關(guān)于成立刻蝕設(shè)備公司商業(yè)計(jì)劃書（范文模板）

1、泓域咨詢/關(guān)于成立刻蝕設(shè)備公司商業(yè)計(jì)劃書關(guān)于成立刻蝕設(shè)備公司商業(yè)計(jì)劃書xx（集團(tuán)）有限公司報(bào)告說明xx（集團(tuán)）有限公司主要由xxx投資管理公司和xxx（集團(tuán)）有限公司共同出資成立。其中：xxx投資管理公司出資222.00萬元，占xx（集團(tuán)）有限公司30%股份；xxx（集團(tuán)）有限公司出資518萬元，占xx（集團(tuán)）有限公司70%股份。根據(jù)謹(jǐn)慎財(cái)務(wù)估算，項(xiàng)目總投資30871.26萬元，其中：建設(shè)投資24847.40萬元，占項(xiàng)目總投資的80.49%；建設(shè)期利息352.46萬元，占項(xiàng)目總投資的1.14%；流動(dòng)資金5671.40萬元，占項(xiàng)目總投資的18.37%。項(xiàng)目正常運(yùn)營(yíng)每年?duì)I業(yè)收入58800.00萬元

2、，綜合總成本費(fèi)用46084.71萬元，凈利潤(rùn)9307.02萬元，財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率23.92%，財(cái)務(wù)凈現(xiàn)值20763.02萬元，全部投資回收期5.28年。本期項(xiàng)目具有較強(qiáng)的財(cái)務(wù)盈利能力，其財(cái)務(wù)凈現(xiàn)值良好，投資回收期合理。常用來代表刻蝕效率的參數(shù)主要有：刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差和選擇比等?？涛g速率指刻蝕過程中去除硅片表面材料的速度；刻蝕剖面指的是刻蝕圖形的側(cè)壁形狀，通常分為各向同性和各向異性剖面；刻蝕偏差指的是線寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化，通常由橫向鉆蝕引起；選擇比指的是同一刻蝕條件下兩種材料刻蝕速率比，高選擇比意味著不需要的材料會(huì)被刻除。本報(bào)告為模板參考范文，不作為投資建議，僅供參考。報(bào)告產(chǎn)業(yè)背景

3、、市場(chǎng)分析、技術(shù)方案、風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估等內(nèi)容基于公開信息；項(xiàng)目建設(shè)方案、投資估算、經(jīng)濟(jì)效益分析等內(nèi)容基于行業(yè)研究模型。本報(bào)告可用于學(xué)習(xí)交流或模板參考應(yīng)用。目錄 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc108523633 第一章 籌建公司基本信息 PAGEREF _Toc108523633 h 8 HYPERLINK l _Toc108523634 一、 公司名稱 PAGEREF _Toc108523634 h 8 HYPERLINK l _Toc108523635 二、 注冊(cè)資本 PAGEREF _Toc108523635 h 8 HYPERLINK l _Toc1085236

4、36 三、 注冊(cè)地址 PAGEREF _Toc108523636 h 8 HYPERLINK l _Toc108523637 四、 主要經(jīng)營(yíng)范圍 PAGEREF _Toc108523637 h 8 HYPERLINK l _Toc108523638 五、 主要股東 PAGEREF _Toc108523638 h 8 HYPERLINK l _Toc108523639 公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù) PAGEREF _Toc108523639 h 9 HYPERLINK l _Toc108523640 公司合并利潤(rùn)表主要數(shù)據(jù) PAGEREF _Toc108523640 h 9 HYPERLINK l

5、 _Toc108523641 公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù) PAGEREF _Toc108523641 h 11 HYPERLINK l _Toc108523642 公司合并利潤(rùn)表主要數(shù)據(jù) PAGEREF _Toc108523642 h 11 HYPERLINK l _Toc108523643 六、 項(xiàng)目概況 PAGEREF _Toc108523643 h 11 HYPERLINK l _Toc108523644 第二章 市場(chǎng)分析 PAGEREF _Toc108523644 h 14 HYPERLINK l _Toc108523645 一、 等離子體刻蝕面臨的問題 PAGEREF _Toc108

6、523645 h 14 HYPERLINK l _Toc108523646 二、 高密度等離子體刻蝕 PAGEREF _Toc108523646 h 14 HYPERLINK l _Toc108523647 三、 干法刻蝕是芯片制造的主流技術(shù) PAGEREF _Toc108523647 h 16 HYPERLINK l _Toc108523648 第三章 公司籌建方案 PAGEREF _Toc108523648 h 18 HYPERLINK l _Toc108523649 一、 公司經(jīng)營(yíng)宗旨 PAGEREF _Toc108523649 h 18 HYPERLINK l _Toc10852365

7、0 二、 公司的目標(biāo)、主要職責(zé) PAGEREF _Toc108523650 h 18 HYPERLINK l _Toc108523651 三、 公司組建方式 PAGEREF _Toc108523651 h 19 HYPERLINK l _Toc108523652 四、 公司管理體制 PAGEREF _Toc108523652 h 19 HYPERLINK l _Toc108523653 五、 部門職責(zé)及權(quán)限 PAGEREF _Toc108523653 h 20 HYPERLINK l _Toc108523654 六、 核心人員介紹 PAGEREF _Toc108523654 h 24 HYPE

8、RLINK l _Toc108523655 七、 財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度 PAGEREF _Toc108523655 h 25 HYPERLINK l _Toc108523656 第四章 項(xiàng)目建設(shè)背景、必要性 PAGEREF _Toc108523656 h 33 HYPERLINK l _Toc108523657 一、 反應(yīng)離子刻蝕 PAGEREF _Toc108523657 h 33 HYPERLINK l _Toc108523658 二、 原子層刻蝕為未來技術(shù)發(fā)展方向 PAGEREF _Toc108523658 h 33 HYPERLINK l _Toc108523659 三、 激發(fā)市場(chǎng)主體活力 P

9、AGEREF _Toc108523659 h 36 HYPERLINK l _Toc108523660 第五章 發(fā)展規(guī)劃分析 PAGEREF _Toc108523660 h 38 HYPERLINK l _Toc108523661 一、 公司發(fā)展規(guī)劃 PAGEREF _Toc108523661 h 38 HYPERLINK l _Toc108523662 二、 保障措施 PAGEREF _Toc108523662 h 44 HYPERLINK l _Toc108523663 第六章 法人治理結(jié)構(gòu) PAGEREF _Toc108523663 h 46 HYPERLINK l _Toc108523

10、664 一、 股東權(quán)利及義務(wù) PAGEREF _Toc108523664 h 46 HYPERLINK l _Toc108523665 二、 董事 PAGEREF _Toc108523665 h 48 HYPERLINK l _Toc108523666 三、 高級(jí)管理人員 PAGEREF _Toc108523666 h 52 HYPERLINK l _Toc108523667 四、 監(jiān)事 PAGEREF _Toc108523667 h 54 HYPERLINK l _Toc108523668 第七章 環(huán)保分析 PAGEREF _Toc108523668 h 56 HYPERLINK l _To

11、c108523669 一、 編制依據(jù) PAGEREF _Toc108523669 h 56 HYPERLINK l _Toc108523670 二、 環(huán)境影響合理性分析 PAGEREF _Toc108523670 h 56 HYPERLINK l _Toc108523671 三、 建設(shè)期大氣環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108523671 h 58 HYPERLINK l _Toc108523672 四、 建設(shè)期水環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108523672 h 59 HYPERLINK l _Toc108523673 五、 建設(shè)期固體廢棄物環(huán)境影響分析 PAGEREF _

12、Toc108523673 h 60 HYPERLINK l _Toc108523674 六、 建設(shè)期聲環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108523674 h 60 HYPERLINK l _Toc108523675 七、 環(huán)境管理分析 PAGEREF _Toc108523675 h 61 HYPERLINK l _Toc108523676 八、 結(jié)論及建議 PAGEREF _Toc108523676 h 63 HYPERLINK l _Toc108523677 第八章 項(xiàng)目風(fēng)險(xiǎn)分析 PAGEREF _Toc108523677 h 64 HYPERLINK l _Toc108523678

13、一、 項(xiàng)目風(fēng)險(xiǎn)分析 PAGEREF _Toc108523678 h 64 HYPERLINK l _Toc108523679 二、 公司競(jìng)爭(zhēng)劣勢(shì) PAGEREF _Toc108523679 h 69 HYPERLINK l _Toc108523680 第九章 項(xiàng)目選址可行性分析 PAGEREF _Toc108523680 h 70 HYPERLINK l _Toc108523681 一、 項(xiàng)目選址原則 PAGEREF _Toc108523681 h 70 HYPERLINK l _Toc108523682 二、 建設(shè)區(qū)基本情況 PAGEREF _Toc108523682 h 70 HYPERL

14、INK l _Toc108523683 三、 擴(kuò)大有效投資 PAGEREF _Toc108523683 h 75 HYPERLINK l _Toc108523684 四、 堅(jiān)持創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，在建設(shè)創(chuàng)新型萍鄉(xiāng)上開新篇 PAGEREF _Toc108523684 h 76 HYPERLINK l _Toc108523685 五、 項(xiàng)目選址綜合評(píng)價(jià) PAGEREF _Toc108523685 h 79 HYPERLINK l _Toc108523686 第十章 經(jīng)濟(jì)效益 PAGEREF _Toc108523686 h 80 HYPERLINK l _Toc108523687 一、 經(jīng)濟(jì)評(píng)價(jià)財(cái)務(wù)測(cè)算 PA

15、GEREF _Toc108523687 h 80 HYPERLINK l _Toc108523688 營(yíng)業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc108523688 h 80 HYPERLINK l _Toc108523689 綜合總成本費(fèi)用估算表 PAGEREF _Toc108523689 h 81 HYPERLINK l _Toc108523690 固定資產(chǎn)折舊費(fèi)估算表 PAGEREF _Toc108523690 h 82 HYPERLINK l _Toc108523691 無形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷估算表 PAGEREF _Toc108523691 h 83 HYPERLIN

16、K l _Toc108523692 利潤(rùn)及利潤(rùn)分配表 PAGEREF _Toc108523692 h 85 HYPERLINK l _Toc108523693 二、 項(xiàng)目盈利能力分析 PAGEREF _Toc108523693 h 85 HYPERLINK l _Toc108523694 項(xiàng)目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108523694 h 87 HYPERLINK l _Toc108523695 三、 償債能力分析 PAGEREF _Toc108523695 h 88 HYPERLINK l _Toc108523696 借款還本付息計(jì)劃表 PAGEREF _Toc1085236

17、96 h 89 HYPERLINK l _Toc108523697 第十一章 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計(jì)劃 PAGEREF _Toc108523697 h 91 HYPERLINK l _Toc108523698 一、 項(xiàng)目進(jìn)度安排 PAGEREF _Toc108523698 h 91 HYPERLINK l _Toc108523699 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計(jì)劃一覽表 PAGEREF _Toc108523699 h 91 HYPERLINK l _Toc108523700 二、 項(xiàng)目實(shí)施保障措施 PAGEREF _Toc108523700 h 92 HYPERLINK l _Toc108523701 第十二章 項(xiàng)

18、目投資分析 PAGEREF _Toc108523701 h 93 HYPERLINK l _Toc108523702 一、 投資估算的依據(jù)和說明 PAGEREF _Toc108523702 h 93 HYPERLINK l _Toc108523703 二、 建設(shè)投資估算 PAGEREF _Toc108523703 h 94 HYPERLINK l _Toc108523704 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108523704 h 96 HYPERLINK l _Toc108523705 三、 建設(shè)期利息 PAGEREF _Toc108523705 h 96 HYPERLINK l _T

19、oc108523706 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108523706 h 96 HYPERLINK l _Toc108523707 四、 流動(dòng)資金 PAGEREF _Toc108523707 h 98 HYPERLINK l _Toc108523708 流動(dòng)資金估算表 PAGEREF _Toc108523708 h 98 HYPERLINK l _Toc108523709 五、 總投資 PAGEREF _Toc108523709 h 99 HYPERLINK l _Toc108523710 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108523710 h 99 HYPERLI

20、NK l _Toc108523711 六、 資金籌措與投資計(jì)劃 PAGEREF _Toc108523711 h 100 HYPERLINK l _Toc108523712 項(xiàng)目投資計(jì)劃與資金籌措一覽表 PAGEREF _Toc108523712 h 101 HYPERLINK l _Toc108523713 第十三章 項(xiàng)目綜合評(píng)價(jià)說明 PAGEREF _Toc108523713 h 102 HYPERLINK l _Toc108523714 第十四章 附表附錄 PAGEREF _Toc108523714 h 104 HYPERLINK l _Toc108523715 主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表 PAG

21、EREF _Toc108523715 h 104 HYPERLINK l _Toc108523716 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108523716 h 105 HYPERLINK l _Toc108523717 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108523717 h 106 HYPERLINK l _Toc108523718 固定資產(chǎn)投資估算表 PAGEREF _Toc108523718 h 107 HYPERLINK l _Toc108523719 流動(dòng)資金估算表 PAGEREF _Toc108523719 h 108 HYPERLINK l _Toc10852372

22、0 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108523720 h 109 HYPERLINK l _Toc108523721 項(xiàng)目投資計(jì)劃與資金籌措一覽表 PAGEREF _Toc108523721 h 110 HYPERLINK l _Toc108523722 營(yíng)業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc108523722 h 111 HYPERLINK l _Toc108523723 綜合總成本費(fèi)用估算表 PAGEREF _Toc108523723 h 111 HYPERLINK l _Toc108523724 固定資產(chǎn)折舊費(fèi)估算表 PAGEREF _Toc10852

23、3724 h 112 HYPERLINK l _Toc108523725 無形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷估算表 PAGEREF _Toc108523725 h 113 HYPERLINK l _Toc108523726 利潤(rùn)及利潤(rùn)分配表 PAGEREF _Toc108523726 h 114 HYPERLINK l _Toc108523727 項(xiàng)目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108523727 h 115 HYPERLINK l _Toc108523728 借款還本付息計(jì)劃表 PAGEREF _Toc108523728 h 116 HYPERLINK l _Toc108523729 建筑工

24、程投資一覽表 PAGEREF _Toc108523729 h 117 HYPERLINK l _Toc108523730 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計(jì)劃一覽表 PAGEREF _Toc108523730 h 118 HYPERLINK l _Toc108523731 主要設(shè)備購(gòu)置一覽表 PAGEREF _Toc108523731 h 119 HYPERLINK l _Toc108523732 能耗分析一覽表 PAGEREF _Toc108523732 h 119籌建公司基本信息公司名稱xx（集團(tuán)）有限公司（以工商登記信息為準(zhǔn)）注冊(cè)資本740萬元注冊(cè)地址xxx主要經(jīng)營(yíng)范圍經(jīng)營(yíng)范圍：從事刻蝕設(shè)備相關(guān)業(yè)務(wù)（企業(yè)依

25、法自主選擇經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目，開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)；依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后依批準(zhǔn)的內(nèi)容開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)；不得從事本市產(chǎn)業(yè)政策禁止和限制類項(xiàng)目的經(jīng)營(yíng)活動(dòng)。）主要股東xx（集團(tuán)）有限公司主要由xxx投資管理公司和xxx（集團(tuán)）有限公司發(fā)起成立。（一）xxx投資管理公司基本情況1、公司簡(jiǎn)介公司始終堅(jiān)持“人本、誠(chéng)信、創(chuàng)新、共贏”的經(jīng)營(yíng)理念，以“市場(chǎng)為導(dǎo)向、顧客為中心”的企業(yè)服務(wù)宗旨，竭誠(chéng)為國(guó)內(nèi)外客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和一流服務(wù)，歡迎各界人士光臨指導(dǎo)和洽談業(yè)務(wù)。本公司秉承“顧客至上，銳意進(jìn)取”的經(jīng)營(yíng)理念，堅(jiān)持“客戶第一”的原則為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。公司堅(jiān)持“責(zé)任+愛心”的服務(wù)理念，將誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、誠(chéng)信服務(wù)作為企業(yè)立世

26、之本，在服務(wù)社會(huì)、方便大眾中贏得信譽(yù)、贏得市場(chǎng)?！皾M足社會(huì)和業(yè)主的需要，是我們不懈的追求”的企業(yè)觀念，面對(duì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展步入快車道的良好機(jī)遇，正以高昂的熱情投身于建設(shè)宏偉大業(yè)。2、主要財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年12月2019年12月2018年12月資產(chǎn)總額13051.6410441.319788.73負(fù)債總額4361.233488.983270.92股東權(quán)益合計(jì)8690.416952.336517.81公司合并利潤(rùn)表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年度2019年度2018年度營(yíng)業(yè)收入34610.5127688.4125957.88營(yíng)業(yè)利潤(rùn)7857.136285.705892.85利潤(rùn)總額7

27、031.875625.505273.90凈利潤(rùn)5273.904113.643797.21歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)5273.904113.643797.21（二）xxx（集團(tuán)）有限公司基本情況1、公司簡(jiǎn)介公司將依法合規(guī)作為新形勢(shì)下實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的基本保障，堅(jiān)持合規(guī)是底線、合規(guī)高于經(jīng)濟(jì)利益的理念，確立了合規(guī)管理的戰(zhàn)略定位，進(jìn)一步明確了全面合規(guī)管理責(zé)任。公司不斷強(qiáng)化重大決策、重大事項(xiàng)的合規(guī)論證審查，加強(qiáng)合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)防控，確保依法管理、合規(guī)經(jīng)營(yíng)。嚴(yán)格貫徹落實(shí)國(guó)家法律法規(guī)和政府監(jiān)管要求，重點(diǎn)領(lǐng)域合規(guī)管理不斷強(qiáng)化，各部門分工負(fù)責(zé)、齊抓共管、協(xié)同聯(lián)動(dòng)的大合規(guī)管理格局逐步建立，廣大員工合規(guī)意識(shí)普遍增強(qiáng)，合規(guī)文化

28、氛圍更加濃厚。公司滿懷信心，發(fā)揚(yáng)“正直、誠(chéng)信、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的企業(yè)精神和“追求卓越，回報(bào)社會(huì)” 的企業(yè)宗旨，以優(yōu)良的產(chǎn)品服務(wù)、可靠的質(zhì)量、一流的服務(wù)為客戶提供更多更好的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品及服務(wù)。2、主要財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年12月2019年12月2018年12月資產(chǎn)總額13051.6410441.319788.73負(fù)債總額4361.233488.983270.92股東權(quán)益合計(jì)8690.416952.336517.81公司合并利潤(rùn)表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年度2019年度2018年度營(yíng)業(yè)收入34610.5127688.4125957.88營(yíng)業(yè)利潤(rùn)7857.136285.705892.8

29、5利潤(rùn)總額7031.875625.505273.90凈利潤(rùn)5273.904113.643797.21歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)5273.904113.643797.21項(xiàng)目概況（一）投資路徑xx（集團(tuán)）有限公司主要從事關(guān)于成立刻蝕設(shè)備公司的投資建設(shè)與運(yùn)營(yíng)管理。（二）項(xiàng)目提出的理由在先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。根據(jù)產(chǎn)生等離子體方法的不同，等離子體刻蝕主要分為電容性等離子體刻蝕（CCP）、電感性等離子體刻蝕(ICP)、電子回旋加速震蕩（ECR）和雙等離子體源。（三）項(xiàng)目選址項(xiàng)目選址位于xx（待定），占地面積約77.00畝。項(xiàng)目擬定建設(shè)區(qū)

30、域地理位置優(yōu)越，交通便利，規(guī)劃電力、給排水、通訊等公用設(shè)施條件完備，非常適宜本期項(xiàng)目建設(shè)。（四）生產(chǎn)規(guī)模項(xiàng)目建成后，形成年產(chǎn)xx套刻蝕設(shè)備的生產(chǎn)能力。（五）建設(shè)規(guī)模項(xiàng)目建筑面積87868.04，其中：生產(chǎn)工程54427.85，倉(cāng)儲(chǔ)工程18834.70，行政辦公及生活服務(wù)設(shè)施9308.24，公共工程5297.25。（六）項(xiàng)目投資根據(jù)謹(jǐn)慎財(cái)務(wù)估算，項(xiàng)目總投資30871.26萬元，其中：建設(shè)投資24847.40萬元，占項(xiàng)目總投資的80.49%；建設(shè)期利息352.46萬元，占項(xiàng)目總投資的1.14%；流動(dòng)資金5671.40萬元，占項(xiàng)目總投資的18.37%。（七）經(jīng)濟(jì)效益（正常經(jīng)營(yíng)年份）1、營(yíng)業(yè)收入（SP

31、）：58800.00萬元。2、綜合總成本費(fèi)用（TC）：46084.71萬元。3、凈利潤(rùn)（NP）：9307.02萬元。4、全部投資回收期（Pt）：5.28年。5、財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率：23.92%。6、財(cái)務(wù)凈現(xiàn)值：20763.02萬元。（八）項(xiàng)目進(jìn)度規(guī)劃項(xiàng)目建設(shè)期限規(guī)劃12個(gè)月。（九）項(xiàng)目綜合評(píng)價(jià)由上可見，無論是從產(chǎn)品還是市場(chǎng)來看，本項(xiàng)目設(shè)備較先進(jìn)，其產(chǎn)品技術(shù)含量較高、企業(yè)利潤(rùn)率高、市場(chǎng)銷售良好、盈利能力強(qiáng)，具有良好的社會(huì)效益及一定的抗風(fēng)險(xiǎn)能力，因而項(xiàng)目是可行的。市場(chǎng)分析等離子體刻蝕面臨的問題隨著當(dāng)前先進(jìn)芯片關(guān)鍵尺寸的不斷減小以及FinFET與3DNAND等三維結(jié)構(gòu)的出現(xiàn)，不同尺寸的結(jié)構(gòu)在刻蝕中的速率

32、差異將影響刻蝕速率，對(duì)于高深寬比的圖形窗口來說，化學(xué)刻蝕劑難以進(jìn)入，反應(yīng)生成物難以排出。另外，薄膜堆棧一般由多層材料組成，不同材料的刻蝕速率不同，很多刻蝕工藝都要求具有極高的選擇比。第三個(gè)問題在于當(dāng)達(dá)到期望深度之后，等離子體中的高能離子可能會(huì)導(dǎo)致硅片表面粗糙或底層材料損傷。干法刻蝕通常不能提供對(duì)下一層材料足夠高的刻蝕選擇比。在這種情況下，一個(gè)等離子體刻蝕機(jī)應(yīng)裝上一個(gè)終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，使得在造成最小的過刻蝕時(shí)停止刻蝕過程。當(dāng)下一層材料正好露出來時(shí)，重點(diǎn)檢測(cè)器會(huì)觸發(fā)刻蝕機(jī)控制器而停止刻蝕。高密度等離子體刻蝕在先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。根據(jù)

33、產(chǎn)生等離子體方法的不同，等離子體刻蝕主要分為電容性等離子體刻蝕（CCP）、電感性等離子體刻蝕(ICP)、電子回旋加速震蕩（ECR）和雙等離子體源。電子回旋加速震蕩（ECR）反應(yīng)器是最早商用化的高密度等離子體反應(yīng)器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世紀(jì)80年代初。它在現(xiàn)代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸圖形的刻蝕。ECR反應(yīng)器的一個(gè)關(guān)鍵是磁場(chǎng)平行于反應(yīng)劑的流動(dòng)方向，這使自由電子由于磁力作用做螺旋形運(yùn)動(dòng)。增加了電子碰撞的可能性，從而產(chǎn)生高密度的等離子體。優(yōu)點(diǎn)在于能產(chǎn)生高的各向異性刻蝕圖形，缺點(diǎn)是設(shè)備復(fù)雜度較高。耦合等離子體刻蝕機(jī)包括電容耦合（CCP）與電感耦

34、合（ICP），相比ECR結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且成本低。電容耦合等離子體刻蝕機(jī)（CCP）通過電容產(chǎn)生等離子體，而電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP）通過螺旋線圈產(chǎn)生等離子體。硅片基底為加裝有低功率射頻偏置發(fā)生器的電源電極，用來控制轟擊硅片表面離子的能量，從而使得整個(gè)裝置能夠分離控制離子的能量與濃度。電容性等離子體刻蝕（CCP）主要是以高能離子在較硬的介質(zhì)材料上，刻蝕高深寬比的深孔、深溝等微觀結(jié)構(gòu)；而電感性等離子體刻蝕（ICP）主要是以較低的離子能量和極均勻的離子濃度刻蝕較軟的和較薄的材料。這兩種刻蝕設(shè)備涵蓋了主要的刻蝕應(yīng)用。雙等離子體源刻蝕機(jī)主要由源功率單元、上腔體、下腔體和可移動(dòng)電極四部分組成。這一系統(tǒng)中用到

35、了兩個(gè)RF功率源。位于上部的射頻功率源通過電感線圈將能量傳遞給等離子體從而增加離子密度，但是離子濃度增加的同時(shí)離子能量也隨之增加。下部加裝的偏置射頻電源通過電容結(jié)構(gòu)能夠降低轟擊在硅表面離子的能量而不影響離子濃度，從而能夠更好地控制刻蝕速率與選擇比。干法刻蝕是芯片制造的主流技術(shù)刻蝕設(shè)備處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上游由為設(shè)計(jì)、制造和封測(cè)環(huán)節(jié)提供軟件及知識(shí)產(chǎn)權(quán)、硬件設(shè)備、原材料等生產(chǎn)資料的核心產(chǎn)業(yè)組成。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的中游可以分為半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)、制造環(huán)節(jié)和封裝測(cè)試環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的下游為半導(dǎo)體終端產(chǎn)品以及其衍生的應(yīng)用、系統(tǒng)等。刻蝕的基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確的復(fù)制掩模圖形?？涛g是

36、指使用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程，并保證有圖形的光刻膠在刻蝕中不受到腐蝕源顯著的侵蝕。常用來代表刻蝕效率的參數(shù)主要有：刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差和選擇比等?？涛g速率指刻蝕過程中去除硅片表面材料的速度；刻蝕剖面指的是刻蝕圖形的側(cè)壁形狀，通常分為各向同性和各向異性剖面；刻蝕偏差指的是線寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化，通常由橫向鉆蝕引起；選擇比指的是同一刻蝕條件下兩種材料刻蝕速率比，高選擇比意味著不需要的材料會(huì)被刻除。刻蝕技術(shù)按工藝分類可分為濕法刻蝕和干法刻蝕，其中干法刻蝕是最主要的用來去除表面材料的刻蝕方法，濕法刻蝕主要包括化學(xué)刻蝕和電解刻蝕。由于在濕法刻蝕技術(shù)中使用液體試劑

37、，相對(duì)于干法刻蝕，容易導(dǎo)致邊側(cè)形成斜坡、要求沖洗或干燥等步驟。因此干法刻蝕被普遍應(yīng)用于先進(jìn)制程的小特征尺寸精細(xì)刻蝕中，并在刻蝕率、微粒損傷等方面具有較大的優(yōu)勢(shì)。目前先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。一個(gè)等離子體刻蝕機(jī)的基本部件包括發(fā)生刻蝕反應(yīng)的反應(yīng)腔、產(chǎn)生等離子體氣的射頻電源、氣體流量控制系統(tǒng)、去除生成物的真空系統(tǒng)?？涛g中會(huì)用到大量的化學(xué)氣體，通常用氟刻蝕二氧化硅，氯和氟刻蝕鋁，氯、氟和溴刻蝕硅，氧去除光刻膠。公司籌建方案公司經(jīng)營(yíng)宗旨憑借專業(yè)化、集約化的經(jīng)營(yíng)策略，發(fā)揮公司各方面的優(yōu)勢(shì)，創(chuàng)造良好的經(jīng)濟(jì)效益，為全體股東提供滿意的經(jīng)濟(jì)回報(bào)。公司

38、的目標(biāo)、主要職責(zé)（一）目標(biāo)近期目標(biāo)：深化企業(yè)改革，加快結(jié)構(gòu)調(diào)整，優(yōu)化資源配置，加強(qiáng)企業(yè)管理，建立現(xiàn)代企業(yè)制度；精干主業(yè)，分離輔業(yè)，增強(qiáng)企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，加快發(fā)展；提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益，完善管理制度及運(yùn)營(yíng)網(wǎng)絡(luò)。遠(yuǎn)期目標(biāo)：探索模式創(chuàng)新、制度創(chuàng)新、管理創(chuàng)新的產(chǎn)業(yè)發(fā)展新思路。堅(jiān)持發(fā)展自主品牌，提升企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力。此外，面向國(guó)際、國(guó)內(nèi)兩個(gè)市場(chǎng)，優(yōu)化資源配置，實(shí)施多元化戰(zhàn)略，向產(chǎn)業(yè)集團(tuán)化發(fā)展，力爭(zhēng)利用3-5年的時(shí)間把公司建設(shè)成具有先進(jìn)管理水平和較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力的大型企業(yè)集團(tuán)。（二）主要職責(zé)1、執(zhí)行國(guó)家法律、法規(guī)和產(chǎn)業(yè)政策，在國(guó)家宏觀調(diào)控和行業(yè)監(jiān)管下，以市場(chǎng)需求為導(dǎo)向，依法自主經(jīng)營(yíng)。2、根據(jù)國(guó)家和地方產(chǎn)業(yè)政策、刻

39、蝕設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)劃和市場(chǎng)需求，制定并組織實(shí)施公司的發(fā)展戰(zhàn)略、中長(zhǎng)期發(fā)展規(guī)劃、年度計(jì)劃和重大經(jīng)營(yíng)決策。3、深化企業(yè)改革，加快結(jié)構(gòu)調(diào)整，轉(zhuǎn)換企業(yè)經(jīng)營(yíng)機(jī)制，建立現(xiàn)代企業(yè)制度，強(qiáng)化內(nèi)部管理，促進(jìn)企業(yè)可持續(xù)發(fā)展。4、指導(dǎo)和加強(qiáng)企業(yè)思想政治工作和精神文明建設(shè)，統(tǒng)一管理公司的名稱、商標(biāo)、商譽(yù)等無形資產(chǎn)，搞好公司企業(yè)文化建設(shè)。5、在保證股東企業(yè)合法權(quán)益和自身發(fā)展需要的前提下，公司可依照公司法等有關(guān)規(guī)定，集中資產(chǎn)收益，用于再投入和結(jié)構(gòu)調(diào)整。公司組建方式xx（集團(tuán)）有限公司主要由xxx投資管理公司和xxx（集團(tuán)）有限公司共同出資成立。其中：xxx投資管理公司出資222.00萬元，占xx（集團(tuán)）有限公司30%股份；

40、xxx（集團(tuán)）有限公司出資518萬元，占xx（集團(tuán)）有限公司70%股份。公司管理體制xx（集團(tuán)）有限公司實(shí)行董事會(huì)領(lǐng)導(dǎo)下的總經(jīng)理負(fù)責(zé)制，各部門按其規(guī)定的職能范圍，履行各自的管理服務(wù)職能，而且直接對(duì)總經(jīng)理負(fù)責(zé)；公司建立完善的營(yíng)銷、供應(yīng)、生產(chǎn)和品質(zhì)管理體系，確立各部門相應(yīng)的經(jīng)濟(jì)責(zé)任目標(biāo)，加強(qiáng)產(chǎn)品質(zhì)量和定額目標(biāo)管理，確保公司生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)正常、有效、穩(wěn)定、安全、持續(xù)運(yùn)行，有力促進(jìn)企業(yè)的高效、健康、快速發(fā)展?？偨?jīng)理的主要職責(zé)如下：1、全面領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)的日常工作；對(duì)企業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量負(fù)責(zé)；向本公司職工傳達(dá)滿足顧客和法律法規(guī)要求的重要性；2、制定并正式批準(zhǔn)頒布本公司的質(zhì)量方針和質(zhì)量目標(biāo)，采取有效措施，保證各級(jí)人員理解質(zhì)

41、量方針并堅(jiān)持貫徹執(zhí)行；3、負(fù)責(zé)策劃、建立本公司的質(zhì)量管理體系，批準(zhǔn)發(fā)布本公司的質(zhì)量手冊(cè)；4、明確所有與質(zhì)量有關(guān)的職能部門和人員的職責(zé)權(quán)限和相互關(guān)系；5、確保質(zhì)量管理體系運(yùn)行所必要的資源配備；6、任命管理者代表，并為其有效開展工作提供支持；7、定期組織并主持對(duì)質(zhì)量管理體系的管理評(píng)審，以確保其持續(xù)的適宜性、充分性和有效性。部門職責(zé)及權(quán)限（一）綜合管理部1、協(xié)助管理者代表組織建立文件化質(zhì)量體系，并使其有效運(yùn)行和持續(xù)改進(jìn)。2、協(xié)助管理者代表，組織內(nèi)部質(zhì)量管理體系審核。3、負(fù)責(zé)本公司文件（包括記錄）的管理和控制。4、負(fù)責(zé)本公司員工培訓(xùn)的管理，制訂并實(shí)施員工培訓(xùn)計(jì)劃。5、參與識(shí)別并確定為實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品符合性所需

42、的工作環(huán)境，并對(duì)工作環(huán)境中與產(chǎn)品符合性有關(guān)的條件加以管理。（二）財(cái)務(wù)部1、參與制定本公司財(cái)務(wù)制度及相應(yīng)的實(shí)施細(xì)則。2、參與本公司的工程項(xiàng)目可信性研究和項(xiàng)目評(píng)估中的財(cái)務(wù)分析工作。3、負(fù)責(zé)董事會(huì)及總經(jīng)理所需的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)資料的整理編報(bào)。4、負(fù)責(zé)對(duì)財(cái)務(wù)工作有關(guān)的外部及政府部門，如稅務(wù)局、財(cái)政局、銀行、會(huì)計(jì)事務(wù)所等聯(lián)絡(luò)、溝通工作。5、負(fù)責(zé)資金管理、調(diào)度。編制月、季、年度財(cái)務(wù)情況說明分析，向公司領(lǐng)導(dǎo)報(bào)告公司經(jīng)營(yíng)情況。6、負(fù)責(zé)銷售統(tǒng)計(jì)、復(fù)核工作，每月負(fù)責(zé)編制銷售應(yīng)收款報(bào)表，并督促銷售部及時(shí)催交樓款。負(fù)責(zé)銷售樓款的收款工作，并及時(shí)送交銀行。7、負(fù)責(zé)每月轉(zhuǎn)賬憑證的編制，匯總所有的記賬憑證。8、負(fù)責(zé)公司總長(zhǎng)及所有明

43、細(xì)分類賬的記賬、結(jié)賬、核對(duì)，每月5日前完成會(huì)計(jì)報(bào)表的編制，并及時(shí)清理應(yīng)收、應(yīng)付款項(xiàng)。9、協(xié)助出納做好樓款的收款工作，并配合銷售部門做好銷售分析工作。10、負(fù)責(zé)公司全年的會(huì)計(jì)報(bào)表、帳薄裝訂及會(huì)計(jì)資料保管工作。11、負(fù)責(zé)銀行財(cái)務(wù)管理，負(fù)責(zé)支票等有關(guān)結(jié)算憑證的購(gòu)買、領(lǐng)用及保管，辦理銀行收付業(yè)務(wù)。12、負(fù)責(zé)先進(jìn)管理，審核收付原始憑證。13、負(fù)責(zé)編制銀行收付憑證、現(xiàn)金收付憑證，登記銀行存款及現(xiàn)金日記賬，月末與銀行對(duì)賬單和對(duì)銀行存款余額，并編制余額調(diào)節(jié)表。14、負(fù)責(zé)公司員工工資的發(fā)放工作，現(xiàn)金收付工作。（三）投資發(fā)展部1、調(diào)查、搜集、整理有關(guān)市場(chǎng)信息，并提出投資建議。2、擬定公司年度投資計(jì)劃及中長(zhǎng)期投資計(jì)

44、劃。3、負(fù)責(zé)投資項(xiàng)目的儲(chǔ)備、篩選、投資項(xiàng)目的可行性研究工作。4、負(fù)責(zé)經(jīng)董事會(huì)批準(zhǔn)的投資項(xiàng)目的籌建工作。5、按照國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策，負(fù)責(zé)公司產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、投資結(jié)構(gòu)的調(diào)整。6、及時(shí)完成領(lǐng)導(dǎo)交辦的其他事項(xiàng)。（四）銷售部1、協(xié)助總經(jīng)理制定和分解年度銷售目標(biāo)和銷售成本控制指標(biāo)，并負(fù)責(zé)具體落實(shí)。2、依據(jù)公司年度銷售指標(biāo)，明確營(yíng)銷策略，制定營(yíng)銷計(jì)劃和拓展銷售網(wǎng)絡(luò)，并對(duì)任務(wù)進(jìn)行分解，策劃組織實(shí)施銷售工作，確保實(shí)現(xiàn)預(yù)期目標(biāo)。3、負(fù)責(zé)收集市場(chǎng)信息，分析市場(chǎng)動(dòng)向、銷售動(dòng)態(tài)、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)發(fā)展?fàn)顩r等，并定期將信息報(bào)送商務(wù)發(fā)展部。4、負(fù)責(zé)按產(chǎn)品銷售合同規(guī)定收款和催收，并將相關(guān)收款情況報(bào)送商務(wù)發(fā)展部。5、定期不定期走訪客戶，整理和歸納客

45、戶資料，掌握客戶情況，進(jìn)行有效的客戶管理。6、制定并組織填寫各類銷售統(tǒng)計(jì)報(bào)表，并將相關(guān)數(shù)據(jù)及時(shí)報(bào)送商務(wù)發(fā)展部總經(jīng)理。7、負(fù)責(zé)市場(chǎng)物資信息的收集和調(diào)查預(yù)測(cè)，建立起牢固可靠的物資供應(yīng)網(wǎng)絡(luò)，不斷開辟和優(yōu)化物資供應(yīng)渠道。8、負(fù)責(zé)收集產(chǎn)品供應(yīng)商信息，并對(duì)供應(yīng)商進(jìn)行質(zhì)量、技術(shù)和供就能力進(jìn)行評(píng)估，根據(jù)公司需求計(jì)劃，編制與之相配套的采購(gòu)計(jì)劃，并進(jìn)行采購(gòu)談判和產(chǎn)品采購(gòu)，保證產(chǎn)品供應(yīng)及時(shí)，確保產(chǎn)品價(jià)格合理、質(zhì)量符合要求。9、建立發(fā)運(yùn)流程，設(shè)計(jì)最佳運(yùn)輸路線、運(yùn)輸工具，選擇合格的運(yùn)輸商，嚴(yán)格按公司下達(dá)的發(fā)運(yùn)成本預(yù)算進(jìn)行有效管理，定期分析費(fèi)用開支，查找超支、節(jié)支原因并實(shí)施控制。10、負(fù)責(zé)對(duì)部門員工進(jìn)行業(yè)務(wù)素質(zhì)、產(chǎn)品知識(shí)

46、培訓(xùn)和考核等工作，不斷培養(yǎng)、挖掘、引進(jìn)銷售人才，建設(shè)高素質(zhì)的銷售隊(duì)伍。核心人員介紹1、謝xx，1974年出生，研究生學(xué)歷。2002年6月至2006年8月就職于xxx有限責(zé)任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限責(zé)任公司銷售部副經(jīng)理。2011年3月至今歷任公司監(jiān)事、銷售部副部長(zhǎng)、部長(zhǎng)；2019年8月至今任公司監(jiān)事會(huì)主席。2、陳xx，中國(guó)國(guó)籍，1977年出生，本科學(xué)歷。2018年9月至今歷任公司辦公室主任，2017年8月至今任公司監(jiān)事。3、顧xx，中國(guó)國(guó)籍，1976年出生，本科學(xué)歷。2003年5月至2011年9月任xxx有限責(zé)任公司執(zhí)行董事、總經(jīng)理；2003年11月至2011年3月任x

47、xx有限責(zé)任公司執(zhí)行董事、總經(jīng)理；2004年4月至2011年9月任xxx有限責(zé)任公司執(zhí)行董事、總經(jīng)理。2018年3月起至今任公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理。4、呂xx，1957年出生，大專學(xué)歷。1994年5月至2002年6月就職于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限責(zé)任公司董事。2018年3月至今任公司董事。5、段xx，中國(guó)國(guó)籍，無永久境外居留權(quán)，1959年出生，大專學(xué)歷，高級(jí)工程師職稱。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技術(shù)顧問；2004年8月至2011年3月任xxx有限責(zé)任公司總工程師。2018年3月至今任公司董事、副總經(jīng)理、總工程師。6、宋xx，中國(guó)國(guó)籍，無

48、永久境外居留權(quán)，1971年出生，本科學(xué)歷，中級(jí)會(huì)計(jì)師職稱。2002年6月至2011年4月任xxx有限責(zé)任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限責(zé)任公司財(cái)務(wù)經(jīng)理。2017年3月至今任公司董事、副總經(jīng)理、財(cái)務(wù)總監(jiān)。7、莫xx，中國(guó)國(guó)籍，無永久境外居留權(quán)，1961年出生，本科學(xué)歷，高級(jí)工程師。2002年11月至今任xxx總經(jīng)理。2017年8月至今任公司獨(dú)立董事。8、趙xx，中國(guó)國(guó)籍，無永久境外居留權(quán)，1970年出生，碩士研究生學(xué)歷。2012年4月至今任xxx有限公司監(jiān)事。2018年8月至今任公司獨(dú)立董事。財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度（一）財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度1、公司依照法律、行政法規(guī)和國(guó)家有關(guān)部門的規(guī)定，制

49、定公司的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度。上述財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)告按照有關(guān)法律、行政法規(guī)及部門規(guī)章的規(guī)定進(jìn)行編制。2、公司除法定的會(huì)計(jì)賬簿外，將不另立會(huì)計(jì)賬簿。公司的資產(chǎn)，不以任何個(gè)人名義開立賬戶存儲(chǔ)。3、公司分配當(dāng)年稅后利潤(rùn)時(shí)，應(yīng)當(dāng)提取利潤(rùn)的10%列入公司法定公積金。公司法定公積金累計(jì)額為公司注冊(cè)資本的50%以上的，可以不再提取。公司的法定公積金不足以彌補(bǔ)以前年度虧損的，在依照前款規(guī)定提取法定公積金之前，應(yīng)當(dāng)先用當(dāng)年利潤(rùn)彌補(bǔ)虧損。公司從稅后利潤(rùn)中提取法定公積金后，經(jīng)股東大會(huì)決議，還可以從稅后利潤(rùn)中提取任意公積金。公司彌補(bǔ)虧損和提取公積金后所余稅后利潤(rùn)，按照股東持有的股份比例分配，但本章程規(guī)定不按持股比例分配的除外。股東

50、大會(huì)違反前款規(guī)定，在公司彌補(bǔ)虧損和提取法定公積金之前向股東分配利潤(rùn)的，股東必須將違反規(guī)定分配的利潤(rùn)退還公司。公司持有的本公司股份不參與分配利潤(rùn)。4、公司持有的本公司股份不參與分配利潤(rùn)。公司的公積金用于彌補(bǔ)公司的虧損、擴(kuò)大公司生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)或者轉(zhuǎn)為增加公司資本。但是，資本公積金將不用于彌補(bǔ)公司的虧損。法定公積金轉(zhuǎn)為資本時(shí)，所留存的該項(xiàng)公積金將不少于轉(zhuǎn)增前公司注冊(cè)資本的25%。5、公司股東大會(huì)對(duì)利潤(rùn)分配方案作出決議后，公司董事會(huì)須在股東大會(huì)召開后2個(gè)月內(nèi)完成股利（或股份）的派發(fā)事項(xiàng)。6、公司利潤(rùn)分配政策為：（1）利潤(rùn)分配原則：公司的利潤(rùn)分配應(yīng)重視對(duì)社會(huì)公眾股東的合理投資回報(bào)，以維護(hù)股東權(quán)益和保證公司可持

51、續(xù)發(fā)展為宗旨，保持利潤(rùn)分配的連續(xù)性和穩(wěn)定性，并符合法律、法規(guī)的相關(guān)規(guī)定；（2）利潤(rùn)分配決策程序：公司年度的利潤(rùn)分配方案由董事會(huì)結(jié)合公司的經(jīng)營(yíng)數(shù)據(jù)、盈利情況、資金需求等擬訂，董事會(huì)審議現(xiàn)金分紅方案時(shí)，應(yīng)當(dāng)認(rèn)真研究和論證公司現(xiàn)金分紅的時(shí)機(jī)、條件和最低比例、調(diào)整的條件及其決策程序等事項(xiàng)。公司也可根據(jù)相關(guān)法律、法規(guī)的規(guī)定，結(jié)合公司實(shí)際經(jīng)營(yíng)情況提出中期利潤(rùn)分配方案。公司獨(dú)立董事應(yīng)對(duì)利潤(rùn)分配方案發(fā)表明確的獨(dú)立意見，利潤(rùn)分配方案須經(jīng)董事會(huì)過半數(shù)以上表決通過并經(jīng)三分之二以上獨(dú)立董事表決通過后，方可提交股東大會(huì)審議；股東大會(huì)審議現(xiàn)金分紅方案時(shí)，公司應(yīng)當(dāng)通過多種渠道主動(dòng)與獨(dú)立董事、中小股東進(jìn)行溝通和交流，充分聽取

52、中小股東的意見和訴求，及時(shí)答復(fù)中小股東關(guān)心的問題。對(duì)報(bào)告期盈利但公司董事會(huì)未提出現(xiàn)金分紅方案的，董事會(huì)應(yīng)當(dāng)做出詳細(xì)說明，獨(dú)立董事應(yīng)當(dāng)對(duì)此發(fā)表獨(dú)立意見。提交股東大會(huì)審議時(shí)，公司應(yīng)當(dāng)提供網(wǎng)絡(luò)投票等方式以方便股東參與股東大會(huì)表決。此外，公司應(yīng)當(dāng)在定期報(bào)告中披露未分紅的具體原因，未用于分紅的資金留存公司的用途；監(jiān)事會(huì)應(yīng)當(dāng)對(duì)董事會(huì)和管理層執(zhí)行公司分紅政策的情況及決策程序進(jìn)行監(jiān)督，對(duì)董事會(huì)制定或修改的利潤(rùn)分配政策進(jìn)行審議，并經(jīng)過半數(shù)監(jiān)事通過，在公告董事會(huì)決議時(shí)應(yīng)同時(shí)披露獨(dú)立董事、監(jiān)事會(huì)的審核意見；公司利潤(rùn)分配政策的制訂或修改由董事會(huì)向股東大會(huì)提出，董事會(huì)提出的利潤(rùn)分配政策需經(jīng)全體董事過半通過并經(jīng)三分之二以

53、上獨(dú)立董事通過，獨(dú)立董事應(yīng)當(dāng)對(duì)利潤(rùn)分配政策的制定或修改發(fā)表獨(dú)立意見；公司利潤(rùn)分配政策的制定或修改提交股東大會(huì)審議時(shí)，應(yīng)當(dāng)由出席股東大會(huì)的股東（包括股東代理人）所持表決權(quán)的三分之二以上通過；對(duì)章程確定的現(xiàn)金分紅政策進(jìn)行調(diào)整或者變更的，應(yīng)當(dāng)滿足公司章程規(guī)定的條件，經(jīng)過論證后履行相應(yīng)的決策程序，并經(jīng)出席股東大會(huì)的股東所持表決權(quán)的三分之二以上通過；公司如因外部經(jīng)營(yíng)環(huán)境或自身經(jīng)營(yíng)狀況發(fā)生重大變化而需要調(diào)整分紅政策，應(yīng)以股東權(quán)益保護(hù)為出發(fā)點(diǎn)，詳細(xì)論證和說明原因。有關(guān)調(diào)整利潤(rùn)分配政策的議案由獨(dú)立董事、監(jiān)事會(huì)發(fā)表意見，經(jīng)公司董事會(huì)審議后提交公司股東大會(huì)審議批準(zhǔn)。（3）現(xiàn)金分紅的條件公司該年度實(shí)現(xiàn)的可分配利潤(rùn)（

54、即公司彌補(bǔ)虧損、提取公積金后所余的稅后利潤(rùn)）為正值，并且現(xiàn)金流充裕，實(shí)施現(xiàn)金分紅不影響公司的持續(xù)經(jīng)營(yíng)；審計(jì)機(jī)構(gòu)對(duì)公司該年度財(cái)務(wù)報(bào)告出具標(biāo)準(zhǔn)無保留意見的審計(jì)報(bào)告；（4）現(xiàn)金分紅政策公司董事會(huì)應(yīng)當(dāng)綜合考慮所處行業(yè)特點(diǎn)、發(fā)展階段、自身經(jīng)營(yíng)模式、盈利水平以及是否有重大資金支出安排等因素，區(qū)分下列情形，并按照公司章程規(guī)定的程序，提出差異化的現(xiàn)金分紅政策：公司發(fā)展階段屬成熟期且無重大資金支出安排的，進(jìn)行利潤(rùn)分配時(shí)，現(xiàn)金分紅在本次利潤(rùn)分配中所占比例最低應(yīng)達(dá)到80%；公司發(fā)展階段屬成熟期且有重大資金支出安排的，進(jìn)行利潤(rùn)分配時(shí)，現(xiàn)金分紅在本次利潤(rùn)分配中所占比例最低應(yīng)達(dá)到40%；公司發(fā)展階段屬成長(zhǎng)期且有重大資金支

55、出安排的，進(jìn)行利潤(rùn)分配時(shí)，現(xiàn)金分紅在本次利潤(rùn)分配中所占比例最低應(yīng)達(dá)到20%；公司發(fā)展階段不易區(qū)分但有重大資金支出安排的，可以按照前項(xiàng)規(guī)定處理。重大資金支出是指需經(jīng)公司股東大會(huì)審議通過，達(dá)到以下情形之一：交易涉及的資產(chǎn)總額占公司最近一期經(jīng)審計(jì)總資產(chǎn)的30%以上；交易標(biāo)的（如股權(quán)）在最近一個(gè)會(huì)計(jì)年度相關(guān)的營(yíng)業(yè)收入占公司最近一個(gè)會(huì)計(jì)年度經(jīng)審計(jì)營(yíng)業(yè)收入的50%以上，且絕對(duì)金額超過3000萬元；交易標(biāo)的（如股權(quán)）在最近一個(gè)會(huì)計(jì)年度相關(guān)的凈利潤(rùn)占公司最近一個(gè)會(huì)計(jì)年度經(jīng)審計(jì)凈利潤(rùn)的50%以上，且絕對(duì)金額超過300萬元；交易的成交金額（包括承擔(dān)的債務(wù)和費(fèi)用）占公司最近一期經(jīng)審計(jì)凈資產(chǎn)的50%以上，且絕對(duì)金額超

56、過3000萬元；交易產(chǎn)生的利潤(rùn)占公司最近一個(gè)會(huì)計(jì)年度經(jīng)審計(jì)凈利潤(rùn)的50%以上，且絕對(duì)金額超過300萬元。滿足上述條件的重大投資計(jì)劃或者重大現(xiàn)金支出須由董事會(huì)審議后提交股東大會(huì)審議批準(zhǔn)。（5）利潤(rùn)分配時(shí)間間隔：在滿足上述第（四）款條件下，公司每年度至少分紅一次；（6）現(xiàn)金分紅比例：公司利潤(rùn)分配不得超過累計(jì)可分配利潤(rùn)的范圍；公司每年以現(xiàn)金方式分配的利潤(rùn)應(yīng)不低于當(dāng)年實(shí)現(xiàn)的可分配利潤(rùn)的10%，最近三年以現(xiàn)金方式累計(jì)分配的利潤(rùn)不少于最近三年實(shí)現(xiàn)的年均可分配利潤(rùn)的30%；（7）存在股東違規(guī)占用公司資金情況的，公司應(yīng)當(dāng)扣減該股東所分配的現(xiàn)金紅利，以償還其所占用的資金。（8）公司在依據(jù)公司的利潤(rùn)分配原則、利潤(rùn)

57、分配政策、利潤(rùn)分配規(guī)劃以及本章程的規(guī)定，進(jìn)行利潤(rùn)分配時(shí)，現(xiàn)金分紅方式將優(yōu)先于其他各類非現(xiàn)金分紅方式。（二）內(nèi)部審計(jì)1、公司實(shí)行內(nèi)部審計(jì)制度，配備專職審計(jì)人員，對(duì)公司財(cái)務(wù)收支和經(jīng)濟(jì)活動(dòng)進(jìn)行內(nèi)部審計(jì)監(jiān)督。2、公司內(nèi)部審計(jì)制度和審計(jì)人員的職責(zé)，應(yīng)當(dāng)經(jīng)董事會(huì)批準(zhǔn)后實(shí)施。審計(jì)負(fù)責(zé)人向董事會(huì)負(fù)責(zé)并報(bào)告工作。第三節(jié)會(huì)計(jì)師事務(wù)所的聘任3、公司聘用會(huì)計(jì)師事務(wù)所必須由股東大會(huì)決定，董事會(huì)不得在股東大會(huì)決定前委任會(huì)計(jì)師事務(wù)所。4、公司保證向聘用的會(huì)計(jì)師事務(wù)所提供真實(shí)、完整的會(huì)計(jì)憑證、會(huì)計(jì)賬簿、財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)告及其他會(huì)計(jì)資料，不得拒絕、隱匿、謊報(bào)。5、會(huì)計(jì)師事務(wù)所的審計(jì)費(fèi)用由股東大會(huì)決定。6、公司解聘或者不再續(xù)聘會(huì)計(jì)師事

58、務(wù)所時(shí)，提前30天事先通知會(huì)計(jì)師事務(wù)所，公司股東大會(huì)就解聘會(huì)計(jì)師事務(wù)所進(jìn)行表決時(shí)，允許會(huì)計(jì)師事務(wù)所陳述意見。會(huì)計(jì)師事務(wù)所提出辭聘的，應(yīng)當(dāng)向股東大會(huì)說明公司有無不當(dāng)情形。項(xiàng)目建設(shè)背景、必要性反應(yīng)離子刻蝕反應(yīng)離子刻蝕（RIE）是一種采用化學(xué)反應(yīng)和物理離子轟擊去除硅片表面材料的技術(shù)，是當(dāng)前常用技術(shù)路徑，屬于物理和化學(xué)混合刻蝕。在傳統(tǒng)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)中，進(jìn)入反應(yīng)室的氣體會(huì)被分解電離為等離子體，等離子體由反應(yīng)正離子、自由基、反應(yīng)原子等組成。反應(yīng)正離子會(huì)轟擊硅片表面形成物理刻蝕，同時(shí)被轟擊的硅片表面化學(xué)活性被提高，之后硅片會(huì)與自由基和反應(yīng)原子形成化學(xué)刻蝕。這個(gè)過程中由于離子轟擊帶有方向性，RIE技術(shù)具有較

59、好的各向異性。原子層刻蝕為未來技術(shù)發(fā)展方向隨著國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從14nm-10nm階段向7nm、5nm甚至更小的方向發(fā)展，當(dāng)前市場(chǎng)普遍使用的沉浸式光刻機(jī)受光波長(zhǎng)的限制，關(guān)鍵尺寸無法滿足要求，必須采用多重模板工藝，利用刻蝕工藝實(shí)現(xiàn)更小的尺寸，使得刻蝕技術(shù)及相關(guān)設(shè)備的重要性進(jìn)一步提升。制程升級(jí)背景下，刻蝕次數(shù)顯著增加。隨著半導(dǎo)體制程的不斷縮小，受光波長(zhǎng)限制，關(guān)鍵尺寸無法滿足要求，必須采用多重模板工藝，重復(fù)多次薄膜沉積和刻蝕工序以實(shí)現(xiàn)更小的線寬，使得薄膜沉積和刻蝕次數(shù)顯著增加以及刻蝕設(shè)備在晶圓產(chǎn)線中價(jià)值比率不斷上升，其中20納米工藝需要的刻蝕步驟約為50次，而10納米工藝和7納米工藝所需刻蝕步驟則

60、超過100次。以硅片上的原子層刻蝕為例，首先，氯氣被導(dǎo)入刻蝕腔，氯氣分子吸附于硅材料的表面，形成一個(gè)氯化層。這一步改性步驟具有自限制性：表面一旦飽和，反應(yīng)立即停止。緊接著清楚刻蝕腔中過量的氯氣，并引入氬離子。使這些離子轟擊硅片，物理性去除硅-氯反應(yīng)后產(chǎn)生的氯化層，進(jìn)而留下下層未經(jīng)改性的硅表面。這種去除過程仍然依靠自限制性，在氯化層被全部去除后，過程中止。以上兩個(gè)步驟完成后，一層極薄的材料就能被精準(zhǔn)的從硅片上去除。半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)快速發(fā)展，刻蝕設(shè)備價(jià)值量可觀半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)快速發(fā)展，2022有望再創(chuàng)新高。隨著2013年以來全球半導(dǎo)體行業(yè)的整體發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模也實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)。根據(jù)SEMI統(tǒng)