SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品資料及技術(shù)參數(shù)介紹深圳中圖儀器

1、0CHOTEST中圖儀器產(chǎn)品解決方案產(chǎn)品SJ600024OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀- - -一、產(chǎn)品開發(fā)背景激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計(jì)量測試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用，國產(chǎn)激光干涉儀無論在測量精度、最高測速，還是在最高測速下的分辨率及測量范圍等方面，都與國外的產(chǎn)品有著一定的差距。由于技術(shù)上的差距，導(dǎo)國內(nèi)的激光干涉儀SJ6000激光干涉儀測量精度測量速度等方面基本上的水平，能中高端測量技術(shù)上的和技術(shù)上的壟斷，推動(dòng)激光干涉測量技術(shù)的業(yè)的檢測成本，提升了我國在高精密測量方面的檢

2、測水平進(jìn)而提高我國在高端制造領(lǐng)域的整體競爭表1國內(nèi)外典型激光干涉儀性中圖儀器SJ6000RenishawAPIAgilentZYGO所成都工具單/雙頻單頻雙頻雙頻雙頻雙頻單頻產(chǎn)生雙頻的方法/塞曼效應(yīng)塞曼效應(yīng)聲光調(diào)制塞曼效應(yīng)/最大頻差（MHz）/44201.2/激光穩(wěn)頻精度（ppm）0.05ppm0.05ppm0.02ppm0.1ppm0.1ppm0.05ppm最高測速（mm/s）4000/3000510020004000分辨率（nm）1110.31201測量范圍（m）804540402040線性測長精度（ppm）0.50.50.40.51.50.5針對國產(chǎn)激光干涉儀測量精度低、測量速度小、測量

3、系統(tǒng)操作復(fù)雜、測量功能、檢測過程復(fù)雜激光干涉儀素，我司于2015年在國內(nèi)首家推出高性能重大產(chǎn)品高精SJ6000激光干涉儀該產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。測量范圍廣：與不同的光學(xué)組件現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量；在相關(guān)軟件的配行動(dòng)態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀- #- -OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀- - #-SJ6000激光干涉儀0.677777SJ6000激光激光干涉光路設(shè)計(jì)

4、、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀- #- -0CHOTEST中SJ6000激光干涉儀精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(510分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。使用時(shí)，操作者先按照設(shè)計(jì)的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：邁克爾遜干涉儀的基本原理圖邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對

5、應(yīng)的平面鏡反射回來，這兩束光從而能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實(shí)現(xiàn)，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點(diǎn)的軌跡，因此，要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設(shè)定測量的開始、結(jié)束位置，點(diǎn)擊“開始”按鈕，軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)顯示測量所得動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)；掃描結(jié)束后，操作者可通過對測量所得數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標(biāo)準(zhǔn)對被測件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定，檢測結(jié)束后自動(dòng)生成檢定結(jié)果。四、功能特點(diǎn)1.應(yīng)用范圍廣：可實(shí)現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度

6、等幾何量的檢測；在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀- - #-1.0.5ppm（040）2.測量精度高：以激光干涉3.采用穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保激光熱穩(wěn)頻控nr?/iHiz干涉光路穩(wěn)定YY兩個(gè)方向制系統(tǒng)，保證激光號），光路調(diào)節(jié)迅先進(jìn)的PSD技術(shù)（光電位置測量6項(xiàng)精感檢測器，可將光敏面上的光點(diǎn)差、XX及4.內(nèi)置GBISOBSDINJIS5.安裝15kg平校正儀安裝調(diào)光方便；斷光無影響，方6.界面友好，更符合中國用戶操作習(xí)慣；7.測量記錄采用集中式

7、數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件8.可從9.可將到Word、Excel、AutoCAD10.具有11.輸出多種Word格OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀- #- #-OCHOTEST中圖儀器SJ6000激光干涉儀- #- #-2.激光0.05ppmSJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- -OCHOTEST中圖儀器3.分：O.OOlumSJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-4.測量：4.0m/SSJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #

8、- #-5.：0-40m6.510分SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-7.：1.0mBar：6%：0.18.本重量（）：15KgSJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-檢測標(biāo)準(zhǔn)激光干涉儀測量分析軟件支持以下機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：ISO230-2老版國際標(biāo)準(zhǔn)SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-ISO230-1997新版國際標(biāo)準(zhǔn)SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀

9、- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-ANSIB5.54美國國家標(biāo)準(zhǔn)SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- - #-ASMEB89.1.12M美國機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)NMTBA美國機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)BS3800英國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)BS4656英國三測機(jī)標(biāo)準(zhǔn)JISB6330日本國家標(biāo)準(zhǔn)SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-GB17421-2000中國國家標(biāo)準(zhǔn)SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-VDI3441德國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-VDI2617德國三測機(jī)標(biāo)準(zhǔn)SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-SJ6000激光干涉儀SJ6000激光干涉儀- #- #-E60-099法國國家標(biāo)準(zhǔn)SJ6000SJ6000- #- -0CHOTEST中圖儀器七、產(chǎn)品配置清單1.配置SJ6000SJ6000- #- #-SJ6000SJ6000- #- #