方案 PAGEREF _Toc108565939 h 33 HYPERLINK l _Toc108565940 一、 項(xiàng)目選址原則 PAGEREF _Toc108565940 h 33 HYPERLINK l _Toc108565941 二、 建設(shè)區(qū)基本情況 PAGEREF _Toc108565941 h 33 HYPERLINK l _Toc108565942 三、

8、 實(shí)施擴(kuò)大內(nèi)需戰(zhàn)略，主動(dòng)融入新發(fā)展格局 PAGEREF _Toc108565942 h 38 HYPERLINK l _Toc108565943 四、 項(xiàng)目選址綜合評(píng)價(jià) PAGEREF _Toc108565943 h 40 HYPERLINK l _Toc108565944 第六章 建筑工程可行性分析 PAGEREF _Toc108565944 h 41 HYPERLINK l _Toc108565945 一、 項(xiàng)目工程設(shè)計(jì)總體要求 PAGEREF _Toc108565945 h 41 HYPERLINK l _Toc108565946 二、 建設(shè)方案 PAGEREF _Toc10856594

9、6 h 42 HYPERLINK l _Toc108565947 三、 建筑工程建設(shè)指標(biāo) PAGEREF _Toc108565947 h 42 HYPERLINK l _Toc108565948 建筑工程投資一覽表 PAGEREF _Toc108565948 h 42 HYPERLINK l _Toc108565949 第七章 發(fā)展規(guī)劃 PAGEREF _Toc108565949 h 44 HYPERLINK l _Toc108565950 一、 公司發(fā)展規(guī)劃 PAGEREF _Toc108565950 h 44 HYPERLINK l _Toc108565951 二、 保障措施 PAGERE

10、F _Toc108565951 h 50 HYPERLINK l _Toc108565952 第八章 SWOT分析說(shuō)明 PAGEREF _Toc108565952 h 52 HYPERLINK l _Toc108565953 一、 優(yōu)勢(shì)分析（S） PAGEREF _Toc108565953 h 52 HYPERLINK l _Toc108565954 二、 劣勢(shì)分析（W） PAGEREF _Toc108565954 h 53 HYPERLINK l _Toc108565955 三、 機(jī)會(huì)分析（O） PAGEREF _Toc108565955 h 54 HYPERLINK l _Toc10856

11、5956 四、 威脅分析（T） PAGEREF _Toc108565956 h 54 HYPERLINK l _Toc108565957 第九章 運(yùn)營(yíng)模式分析 PAGEREF _Toc108565957 h 62 HYPERLINK l _Toc108565958 一、 公司經(jīng)營(yíng)宗旨 PAGEREF _Toc108565958 h 62 HYPERLINK l _Toc108565959 二、 公司的目標(biāo)、主要職責(zé) PAGEREF _Toc108565959 h 62 HYPERLINK l _Toc108565960 三、 各部門(mén)職責(zé)及權(quán)限 PAGEREF _Toc108565960 h 6

12、3 HYPERLINK l _Toc108565961 四、 財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度 PAGEREF _Toc108565961 h 66 HYPERLINK l _Toc108565962 第十章 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計(jì)劃 PAGEREF _Toc108565962 h 72 HYPERLINK l _Toc108565963 一、 項(xiàng)目進(jìn)度安排 PAGEREF _Toc108565963 h 72 HYPERLINK l _Toc108565964 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計(jì)劃一覽表 PAGEREF _Toc108565964 h 72 HYPERLINK l _Toc108565965 二、 項(xiàng)目實(shí)施保障措施 PAG

13、EREF _Toc108565965 h 73 HYPERLINK l _Toc108565966 第十一章 安全生產(chǎn)分析 PAGEREF _Toc108565966 h 74 HYPERLINK l _Toc108565967 一、 編制依據(jù) PAGEREF _Toc108565967 h 74 HYPERLINK l _Toc108565968 二、 防范措施 PAGEREF _Toc108565968 h 77 HYPERLINK l _Toc108565969 三、 預(yù)期效果評(píng)價(jià) PAGEREF _Toc108565969 h 79 HYPERLINK l _Toc108565970

14、第十二章 工藝技術(shù)分析 PAGEREF _Toc108565970 h 81 HYPERLINK l _Toc108565971 一、 企業(yè)技術(shù)研發(fā)分析 PAGEREF _Toc108565971 h 81 HYPERLINK l _Toc108565972 二、 項(xiàng)目技術(shù)工藝分析 PAGEREF _Toc108565972 h 84 HYPERLINK l _Toc108565973 三、 質(zhì)量管理 PAGEREF _Toc108565973 h 85 HYPERLINK l _Toc108565974 四、 設(shè)備選型方案 PAGEREF _Toc108565974 h 86 HYPERLI

15、NK l _Toc108565975 主要設(shè)備購(gòu)置一覽表 PAGEREF _Toc108565975 h 87 HYPERLINK l _Toc108565976 第十三章 環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108565976 h 88 HYPERLINK l _Toc108565977 一、 編制依據(jù) PAGEREF _Toc108565977 h 88 HYPERLINK l _Toc108565978 二、 建設(shè)期大氣環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108565978 h 88 HYPERLINK l _Toc108565979 三、 建設(shè)期水環(huán)境影響分析 PAGEREF _T

16、oc108565979 h 91 HYPERLINK l _Toc108565980 四、 建設(shè)期固體廢棄物環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108565980 h 91 HYPERLINK l _Toc108565981 五、 建設(shè)期聲環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108565981 h 91 HYPERLINK l _Toc108565982 六、 環(huán)境管理分析 PAGEREF _Toc108565982 h 93 HYPERLINK l _Toc108565983 七、 結(jié)論 PAGEREF _Toc108565983 h 94 HYPERLINK l _Toc1085659

17、84 八、 建議 PAGEREF _Toc108565984 h 95 HYPERLINK l _Toc108565985 第十四章 組織機(jī)構(gòu)管理 PAGEREF _Toc108565985 h 96 HYPERLINK l _Toc108565986 一、 人力資源配置 PAGEREF _Toc108565986 h 96 HYPERLINK l _Toc108565987 勞動(dòng)定員一覽表 PAGEREF _Toc108565987 h 96 HYPERLINK l _Toc108565988 二、 員工技能培訓(xùn) PAGEREF _Toc108565988 h 96 HYPERLINK l

18、_Toc108565989 第十五章 項(xiàng)目投資分析 PAGEREF _Toc108565989 h 99 HYPERLINK l _Toc108565990 一、 投資估算的依據(jù)和說(shuō)明 PAGEREF _Toc108565990 h 99 HYPERLINK l _Toc108565991 二、 建設(shè)投資估算 PAGEREF _Toc108565991 h 100 HYPERLINK l _Toc108565992 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108565992 h 104 HYPERLINK l _Toc108565993 三、 建設(shè)期利息 PAGEREF _Toc1085659

19、93 h 104 HYPERLINK l _Toc108565994 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108565994 h 104 HYPERLINK l _Toc108565995 固定資產(chǎn)投資估算表 PAGEREF _Toc108565995 h 106 HYPERLINK l _Toc108565996 四、 流動(dòng)資金 PAGEREF _Toc108565996 h 106 HYPERLINK l _Toc108565997 流動(dòng)資金估算表 PAGEREF _Toc108565997 h 107 HYPERLINK l _Toc108565998 五、 項(xiàng)目總投資 PAGER

20、EF _Toc108565998 h 108 HYPERLINK l _Toc108565999 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108565999 h 108 HYPERLINK l _Toc108566000 六、 資金籌措與投資計(jì)劃 PAGEREF _Toc108566000 h 109 HYPERLINK l _Toc108566001 項(xiàng)目投資計(jì)劃與資金籌措一覽表 PAGEREF _Toc108566001 h 109 HYPERLINK l _Toc108566002 第十六章 經(jīng)濟(jì)效益 PAGEREF _Toc108566002 h 111 HYPERLINK l _

21、Toc108566003 一、 經(jīng)濟(jì)評(píng)價(jià)財(cái)務(wù)測(cè)算 PAGEREF _Toc108566003 h 111 HYPERLINK l _Toc108566004 營(yíng)業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc108566004 h 111 HYPERLINK l _Toc108566005 綜合總成本費(fèi)用估算表 PAGEREF _Toc108566005 h 112 HYPERLINK l _Toc108566006 固定資產(chǎn)折舊費(fèi)估算表 PAGEREF _Toc108566006 h 113 HYPERLINK l _Toc108566007 無(wú)形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷(xiāo)估算表 PAGE

22、REF _Toc108566007 h 114 HYPERLINK l _Toc108566008 利潤(rùn)及利潤(rùn)分配表 PAGEREF _Toc108566008 h 116 HYPERLINK l _Toc108566009 二、 項(xiàng)目盈利能力分析 PAGEREF _Toc108566009 h 116 HYPERLINK l _Toc108566010 項(xiàng)目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108566010 h 118 HYPERLINK l _Toc108566011 三、 償債能力分析 PAGEREF _Toc108566011 h 119 HYPERLINK l _Toc108

23、566012 借款還本付息計(jì)劃表 PAGEREF _Toc108566012 h 120 HYPERLINK l _Toc108566013 第十七章 項(xiàng)目招標(biāo)、投標(biāo)分析 PAGEREF _Toc108566013 h 122 HYPERLINK l _Toc108566014 一、 項(xiàng)目招標(biāo)依據(jù) PAGEREF _Toc108566014 h 122 HYPERLINK l _Toc108566015 二、 項(xiàng)目招標(biāo)范圍 PAGEREF _Toc108566015 h 122 HYPERLINK l _Toc108566016 三、 招標(biāo)要求 PAGEREF _Toc108566016 h

24、122 HYPERLINK l _Toc108566017 四、 招標(biāo)組織方式 PAGEREF _Toc108566017 h 123 HYPERLINK l _Toc108566018 五、 招標(biāo)信息發(fā)布 PAGEREF _Toc108566018 h 123 HYPERLINK l _Toc108566019 第十八章 項(xiàng)目總結(jié)分析 PAGEREF _Toc108566019 h 124 HYPERLINK l _Toc108566020 第十九章 附表附件 PAGEREF _Toc108566020 h 126 HYPERLINK l _Toc108566021 主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表 PA

25、GEREF _Toc108566021 h 126 HYPERLINK l _Toc108566022 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108566022 h 127 HYPERLINK l _Toc108566023 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108566023 h 128 HYPERLINK l _Toc108566024 固定資產(chǎn)投資估算表 PAGEREF _Toc108566024 h 129 HYPERLINK l _Toc108566025 流動(dòng)資金估算表 PAGEREF _Toc108566025 h 130 HYPERLINK l _Toc1085660

26、26 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108566026 h 131 HYPERLINK l _Toc108566027 項(xiàng)目投資計(jì)劃與資金籌措一覽表 PAGEREF _Toc108566027 h 132 HYPERLINK l _Toc108566028 營(yíng)業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc108566028 h 133 HYPERLINK l _Toc108566029 綜合總成本費(fèi)用估算表 PAGEREF _Toc108566029 h 133 HYPERLINK l _Toc108566030 固定資產(chǎn)折舊費(fèi)估算表 PAGEREF _Toc1085

27、66030 h 134 HYPERLINK l _Toc108566031 無(wú)形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷(xiāo)估算表 PAGEREF _Toc108566031 h 135 HYPERLINK l _Toc108566032 利潤(rùn)及利潤(rùn)分配表 PAGEREF _Toc108566032 h 136 HYPERLINK l _Toc108566033 項(xiàng)目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108566033 h 137 HYPERLINK l _Toc108566034 借款還本付息計(jì)劃表 PAGEREF _Toc108566034 h 138 HYPERLINK l _Toc108566035 建筑

28、工程投資一覽表 PAGEREF _Toc108566035 h 139 HYPERLINK l _Toc108566036 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計(jì)劃一覽表 PAGEREF _Toc108566036 h 140 HYPERLINK l _Toc108566037 主要設(shè)備購(gòu)置一覽表 PAGEREF _Toc108566037 h 141 HYPERLINK l _Toc108566038 能耗分析一覽表 PAGEREF _Toc108566038 h 141報(bào)告說(shuō)明離子束刻蝕（IBE）是具有較強(qiáng)方向性等離子體的一種物理刻蝕機(jī)理。他能對(duì)小尺寸圖型產(chǎn)生各向異性刻蝕，等離子體通常是由電感耦合RF源或微波源產(chǎn)

29、生的。熱燈絲發(fā)射快速運(yùn)動(dòng)的電子。氬原子通過(guò)擴(kuò)散篩進(jìn)入等離子體腔內(nèi)。電磁場(chǎng)環(huán)繞等離子體腔，磁場(chǎng)使電子在圓形軌道上運(yùn)動(dòng)，這種循環(huán)運(yùn)動(dòng)是的電子與氬原子產(chǎn)生多次碰撞，從而產(chǎn)生大量的正氬離子，正氬離子被從帶格柵電極的等離子體源中引出并用一套校準(zhǔn)的電極來(lái)形成高密度束流。離子束刻蝕主要用于金、鉑、銅等較難刻蝕的材料。優(yōu)勢(shì)在于硅片可以?xún)A斜以獲取不同的側(cè)壁形狀。但也面臨低選擇比和低刻蝕速率的問(wèn)題。根據(jù)謹(jǐn)慎財(cái)務(wù)估算，項(xiàng)目總投資8265.37萬(wàn)元，其中：建設(shè)投資6839.01萬(wàn)元，占項(xiàng)目總投資的82.74%；建設(shè)期利息87.90萬(wàn)元，占項(xiàng)目總投資的1.06%；流動(dòng)資金1338.46萬(wàn)元，占項(xiàng)目總投資的16.19%。

30、項(xiàng)目正常運(yùn)營(yíng)每年?duì)I業(yè)收入14400.00萬(wàn)元，綜合總成本費(fèi)用11569.80萬(wàn)元，凈利潤(rùn)2067.74萬(wàn)元，財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率18.82%，財(cái)務(wù)凈現(xiàn)值2486.98萬(wàn)元，全部投資回收期5.81年。本期項(xiàng)目具有較強(qiáng)的財(cái)務(wù)盈利能力，其財(cái)務(wù)凈現(xiàn)值良好，投資回收期合理。本項(xiàng)目生產(chǎn)所需的原輔材料來(lái)源廣泛，產(chǎn)品市場(chǎng)需求旺盛，潛力巨大；本項(xiàng)目產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)先進(jìn)，產(chǎn)品質(zhì)量、成本具有較強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力，三廢排放少，能夠達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)；本項(xiàng)目場(chǎng)地及周邊環(huán)境經(jīng)考察適合本項(xiàng)目建設(shè)；項(xiàng)目產(chǎn)品暢銷(xiāo)，經(jīng)濟(jì)效益好，抗風(fēng)險(xiǎn)能力強(qiáng)，社會(huì)效益顯著，符合國(guó)家的產(chǎn)業(yè)政策。本期項(xiàng)目是基于公開(kāi)的產(chǎn)業(yè)信息、市場(chǎng)分析、技術(shù)方案等信息，并依托行業(yè)分析模型

31、而進(jìn)行的模板化設(shè)計(jì)，其數(shù)據(jù)參數(shù)符合行業(yè)基本情況。本報(bào)告僅作為投資參考或作為學(xué)習(xí)參考模板用途。市場(chǎng)分析高密度等離子體刻蝕在先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。根據(jù)產(chǎn)生等離子體方法的不同，等離子體刻蝕主要分為電容性等離子體刻蝕（CCP）、電感性等離子體刻蝕(ICP)、電子回旋加速震蕩（ECR）和雙等離子體源。電子回旋加速震蕩（ECR）反應(yīng)器是最早商用化的高密度等離子體反應(yīng)器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世紀(jì)80年代初。它在現(xiàn)代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸圖形的刻蝕。ECR反應(yīng)器的一個(gè)關(guān)鍵是磁場(chǎng)平行

32、于反應(yīng)劑的流動(dòng)方向，這使自由電子由于磁力作用做螺旋形運(yùn)動(dòng)。增加了電子碰撞的可能性，從而產(chǎn)生高密度的等離子體。優(yōu)點(diǎn)在于能產(chǎn)生高的各向異性刻蝕圖形，缺點(diǎn)是設(shè)備復(fù)雜度較高。耦合等離子體刻蝕機(jī)包括電容耦合（CCP）與電感耦合（ICP），相比ECR結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且成本低。電容耦合等離子體刻蝕機(jī)（CCP）通過(guò)電容產(chǎn)生等離子體，而電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP）通過(guò)螺旋線圈產(chǎn)生等離子體。硅片基底為加裝有低功率射頻偏置發(fā)生器的電源電極，用來(lái)控制轟擊硅片表面離子的能量，從而使得整個(gè)裝置能夠分離控制離子的能量與濃度。電容性等離子體刻蝕（CCP）主要是以高能離子在較硬的介質(zhì)材料上，刻蝕高深寬比的深孔、深溝等微觀結(jié)構(gòu)；而電

33、感性等離子體刻蝕（ICP）主要是以較低的離子能量和極均勻的離子濃度刻蝕較軟的和較薄的材料。這兩種刻蝕設(shè)備涵蓋了主要的刻蝕應(yīng)用。雙等離子體源刻蝕機(jī)主要由源功率單元、上腔體、下腔體和可移動(dòng)電極四部分組成。這一系統(tǒng)中用到了兩個(gè)RF功率源。位于上部的射頻功率源通過(guò)電感線圈將能量傳遞給等離子體從而增加離子密度，但是離子濃度增加的同時(shí)離子能量也隨之增加。下部加裝的偏置射頻電源通過(guò)電容結(jié)構(gòu)能夠降低轟擊在硅表面離子的能量而不影響離子濃度，從而能夠更好地控制刻蝕速率與選擇比。反應(yīng)離子刻蝕反應(yīng)離子刻蝕（RIE）是一種采用化學(xué)反應(yīng)和物理離子轟擊去除硅片表面材料的技術(shù)，是當(dāng)前常用技術(shù)路徑，屬于物理和化學(xué)混合刻蝕。在傳

34、統(tǒng)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)中，進(jìn)入反應(yīng)室的氣體會(huì)被分解電離為等離子體，等離子體由反應(yīng)正離子、自由基、反應(yīng)原子等組成。反應(yīng)正離子會(huì)轟擊硅片表面形成物理刻蝕，同時(shí)被轟擊的硅片表面化學(xué)活性被提高，之后硅片會(huì)與自由基和反應(yīng)原子形成化學(xué)刻蝕。這個(gè)過(guò)程中由于離子轟擊帶有方向性，RIE技術(shù)具有較好的各向異性。原子層刻蝕為未來(lái)技術(shù)發(fā)展方向隨著國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從14nm-10nm階段向7nm、5nm甚至更小的方向發(fā)展，當(dāng)前市場(chǎng)普遍使用的沉浸式光刻機(jī)受光波長(zhǎng)的限制，關(guān)鍵尺寸無(wú)法滿足要求，必須采用多重模板工藝，利用刻蝕工藝實(shí)現(xiàn)更小的尺寸，使得刻蝕技術(shù)及相關(guān)設(shè)備的重要性進(jìn)一步提升。制程升級(jí)背景下，刻蝕次數(shù)顯著增加。隨著半導(dǎo)

35、體制程的不斷縮小，受光波長(zhǎng)限制，關(guān)鍵尺寸無(wú)法滿足要求，必須采用多重模板工藝，重復(fù)多次薄膜沉積和刻蝕工序以實(shí)現(xiàn)更小的線寬，使得薄膜沉積和刻蝕次數(shù)顯著增加以及刻蝕設(shè)備在晶圓產(chǎn)線中價(jià)值比率不斷上升，其中20納米工藝需要的刻蝕步驟約為50次，而10納米工藝和7納米工藝所需刻蝕步驟則超過(guò)100次。以硅片上的原子層刻蝕為例，首先，氯氣被導(dǎo)入刻蝕腔，氯氣分子吸附于硅材料的表面，形成一個(gè)氯化層。這一步改性步驟具有自限制性：表面一旦飽和，反應(yīng)立即停止。緊接著清楚刻蝕腔中過(guò)量的氯氣，并引入氬離子。使這些離子轟擊硅片，物理性去除硅-氯反應(yīng)后產(chǎn)生的氯化層，進(jìn)而留下下層未經(jīng)改性的硅表面。這種去除過(guò)程仍然依靠自限制性，在

36、氯化層被全部去除后，過(guò)程中止。以上兩個(gè)步驟完成后，一層極薄的材料就能被精準(zhǔn)的從硅片上去除。半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)快速發(fā)展，刻蝕設(shè)備價(jià)值量可觀半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)快速發(fā)展，2022有望再創(chuàng)新高。隨著2013年以來(lái)全球半導(dǎo)體行業(yè)的整體發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模也實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，2013年到2020年間，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額由320億美元提升至712億美元，年復(fù)合增速達(dá)到12.10%。2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模突破1000億美元，達(dá)到歷史新高的1026億美元，同比大增44。根據(jù)SEMI預(yù)測(cè)，2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)有望再創(chuàng)新高，達(dá)到1140億美元。目前全球半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)主要由國(guó)外廠商

37、高度壟斷。根據(jù)芯智訊發(fā)布的基于各公司財(cái)報(bào)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，在未剔除FPD設(shè)備及相關(guān)服務(wù)收入、以2021年度中間匯率為基準(zhǔn)進(jìn)行計(jì)算，2021年全球前十五大半導(dǎo)體設(shè)備廠商中僅有一家ASMPacificTechnology來(lái)自中國(guó)香港，2021年銷(xiāo)售額為17.39億美元，位列榜單第14位。整體來(lái)看目前全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)主要被外國(guó)市場(chǎng)壟斷。刻蝕設(shè)備投資占比不斷，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第一大設(shè)備。先進(jìn)集成電路大規(guī)模生產(chǎn)線的投資可達(dá)100億美元，75%以上是半導(dǎo)體設(shè)備投資，其中最關(guān)鍵、最大宗的設(shè)備是等離子體刻蝕設(shè)備。根據(jù)SEMI的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2018年晶圓加工設(shè)備價(jià)值構(gòu)成中，刻蝕、光刻、CVD設(shè)備占比分別為22.14%

38、、21.30%、16.48%，刻蝕設(shè)備成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第一大設(shè)備。過(guò)去50年中，人類(lèi)微觀加工能力不斷提升，從電子管計(jì)算機(jī)到現(xiàn)在的14納米、7納米器件，微觀器件的基本單元面積縮小了一萬(wàn)億倍。由于光的波長(zhǎng)限制，20納米以下微觀結(jié)構(gòu)的加工更多使用等離子體刻蝕和薄膜沉積的組合。集成電路芯片的制造工藝需要成百上千個(gè)步驟，其中等離子體刻蝕就需要幾十到上百個(gè)步驟，是在制造過(guò)程中使用次數(shù)頻多、加工過(guò)程非常復(fù)雜的重要加工技術(shù)。泛林半導(dǎo)體占據(jù)刻蝕設(shè)備半壁江山光刻機(jī)和刻蝕機(jī)作為產(chǎn)業(yè)的核心裝備，占據(jù)了半導(dǎo)體設(shè)備投資中較大的份額。隨著半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步中器件互連層數(shù)增多，介質(zhì)刻蝕設(shè)備的使用量不斷增大，泛林半導(dǎo)體利用其較低的設(shè)

39、備成本和相對(duì)簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)，逐漸在65nm、45nm設(shè)備市場(chǎng)超過(guò)TEL等企業(yè)，占據(jù)了全球大半個(gè)市場(chǎng)，成為行業(yè)龍頭。根據(jù)Gartner的數(shù)據(jù)顯示，目前全球刻蝕設(shè)備行業(yè)的龍頭企業(yè)仍然為泛林半導(dǎo)體、東京電子和應(yīng)用材料三家，從市占率情況來(lái)看，2020年三家企業(yè)的合計(jì)市場(chǎng)份額占到了全球刻蝕設(shè)備市場(chǎng)的90%以上，其中泛林半導(dǎo)體獨(dú)占44.7%的市場(chǎng)份額。全球龍頭持續(xù)投入，加強(qiáng)研發(fā)、外圍并購(gòu)維持競(jìng)爭(zhēng)力。應(yīng)用材料于2018年6月宣布成立材料工程技術(shù)推動(dòng)中心（META中心），主要目標(biāo)是加快客戶獲得新的芯片制造材料和工藝技術(shù)，從而在半導(dǎo)體性能、成本方面實(shí)現(xiàn)突破。泛林半導(dǎo)體依靠自身巨大的研發(fā)投入和強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，自主研發(fā)

40、核心技術(shù)，走在半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)前沿，開(kāi)創(chuàng)多個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，如其KIYO系列創(chuàng)造了業(yè)內(nèi)最高生產(chǎn)力、選擇比等多項(xiàng)記錄，其ALTUSMaxE系列采用業(yè)界首款低氟鎢ALD工藝，被視作鎢原子層沉積的行業(yè)標(biāo)桿。除此之外，泛林半導(dǎo)體首創(chuàng)ALE技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了原子層級(jí)別的可變控制性和業(yè)內(nèi)最高選擇比。項(xiàng)目基本情況項(xiàng)目名稱(chēng)及建設(shè)性質(zhì)（一）項(xiàng)目名稱(chēng)臨沂機(jī)械設(shè)備項(xiàng)目（二）項(xiàng)目建設(shè)性質(zhì)本項(xiàng)目屬于新建項(xiàng)目項(xiàng)目承辦單位（一）項(xiàng)目承辦單位名稱(chēng)xxx集團(tuán)有限公司（二）項(xiàng)目聯(lián)系人黎xx（三）項(xiàng)目建設(shè)單位概況公司全面推行“政府、市場(chǎng)、投資、消費(fèi)、經(jīng)營(yíng)、企業(yè)”六位一體合作共贏的市場(chǎng)戰(zhàn)略，以高度的社會(huì)責(zé)任積極響應(yīng)政府城市發(fā)展號(hào)召，融入各級(jí)城市

41、的建設(shè)與發(fā)展，在商業(yè)模式思路上領(lǐng)先業(yè)界，對(duì)服務(wù)區(qū)域經(jīng)濟(jì)與社會(huì)發(fā)展做出了突出貢獻(xiàn)。 公司依據(jù)公司法等法律法規(guī)、規(guī)范性文件及公司章程的有關(guān)規(guī)定，制定并由股東大會(huì)審議通過(guò)了董事會(huì)議事規(guī)則，董事會(huì)議事規(guī)則對(duì)董事會(huì)的職權(quán)、召集、提案、出席、議事、表決、決議及會(huì)議記錄等進(jìn)行了規(guī)范。 公司滿懷信心，發(fā)揚(yáng)“正直、誠(chéng)信、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的企業(yè)精神和“追求卓越，回報(bào)社會(huì)” 的企業(yè)宗旨，以?xún)?yōu)良的產(chǎn)品服務(wù)、可靠的質(zhì)量、一流的服務(wù)為客戶提供更多更好的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品及服務(wù)。公司將依法合規(guī)作為新形勢(shì)下實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的基本保障，堅(jiān)持合規(guī)是底線、合規(guī)高于經(jīng)濟(jì)利益的理念，確立了合規(guī)管理的戰(zhàn)略定位，進(jìn)一步明確了全面合規(guī)管理責(zé)任。公司不斷強(qiáng)化

42、重大決策、重大事項(xiàng)的合規(guī)論證審查，加強(qiáng)合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)防控，確保依法管理、合規(guī)經(jīng)營(yíng)。嚴(yán)格貫徹落實(shí)國(guó)家法律法規(guī)和政府監(jiān)管要求，重點(diǎn)領(lǐng)域合規(guī)管理不斷強(qiáng)化，各部門(mén)分工負(fù)責(zé)、齊抓共管、協(xié)同聯(lián)動(dòng)的大合規(guī)管理格局逐步建立，廣大員工合規(guī)意識(shí)普遍增強(qiáng)，合規(guī)文化氛圍更加濃厚。項(xiàng)目定位及建設(shè)理由半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)快速發(fā)展，2022有望再創(chuàng)新高。隨著2013年以來(lái)全球半導(dǎo)體行業(yè)的整體發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模也實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，2013年到2020年間，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額由320億美元提升至712億美元，年復(fù)合增速達(dá)到12.10%。2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模突破1000億美元，達(dá)到歷史新高的1026億美

43、元，同比大增44。根據(jù)SEMI預(yù)測(cè)，2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)有望再創(chuàng)新高，達(dá)到1140億美元。報(bào)告編制說(shuō)明（一）報(bào)告編制依據(jù)1、承辦單位關(guān)于編制本項(xiàng)目報(bào)告的委托；2、國(guó)家和地方有關(guān)政策、法規(guī)、規(guī)劃；3、現(xiàn)行有關(guān)技術(shù)規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定；4、相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃、政策；5、項(xiàng)目承辦單位提供的基礎(chǔ)資料。（二）報(bào)告編制原則1、項(xiàng)目建設(shè)必須遵循國(guó)家的各項(xiàng)政策、法規(guī)和法令，符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策、投資方向及行業(yè)和地區(qū)的規(guī)劃。2、采用的工藝技術(shù)要先進(jìn)適用、操作運(yùn)行穩(wěn)定可靠、能耗低、三廢排放少、產(chǎn)品質(zhì)量好、安全衛(wèi)生。3、以市場(chǎng)為導(dǎo)向，以提高競(jìng)爭(zhēng)力為出發(fā)點(diǎn)，產(chǎn)品無(wú)論在質(zhì)量性能上，還是在價(jià)格上均應(yīng)具有較強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力。4、項(xiàng)

44、目建設(shè)必須高度重視環(huán)境保護(hù)、工業(yè)衛(wèi)生和安全生產(chǎn)。環(huán)保、消防、安全設(shè)施和勞動(dòng)保護(hù)措施必須與主體裝置同時(shí)設(shè)計(jì)，同時(shí)建設(shè)，同時(shí)投入使用。污染物的排放必須達(dá)到國(guó)家規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)，并保證工廠安全運(yùn)行和操作人員的健康。5、將節(jié)能減排與企業(yè)發(fā)展有機(jī)結(jié)合起來(lái)，正確處理企業(yè)發(fā)展與節(jié)能減排的關(guān)系，以企業(yè)發(fā)展提高節(jié)能減排水平，以節(jié)能減排促進(jìn)企業(yè)更好更快發(fā)展。6、按照現(xiàn)代企業(yè)的管理理念和全新的建設(shè)模式進(jìn)行規(guī)劃建設(shè)，要統(tǒng)籌考慮未來(lái)的發(fā)展，為今后企業(yè)規(guī)模擴(kuò)大留有一定的空間。7、以經(jīng)濟(jì)救益為中心，加強(qiáng)項(xiàng)目的市場(chǎng)調(diào)研。按照少投入、多產(chǎn)出、快速發(fā)展的原則和項(xiàng)目設(shè)計(jì)模式改革要求，盡可能地節(jié)省項(xiàng)目建設(shè)投資。在穩(wěn)定可靠的前提下，實(shí)事求是地

45、優(yōu)化各成本要素，最大限度地降低項(xiàng)目的目標(biāo)成本，提高項(xiàng)目的經(jīng)濟(jì)效益，增強(qiáng)項(xiàng)目的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。8、以科學(xué)、實(shí)事求是的態(tài)度，公正、客觀的反映本項(xiàng)目建設(shè)的實(shí)際情況，工程投資堅(jiān)持“求是、客觀”的原則。（二） 報(bào)告主要內(nèi)容投資必要性：主要根據(jù)市場(chǎng)調(diào)查及分析預(yù)測(cè)的結(jié)果，以及有關(guān)的產(chǎn)業(yè)政策等因素，論證項(xiàng)目投資建設(shè)的必要性；技術(shù)的可行性：主要從事項(xiàng)目實(shí)施的技術(shù)角度，合理設(shè)計(jì)技術(shù)方案，并進(jìn)行比選和評(píng)價(jià)；財(cái)務(wù)可行性：主要從項(xiàng)目及投資者的角度,設(shè)計(jì)合理財(cái)務(wù)方案,從企業(yè)理財(cái)?shù)慕嵌冗M(jìn)行資本預(yù)算，評(píng)價(jià)項(xiàng)目的財(cái)務(wù)盈利能力，進(jìn)行投資決策，并從融資主體的角度評(píng)價(jià)股東投資收益、現(xiàn)金流量計(jì)劃及債務(wù)清償能力；組織可行性：制定合理的項(xiàng)目實(shí)

46、施進(jìn)度計(jì)劃、設(shè)計(jì)合理組織機(jī)構(gòu)、選擇經(jīng)驗(yàn)豐富的管理人員、建立良好的協(xié)作關(guān)系、制定合適的培訓(xùn)計(jì)劃等，保證項(xiàng)目順利執(zhí)行；經(jīng)濟(jì)可行性：主要是從資源配置的角度衡量項(xiàng)目的價(jià)值，評(píng)價(jià)項(xiàng)目在實(shí)現(xiàn)區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展目標(biāo)、有效配置經(jīng)濟(jì)資源、增加供應(yīng)、創(chuàng)造就業(yè)、改善環(huán)境、提高人民生活等方面的效益；風(fēng)險(xiǎn)因素及對(duì)策：主要是對(duì)項(xiàng)目的市場(chǎng)風(fēng)險(xiǎn)、技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)、財(cái)務(wù)風(fēng)險(xiǎn)、組織風(fēng)險(xiǎn)、法律風(fēng)險(xiǎn)、經(jīng)濟(jì)及社會(huì)風(fēng)險(xiǎn)等因素進(jìn)行評(píng)價(jià)，制定規(guī)避風(fēng)險(xiǎn)的對(duì)策，為項(xiàng)目全過(guò)程的風(fēng)險(xiǎn)管理提供依據(jù)。項(xiàng)目建設(shè)選址本期項(xiàng)目選址位于xxx（以選址意見(jiàn)書(shū)為準(zhǔn)），占地面積約22.00畝。項(xiàng)目擬定建設(shè)區(qū)域地理位置優(yōu)越，交通便利，規(guī)劃電力、給排水、通訊等公用設(shè)施條件完備，非常適

47、宜本期項(xiàng)目建設(shè)。項(xiàng)目生產(chǎn)規(guī)模項(xiàng)目建成后，形成年產(chǎn)xx套機(jī)械設(shè)備的生產(chǎn)能力。建筑物建設(shè)規(guī)模本期項(xiàng)目建筑面積26770.25，其中：生產(chǎn)工程17763.73，倉(cāng)儲(chǔ)工程3551.99，行政辦公及生活服務(wù)設(shè)施3286.16，公共工程2168.37。環(huán)境影響本項(xiàng)目將嚴(yán)格按照“三同時(shí)”即三廢治理與生產(chǎn)裝置同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)建成使用的原則，貫徹執(zhí)行國(guó)家和地方有關(guān)環(huán)境保護(hù)的法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)。積極采用先進(jìn)而成熟的工藝設(shè)備，最大限度利用資源，盡可能將三廢消除在工藝內(nèi)部，項(xiàng)目單位及時(shí)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的噪音、廢水、固體廢棄物等都要經(jīng)過(guò)處理，避免造成環(huán)境污染，確保該項(xiàng)目的建設(shè)與實(shí)施過(guò)程完全符合國(guó)家環(huán)境保護(hù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目總投

48、資及資金構(gòu)成（一）項(xiàng)目總投資構(gòu)成分析本期項(xiàng)目總投資包括建設(shè)投資、建設(shè)期利息和流動(dòng)資金。根據(jù)謹(jǐn)慎財(cái)務(wù)估算，項(xiàng)目總投資8265.37萬(wàn)元，其中：建設(shè)投資6839.01萬(wàn)元，占項(xiàng)目總投資的82.74%；建設(shè)期利息87.90萬(wàn)元，占項(xiàng)目總投資的1.06%；流動(dòng)資金1338.46萬(wàn)元，占項(xiàng)目總投資的16.19%。（二）建設(shè)投資構(gòu)成本期項(xiàng)目建設(shè)投資6839.01萬(wàn)元，包括工程費(fèi)用、工程建設(shè)其他費(fèi)用和預(yù)備費(fèi)，其中：工程費(fèi)用5847.00萬(wàn)元，工程建設(shè)其他費(fèi)用824.89萬(wàn)元，預(yù)備費(fèi)167.12萬(wàn)元。資金籌措方案本期項(xiàng)目總投資8265.37萬(wàn)元，其中申請(qǐng)銀行長(zhǎng)期貸款3587.78萬(wàn)元，其余部分由企業(yè)自籌。項(xiàng)目

49、預(yù)期經(jīng)濟(jì)效益規(guī)劃目標(biāo)（一）經(jīng)濟(jì)效益目標(biāo)值（正常經(jīng)營(yíng)年份）1、營(yíng)業(yè)收入（SP）：14400.00萬(wàn)元。2、綜合總成本費(fèi)用（TC）：11569.80萬(wàn)元。3、凈利潤(rùn)（NP）：2067.74萬(wàn)元。（二）經(jīng)濟(jì)效益評(píng)價(jià)目標(biāo)1、全部投資回收期（Pt）：5.81年。2、財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率：18.82%。3、財(cái)務(wù)凈現(xiàn)值：2486.98萬(wàn)元。項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度規(guī)劃本期項(xiàng)目按照國(guó)家基本建設(shè)程序的有關(guān)法規(guī)和實(shí)施指南要求進(jìn)行建設(shè)，本期項(xiàng)目建設(shè)期限規(guī)劃12個(gè)月。十四、項(xiàng)目綜合評(píng)價(jià)此項(xiàng)目建設(shè)條件良好，可利用當(dāng)?shù)刎S富的水、電資源以及便利的生產(chǎn)、生活輔助設(shè)施，項(xiàng)目投資省、見(jiàn)效快；此項(xiàng)目貫徹“先進(jìn)適用、穩(wěn)妥可靠、經(jīng)濟(jì)合理、低耗優(yōu)質(zhì)”的原

50、則，技術(shù)先進(jìn)，成熟可靠，投產(chǎn)后可保證達(dá)到預(yù)定的設(shè)計(jì)目標(biāo)。主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表序號(hào)項(xiàng)目單位指標(biāo)備注1占地面積14667.00約22.00畝1.1總建筑面積26770.251.2基底面積9386.881.3投資強(qiáng)度萬(wàn)元/畝296.492總投資萬(wàn)元8265.372.1建設(shè)投資萬(wàn)元6839.012.1.1工程費(fèi)用萬(wàn)元5847.002.1.2其他費(fèi)用萬(wàn)元824.892.1.3預(yù)備費(fèi)萬(wàn)元167.122.2建設(shè)期利息萬(wàn)元87.902.3流動(dòng)資金萬(wàn)元1338.463資金籌措萬(wàn)元8265.373.1自籌資金萬(wàn)元4677.593.2銀行貸款萬(wàn)元3587.784營(yíng)業(yè)收入萬(wàn)元14400.00正常運(yùn)營(yíng)年份5總成本費(fèi)用萬(wàn)元

51、11569.806利潤(rùn)總額萬(wàn)元2756.997凈利潤(rùn)萬(wàn)元2067.748所得稅萬(wàn)元689.259增值稅萬(wàn)元610.1610稅金及附加萬(wàn)元73.2111納稅總額萬(wàn)元1372.6212工業(yè)增加值萬(wàn)元4738.8813盈虧平衡點(diǎn)萬(wàn)元5764.21產(chǎn)值14回收期年5.8115內(nèi)部收益率18.82%所得稅后16財(cái)務(wù)凈現(xiàn)值萬(wàn)元2486.98所得稅后項(xiàng)目背景分析等離子體刻蝕面臨的問(wèn)題隨著當(dāng)前先進(jìn)芯片關(guān)鍵尺寸的不斷減小以及FinFET與3DNAND等三維結(jié)構(gòu)的出現(xiàn)，不同尺寸的結(jié)構(gòu)在刻蝕中的速率差異將影響刻蝕速率，對(duì)于高深寬比的圖形窗口來(lái)說(shuō)，化學(xué)刻蝕劑難以進(jìn)入，反應(yīng)生成物難以排出。另外，薄膜堆棧一般由多層材料組

52、成，不同材料的刻蝕速率不同，很多刻蝕工藝都要求具有極高的選擇比。第三個(gè)問(wèn)題在于當(dāng)達(dá)到期望深度之后，等離子體中的高能離子可能會(huì)導(dǎo)致硅片表面粗糙或底層材料損傷。干法刻蝕通常不能提供對(duì)下一層材料足夠高的刻蝕選擇比。在這種情況下，一個(gè)等離子體刻蝕機(jī)應(yīng)裝上一個(gè)終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，使得在造成最小的過(guò)刻蝕時(shí)停止刻蝕過(guò)程。當(dāng)下一層材料正好露出來(lái)時(shí)，重點(diǎn)檢測(cè)器會(huì)觸發(fā)刻蝕機(jī)控制器而停止刻蝕。離子束刻蝕離子束刻蝕（IBE）是具有較強(qiáng)方向性等離子體的一種物理刻蝕機(jī)理。他能對(duì)小尺寸圖型產(chǎn)生各向異性刻蝕，等離子體通常是由電感耦合RF源或微波源產(chǎn)生的。熱燈絲發(fā)射快速運(yùn)動(dòng)的電子。氬原子通過(guò)擴(kuò)散篩進(jìn)入等離子體腔內(nèi)。電磁場(chǎng)環(huán)繞等離子體

53、腔，磁場(chǎng)使電子在圓形軌道上運(yùn)動(dòng)，這種循環(huán)運(yùn)動(dòng)是的電子與氬原子產(chǎn)生多次碰撞，從而產(chǎn)生大量的正氬離子，正氬離子被從帶格柵電極的等離子體源中引出并用一套校準(zhǔn)的電極來(lái)形成高密度束流。離子束刻蝕主要用于金、鉑、銅等較難刻蝕的材料。優(yōu)勢(shì)在于硅片可以?xún)A斜以獲取不同的側(cè)壁形狀。但也面臨低選擇比和低刻蝕速率的問(wèn)題。對(duì)接融入?yún)^(qū)域戰(zhàn)略布局，建設(shè)區(qū)域性中心城市堅(jiān)持放大格局，站位全國(guó)、全省、區(qū)域，定位臨沂、謀劃臨沂，主動(dòng)對(duì)接國(guó)家戰(zhàn)略，積極融入全省布局，統(tǒng)籌推動(dòng)市域發(fā)展，加快形成內(nèi)外聯(lián)動(dòng)、互促共進(jìn)的區(qū)域發(fā)展格局。打造山東省對(duì)接長(zhǎng)三角的門(mén)戶。依托區(qū)位、交通等優(yōu)勢(shì)，全方位對(duì)接長(zhǎng)三角；加強(qiáng)與淮河生態(tài)經(jīng)濟(jì)帶城市合作，加快沂沭泗河

54、濕地生態(tài)走廊建設(shè)，探索建立淮河流域聯(lián)防聯(lián)控聯(lián)治生態(tài)保護(hù)體系；推動(dòng)淮海經(jīng)濟(jì)區(qū)協(xié)同發(fā)展，協(xié)作成立產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、開(kāi)發(fā)區(qū)聯(lián)盟，推動(dòng)重大平臺(tái)共建共享，做好濮陽(yáng)-菏澤-棗莊-臨沂城際鐵路、臨沂-棗莊-徐州城際鐵路等前期工作，與連云港、徐州、商丘共同打造淮海經(jīng)濟(jì)區(qū)多式聯(lián)運(yùn)集聚區(qū)。對(duì)接京津冀協(xié)同發(fā)展、粵港澳大灣區(qū)建設(shè)，落實(shí)黃河流域生態(tài)保護(hù)和高質(zhì)量發(fā)展戰(zhàn)略，實(shí)現(xiàn)臨沂新發(fā)展。引領(lǐng)魯南經(jīng)濟(jì)圈一體化發(fā)展。聚焦鄉(xiāng)村振興先行區(qū)、轉(zhuǎn)型發(fā)展新高地、淮河流域經(jīng)濟(jì)隆起帶、全省高質(zhì)量發(fā)展新引擎目標(biāo)定位，積極參與聯(lián)席會(huì)議制度，研究解決區(qū)域協(xié)調(diào)發(fā)展重大問(wèn)題。加快基礎(chǔ)設(shè)施互聯(lián)互通，聯(lián)合建設(shè)魯南高鐵樞紐城市群，形成區(qū)域同城效應(yīng)。加快產(chǎn)業(yè)協(xié)同協(xié)

55、作，發(fā)展區(qū)域性總部經(jīng)濟(jì)，參與建設(shè)魯南經(jīng)濟(jì)圈分布式共享數(shù)據(jù)庫(kù)，促進(jìn)魯南新型智慧城市群建設(shè)，組建工程機(jī)械、生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，促進(jìn)優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)錯(cuò)位發(fā)展。加快生態(tài)環(huán)境共保共治，建立區(qū)域環(huán)評(píng)會(huì)商機(jī)制，實(shí)施區(qū)域污染應(yīng)急聯(lián)動(dòng)，推進(jìn)環(huán)境污染聯(lián)防聯(lián)控。推動(dòng)政務(wù)審批跨市聯(lián)辦，打破行政壁壘，暢通人流、物流通道。加強(qiáng)與省會(huì)經(jīng)濟(jì)圈、膠東經(jīng)濟(jì)圈對(duì)接聯(lián)動(dòng)，促進(jìn)區(qū)域協(xié)同發(fā)展。優(yōu)化市域空間布局。按照“一心引領(lǐng)、三極聯(lián)動(dòng)、兩軸集聚、多點(diǎn)相擁”的市域城鎮(zhèn)體系，構(gòu)建錯(cuò)位發(fā)展、跨區(qū)合作、整體提升的全域協(xié)同發(fā)展新格局。堅(jiān)持“一心引領(lǐng)”，做大做強(qiáng)做優(yōu)中心城區(qū)，支持蘭山區(qū)、羅莊區(qū)、河?xùn)|區(qū)打造總部經(jīng)濟(jì)、電子商務(wù)、國(guó)際貿(mào)易、現(xiàn)代物流、金融服務(wù)、文化

56、創(chuàng)意等現(xiàn)代服務(wù)業(yè)。堅(jiān)持“三極聯(lián)動(dòng)”，規(guī)劃建設(shè)平邑縣、沂水縣、臨港區(qū)三個(gè)市域副中心，布局市級(jí)重大平臺(tái)和產(chǎn)業(yè)，打造全市發(fā)展新增長(zhǎng)極。堅(jiān)持“兩軸集聚”，規(guī)劃東西走向的魯南城鎮(zhèn)發(fā)展軸、南北走向的京滬城鎮(zhèn)發(fā)展軸，吸引人口、產(chǎn)業(yè)向兩軸集聚發(fā)展。堅(jiān)持“多點(diǎn)相擁”，加強(qiáng)郯城縣、蘭陵縣、沂南縣、費(fèi)縣、蒙陰縣、莒南縣、臨沭縣等7個(gè)縣和重點(diǎn)發(fā)展鎮(zhèn)與中心城區(qū)聯(lián)系，實(shí)現(xiàn)相擁發(fā)展。全力支持沂水縣撤縣設(shè)市、莒南縣撤縣設(shè)區(qū)。做大做強(qiáng)縣域經(jīng)濟(jì)。市級(jí)強(qiáng)化領(lǐng)導(dǎo)，簡(jiǎn)政放權(quán)、培強(qiáng)扶弱、完善基礎(chǔ)設(shè)施，增強(qiáng)輻射帶動(dòng)能力，為縣域發(fā)展創(chuàng)造良好環(huán)境；縣域立足實(shí)際、找準(zhǔn)定位，發(fā)揮優(yōu)勢(shì)、突出特色，充分激發(fā)內(nèi)生動(dòng)力，走出特色鮮明、錯(cuò)位布局、集群發(fā)展的

57、縣域發(fā)展之路。實(shí)施爭(zhēng)先進(jìn)位行動(dòng)，在高質(zhì)量發(fā)展的前提下，能發(fā)展多快就發(fā)展多快，力爭(zhēng)每個(gè)縣主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)增幅高于全省縣域平均水平。實(shí)施對(duì)標(biāo)趕超行動(dòng)，按照“基礎(chǔ)條件相近、可學(xué)可比可趕”的要求，瞄準(zhǔn)省內(nèi)外先進(jìn)縣，對(duì)標(biāo)對(duì)表、奮力追趕，實(shí)現(xiàn)縣域綜合實(shí)力大幅提升，力爭(zhēng)全國(guó)百?gòu)?qiáng)縣榜上有名。實(shí)施特色發(fā)展行動(dòng)，堅(jiān)持錯(cuò)位競(jìng)爭(zhēng)、差異化發(fā)展，宜工則工、宜農(nóng)則農(nóng)、宜商則商、宜游則游，每個(gè)縣打造幾個(gè)百億級(jí)甚至五百億級(jí)的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，培植一批過(guò)10億、50億甚至百億的龍頭企業(yè)，做到村壯鎮(zhèn)富縣強(qiáng)。強(qiáng)化創(chuàng)新核心地位，不斷增創(chuàng)高質(zhì)量發(fā)展新優(yōu)勢(shì)堅(jiān)持把創(chuàng)新作為引領(lǐng)發(fā)展的第一動(dòng)力，聚焦全面提升區(qū)域創(chuàng)新能力，重點(diǎn)實(shí)施主體培育、科教興市、人才引育

58、、機(jī)制創(chuàng)新“四項(xiàng)工程”，“十四五”末高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值占比達(dá)46%，努力實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展由助推到支撐再到引領(lǐng)的轉(zhuǎn)變。大力培育創(chuàng)新創(chuàng)造主體。聚焦產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈，實(shí)施重大科技創(chuàng)新平臺(tái)建設(shè)計(jì)劃，加快建設(shè)臨沂應(yīng)用科學(xué)城二期、天河超算淮海分中心、鋼鐵產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新中心、木業(yè)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院、魯南醫(yī)養(yǎng)健康創(chuàng)新中心、清華啟迪科創(chuàng)大廈等重點(diǎn)科創(chuàng)平臺(tái)。支持企業(yè)與高校、科研院所合作，建設(shè)工程研究中心、重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、技術(shù)創(chuàng)新中心、院士工作站等研發(fā)機(jī)構(gòu)，構(gòu)建多層級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)體系。強(qiáng)化企業(yè)創(chuàng)新主體地位，支持企業(yè)增加研發(fā)投入，力爭(zhēng)規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)研發(fā)平臺(tái)覆蓋率超過(guò)70%。鼓勵(lì)企業(yè)牽頭組建創(chuàng)新聯(lián)合體，加快共性技術(shù)平臺(tái)建設(shè)，推

59、動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游、大中小企業(yè)融通創(chuàng)新。實(shí)施高新技術(shù)企業(yè)、科技型中小企業(yè)倍增計(jì)劃，積極培育“單項(xiàng)冠軍”“瞪羚”企業(yè)。實(shí)施重大科技創(chuàng)新攻關(guān)，支持企業(yè)主動(dòng)參與國(guó)家、省重大研發(fā)計(jì)劃，在關(guān)鍵核心技術(shù)上力爭(zhēng)有所突破。建設(shè)高質(zhì)量教育體系。堅(jiān)持教育優(yōu)先發(fā)展，推進(jìn)教育評(píng)價(jià)綜合改革，加強(qiáng)創(chuàng)新人才教育培養(yǎng)，更好發(fā)揮教育在創(chuàng)新發(fā)展中的動(dòng)力源作用。建設(shè)高素質(zhì)專(zhuān)業(yè)化創(chuàng)新型教師隊(duì)伍，全面加強(qiáng)教師思想政治建設(shè)和師德師風(fēng)建設(shè)，促進(jìn)學(xué)生德智體美勞全面發(fā)展。推動(dòng)基礎(chǔ)教育優(yōu)質(zhì)均衡發(fā)展，推進(jìn)學(xué)前教育普及普惠、義務(wù)教育城鄉(xiāng)均衡、高中教育多樣發(fā)展、特殊教育保障健全，全力構(gòu)建保障有力、布局合理、學(xué)段銜接的教育體系。大力發(fā)展職業(yè)技能教育，推動(dòng)市

60、屬技校按程序納入高職院校序列，新增一批高等職業(yè)院校，培養(yǎng)高素質(zhì)技能人才。建設(shè)產(chǎn)教融合示范區(qū)（園），加快建設(shè)臨沂科技教育創(chuàng)新城。支持臨沂大學(xué)等高校開(kāi)展國(guó)家“雙一流”和省“雙高”建設(shè)，推進(jìn)省市共建臨沂大學(xué)，謀劃組建臨沂大學(xué)醫(yī)學(xué)院。積極引進(jìn)高校院所，服務(wù)老區(qū)高質(zhì)量發(fā)展。打造人才創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)高地。堅(jiān)持尊重勞動(dòng)、尊重知識(shí)、尊重人才、尊重創(chuàng)造，用好現(xiàn)有人才、培養(yǎng)緊缺人才、引進(jìn)急需人才。完善普惠性與個(gè)性化相結(jié)合的人才政策體系，梯次培養(yǎng)、精準(zhǔn)引育高層次人才、創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才和優(yōu)秀青年人才，構(gòu)筑集聚各方優(yōu)秀人才的科研創(chuàng)新高地。實(shí)施新一輪企業(yè)家素質(zhì)提升工程，培育具備國(guó)際視野和現(xiàn)代經(jīng)營(yíng)理念的優(yōu)秀企業(yè)家群體。大力弘揚(yáng)工匠