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1、Good is good, but better carries it.精益求精,善益求善。JZ-460660多晶鑄錠爐相關(guān)技術(shù)性能參數(shù)-產(chǎn)品資料多晶鑄錠爐型號(hào):JZ-460/660(G5熱場(chǎng))制造商:北京京運(yùn)通科技股份有限公司電話傳真8283聯(lián)系人:郭彥京,2011年公司簡(jiǎn)介公司概況北京京運(yùn)通科技股份有限公司成立于2002年8月8日,并于2008年10月31日改制為股份有限公司,注冊(cè)資金3.69億元人民幣,公司總資產(chǎn)15億元人民幣。公司主要產(chǎn)品包括:軟軸單晶爐、多晶鑄錠爐、區(qū)熔單晶爐、硅芯爐、多晶硅還原爐、晶體

2、下拉爐等。企業(yè)2008年總產(chǎn)值達(dá)8億元,2009年總產(chǎn)值6億元,2010年全年總產(chǎn)值約10億元。公司目前員工總數(shù)560余人,大專以上學(xué)歷人員占30%以上。2008年4月公司在董事長(zhǎng)馮煥培先生提議下,董事會(huì)聘請(qǐng)美國(guó)麻省理工學(xué)院機(jī)械工程博士黎志欣先生任京運(yùn)通公司總裁兼首席運(yùn)營(yíng)官,負(fù)責(zé)公司的日常運(yùn)營(yíng)。公司目標(biāo)是要成為世界級(jí)光伏設(shè)備制造商,要把國(guó)際光伏先進(jìn)設(shè)備和服務(wù)與國(guó)內(nèi)的制造成本結(jié)合起來(lái),為客戶提供性價(jià)比最高的產(chǎn)品。公司總部位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路158號(hào),建筑面積達(dá)3.8萬(wàn)平方米的現(xiàn)代化大型裝配廠房已于2009年初投入使用。公司產(chǎn)能得到大幅度提升,已具備單晶爐月產(chǎn)150臺(tái),多晶硅鑄錠爐50臺(tái)

3、的產(chǎn)能。原有張家灣開發(fā)區(qū)廠區(qū)在改造擴(kuò)建的同時(shí),新購(gòu)入各種大型及精密加工設(shè)備,已成為公司的設(shè)備加工基地,為京運(yùn)通的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。我公司為北京市高新技術(shù)企業(yè),中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)和中國(guó)半導(dǎo)體材料協(xié)會(huì)會(huì)員單位。公司從2003年申請(qǐng)并通過(guò)了ISO9001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證審核。主要產(chǎn)品進(jìn)行了CE認(rèn)證,公司擁有光伏設(shè)備相關(guān)專利30余項(xiàng),具有較強(qiáng)的研發(fā)能力,不斷推出的新產(chǎn)品,將促進(jìn)企業(yè)的持續(xù)發(fā)展。公司產(chǎn)品介紹公司產(chǎn)品硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備主要以軟軸硅單晶爐和多晶硅鑄錠爐為主力產(chǎn)品,其次還有區(qū)熔爐和多晶硅還原爐等其他相關(guān)爐型。其中軟軸單晶硅爐包括JRDL-800,JRDL-900兩種主要爐型,從

4、控制上分為(PLCIRCON工控機(jī)),(PLCCCD工控機(jī))和(全自動(dòng).只限JRDL-900-AT)三種形式;多晶鑄錠為JZ-270/450、JZ-460/660幾種機(jī)型,控制上全部實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,PLC控制系統(tǒng)為西門子新型產(chǎn)品。JRDL-900型軟軸硅單晶爐已經(jīng)達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)技術(shù)水平,設(shè)備投料量大,產(chǎn)出率高,該設(shè)備使用的22寸熱場(chǎng),投料量100Kg120Kg,可拉制8英寸硅單晶。20寸熱場(chǎng)投料75Kg100Kg,可拉制6英寸硅單晶,長(zhǎng)度可在1500MM以上。我公司2007年研制試驗(yàn),2008年投入市場(chǎng)的多晶硅鑄錠爐擁有多個(gè)型號(hào),是目前世界上型號(hào)最全,規(guī)格最大的多晶硅鑄錠爐,已分別產(chǎn)出:270Kg、

5、450Kg、520Kg、660Kg、800Kg硅錠,該設(shè)備主要運(yùn)動(dòng)、測(cè)量、控制部件采用進(jìn)口元器件,爐型為全自動(dòng)控制,PLC控制系統(tǒng)采用先進(jìn)的西門子新型產(chǎn)品,控制穩(wěn)定,可靠性強(qiáng),我公司多晶硅鑄錠爐已具備世界領(lǐng)先水平,是民族產(chǎn)業(yè)的驕傲。公司業(yè)績(jī)我公司為北京市高新技術(shù)企業(yè),企業(yè)多年獲得科委授予的科技進(jìn)步獎(jiǎng)。2003年完成工業(yè)控制計(jì)算機(jī)軟軸單晶爐的研發(fā)和應(yīng)用項(xiàng)目,實(shí)現(xiàn)了計(jì)算機(jī)與JRDL-700型軟軸單晶爐的配套,并榮獲北京西城區(qū)科委2003年度科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。2004年完成JRDL-800型軟軸單晶爐的研制、榮獲2004年度科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。2005年12月我公司研制的首臺(tái)4英寸區(qū)熔爐在四川峨眉半導(dǎo)體材

6、料廠一次試產(chǎn)成功,榮獲2005年度科技進(jìn)步三等獎(jiǎng),該項(xiàng)目同時(shí)獲得2006-2007年度北京市火炬計(jì)劃項(xiàng)目證書。打破區(qū)熔爐長(zhǎng)期以來(lái)依賴國(guó)外進(jìn)口的局面,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)設(shè)備生產(chǎn)的一項(xiàng)空白。2007年完成了JRDL-900型軟軸單晶爐研制,并榮獲電子信息部授予的“中國(guó)半導(dǎo)體新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)”,我公司JRDL-800和JRDL-900軟軸硅單晶爐產(chǎn)品在全國(guó)市場(chǎng)占有率一直保持在50%以上,并出口到美國(guó)、韓國(guó)、日本、臺(tái)灣等國(guó)家和地區(qū)。2008年我公司研發(fā)實(shí)驗(yàn)成功的多晶硅鑄錠爐投入市場(chǎng),打破了國(guó)外設(shè)備廠家對(duì)國(guó)內(nèi)多晶硅鑄錠爐市場(chǎng)的壟斷,榮獲電子信息部“中國(guó)半導(dǎo)體新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)”,其中JZ-460/660爐型被我國(guó)著名

7、光伏產(chǎn)業(yè)制造商一次訂購(gòu)六百余臺(tái),目前已產(chǎn)出660Kg和800Kg硅錠,開創(chuàng)了國(guó)際鑄錠生長(zhǎng)史上的先河,為世界首創(chuàng)。四、公司發(fā)展目標(biāo)目前我公司是世界上銷售數(shù)量最大的光伏產(chǎn)業(yè)設(shè)備制造商,公司的目標(biāo)是要成為世界級(jí)的光伏設(shè)備制造商。將在人才引進(jìn),科研開發(fā)、提高制造水平,市場(chǎng)開拓方面做更多的工作?,F(xiàn)在公司在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)再次購(gòu)置土地200畝,將進(jìn)行光伏產(chǎn)業(yè)園的建設(shè),在太陽(yáng)能光伏設(shè)備領(lǐng)域里開創(chuàng)新的局面,實(shí)現(xiàn)世界一流的光伏設(shè)備制造商的目標(biāo),創(chuàng)“京運(yùn)通”的自主民族品牌,為光伏產(chǎn)業(yè)廣大客戶提供更好的服務(wù),真誠(chéng)希望和大家的合作。附件1:JZ-460/660多晶鑄錠爐技術(shù)參數(shù)一、JZ-460/660型多晶鑄錠爐介

8、紹JZ-460/660型多晶鑄錠爐能生產(chǎn)520KG/660KG-800KG優(yōu)質(zhì)的多晶硅錠,本設(shè)備的生產(chǎn)量很大,能在60個(gè)小時(shí)的時(shí)間內(nèi)生產(chǎn)出合格的硅錠。設(shè)備操作簡(jiǎn)單,直觀的界面,給操作人員節(jié)省很多時(shí)間來(lái)處理設(shè)備的運(yùn)行情況,從而極大的提高了生產(chǎn)效率,節(jié)約了成本。JZ-460/660型多晶鑄錠爐使用高純度的內(nèi)涂氮化硅的石英坩堝,運(yùn)行過(guò)程中,通過(guò)隔熱層的提升,在熱場(chǎng)內(nèi)產(chǎn)生溫度梯度,從而由下往上定向長(zhǎng)晶,在整個(gè)長(zhǎng)晶過(guò)程中只有隔熱層一個(gè)部件在運(yùn)動(dòng),大大減少了故障的發(fā)生,從而提高了爐子的穩(wěn)定性能。整個(gè)工藝過(guò)程分為裝料,抽真空,檢漏,加熱,熔化,長(zhǎng)晶,退火,冷卻。裝料是在噴有氮化硅涂層的石英坩堝內(nèi),在保證不破

9、壞涂層的條件下,進(jìn)行裝料。裝完料后開始抽真空,當(dāng)壓力降到0.008mbar時(shí)即可檢漏,如果設(shè)備檢漏通過(guò),此時(shí)我們即可開始自動(dòng)運(yùn)行設(shè)備,按照配方工藝步驟運(yùn)行。在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中,一般自坩堝底部開始降溫,當(dāng)硅熔體溫度低于熔點(diǎn)時(shí),在接近坩堝底部處首先凝固,形成許多細(xì)小的核心,然后橫向生長(zhǎng),當(dāng)核心相互接觸時(shí),再逐漸向上生長(zhǎng),長(zhǎng)大,形成柱狀晶,柱狀方向與晶體方向平行,直至所有的硅熔體都結(jié)晶為止,這樣制備出來(lái)的多晶硅的晶粒大小,晶界結(jié)構(gòu),缺陷類型都很相似。對(duì)于重量為520kg的鑄造多晶硅而言,硅錠尺寸一般為840*840*316mm。目前JZ-460/660爐型已被著名硅片制造廠家批量采用,穩(wěn)定生產(chǎn)出高質(zhì)量

10、的硅錠。二、JZ-460/660型多晶鑄錠爐使用需要的環(huán)境條件(戶內(nèi))環(huán)境溫度:205環(huán)境濕度:65%(不結(jié)露)地質(zhì)震動(dòng)要求:外界震源:當(dāng)大于10HZ時(shí),振幅小于00.003mm三、我公司JZ-460/660多晶鑄錠爐技術(shù)性能參數(shù)表序號(hào)項(xiàng)目參數(shù)備注1電源電壓380VAC2電源頻率50HZ3電源相數(shù)3相4電源功率200KW真空機(jī)組電源功率11.5KW,電控系統(tǒng)電源10KW5坩堝尺寸520550Kg870870480mm推薦660800Kg10401040480mm推薦6鑄錠尺寸520Kg840840316mm660Kg10001000283mm7爐內(nèi)真空度抽空極限真空度1Pa以下長(zhǎng)晶等階段工作壓

11、力600mbar允許泄漏量2Pa/5min測(cè)量范圍0.01331.33105Pa8爐內(nèi)溫度與測(cè)量最高極限溫度1575測(cè)量最高溫度1800R型熱電偶重復(fù)精度:0.5紅外測(cè)溫儀重復(fù)精度:19內(nèi)/外部尺寸爐體內(nèi)直徑2100mm爐體內(nèi)高度2625mm下腔室升降行程950mm隔熱鋼籠升降行程380mm主機(jī)(長(zhǎng)寬高)323032004850mm平臺(tái)(含單邊梯子)(長(zhǎng)寬高)516047304160mm10重量主機(jī)5500kg平臺(tái)3350kg11冷卻水入口壓力最大0.45MPa入、出口壓力差0.25MPa入口水溫28(最好241)流量160180L/min12備用水(緊急情況)流量160L/min停水時(shí)能立即

12、換至備用水維持時(shí)間10h13所需氦氣壓力0.3MPa以上可選項(xiàng)用量67m3/硅錠14所需氬氣壓力0.3MPa以上用量7075m3/硅錠流量控制范圍0200L/min15壓縮空氣壓力0.50.7MPa用量0.5m3/爐流量100L/min16所需真空機(jī)組電源電壓380V功率11.5KW頻率50Hz相數(shù)3相17所需電控系統(tǒng)電源電壓380V功率10KW頻率50Hz相數(shù)3相18所需加熱系統(tǒng)電源電壓380V功率200KW頻率50Hz相數(shù)3相19泄露率1Pa/h20標(biāo)準(zhǔn)熔料量520550kg(460熱場(chǎng))21生產(chǎn)周期約60小時(shí)(適用于520kg硅碇)22管路接口泄壓安全閥接管口徑150mm氬氣接管口徑NW

13、-16法蘭氦氣接管口徑NW-16法蘭壓縮空氣8軟管接頭冷卻水入、出口口徑Rc223真空機(jī)組抽氣速率300L/S主管路進(jìn)氣口徑150mm輔管路進(jìn)氣口徑16mm出氣口徑76mm24叉車(選配)提升高度最大2000mm載重量最大1000Kg前腳高度最大110mm兩只前腳寬度最大1300mm25UPS(選配)3000VA,16只,12V,24AH說(shuō)明:文中520kg為我方推薦裝料重量。設(shè)備兼容420kg-520kg的裝料量,且硅錠高度須按重量調(diào)整。建議標(biāo)準(zhǔn)投料量,可以兼容420kg-520kg的裝料量,550kg為針對(duì)870870480mm坩堝的極限裝料量。四、供貨清單序號(hào)貨物名稱規(guī)格型號(hào)單位數(shù)量備注

14、1主機(jī)JZ-460/660臺(tái)京運(yùn)通2電控柜臺(tái)京運(yùn)通3變壓器電源柜臺(tái)英杰電器4真空機(jī)組臺(tái)力鑫5加熱器套西格里石墨6保溫層套美國(guó)Ucar保溫氈7熱偶測(cè)溫裝置套美國(guó)霍尼韋爾五、變壓器技術(shù)規(guī)范輸入額定電壓:變壓器每相帶3個(gè)抽頭3AC380V,3AC400V,3AC420V額定頻率:50/60HZ電壓波動(dòng)范圍:342V418V輸出額定容量:200KW額定電壓:3AC25V其他加熱控制方式:定周期調(diào)功方式調(diào)壓方式:變壓器一次側(cè)調(diào)壓變壓器結(jié)構(gòu):/Y控制信號(hào):420mA功率因數(shù):0.9六、設(shè)備布置圖及土建資料七、多晶鑄錠爐安裝條件:(一)、供土建設(shè)計(jì)所有資料廠方要求安裝起吊高度:6500mm。廠房清潔度要求:

15、密閉凈化廠房(參考30-100萬(wàn)級(jí)根據(jù)當(dāng)?shù)仫L(fēng)沙氣候定),杜絕可腐蝕性氣體。安裝地基:應(yīng)放置在專用混凝土基礎(chǔ)上,混凝土厚度250mm,承重能力10噸/。室內(nèi)環(huán)境條件須恒溫、恒濕,室溫:205,相對(duì)濕度:65%廠房應(yīng)盡量遠(yuǎn)離或避開振動(dòng)源、外界振源:當(dāng)大于10Hz時(shí)振幅值小于0-0.003mm。(二)、冷卻用水的要求:用水量及壓力流量1、冷卻水入口壓力最大:0.45MPa入、出口壓力差:0.25MPa入口水溫:28(最好24+1)流量:160-180L/min2、備用水(緊急情況):流量160L/min,維持時(shí)間10h,備注:停水時(shí)立即換至備用水。(三)、鑄錠爐用各種氣體、壓力及用量1、氬氣壓力及用

16、量壓力:0.3MPa以上流量:能提供0-200L/min的流量消耗量:70-75m左右/爐2、壓縮空氣壓力:0.5MPa-0.7MPa流量:100L/min3、氦氣(可選項(xiàng))壓力:0.3MPa以上用量:6-7m/硅錠(四)、鑄錠爐各單元用電明細(xì)1、真空機(jī)組電源電壓:380V頻率:50Hz功率:11.5kw相數(shù):3相2、電控系統(tǒng)電源電壓:380V頻率:50Hz功率:10kw相數(shù):3相3、加熱系統(tǒng)電源電壓:380V頻率:50Hz功率:200kw相數(shù):3相(五)、鑄錠爐水氣管路接口口徑1、配氣管路接口:泄壓安全閥接管口徑150mm氬氣接管口徑NW-16法蘭氦氣接管口徑NW-16法蘭2、冷卻水接口:冷

17、卻水入、出口口徑Rc2(六)、鑄錠爐真空機(jī)組參數(shù)1、真空機(jī)組抽氣速率:300L/s主管路進(jìn)氣口徑:150mm出氣口口徑:76mm輔管路進(jìn)氣口徑:16mm八、產(chǎn)品實(shí)用新型專利證書北京京運(yùn)通多晶硅鑄錠爐,專利申請(qǐng)實(shí)用新型專利:一種新型多晶硅爐,專利號(hào):ZL200820080643.1實(shí)用新型專利:多晶硅爐傳動(dòng)裝置,專利號(hào):ZL200820080641.2實(shí)用新型專利:多晶硅爐泄壓裝置,專利號(hào):ZL200820080645.0實(shí)用新型專利:一種多晶硅鑄錠爐,專利號(hào):ZL200820080640.8實(shí)用新型專利:多晶硅鑄錠爐,專利號(hào):ZL200820080644.6外觀設(shè)計(jì)專利:多晶硅爐,專利號(hào):ZL

18、200830085309.0發(fā)明專利:多晶硅鑄錠爐自動(dòng)控制系統(tǒng)及方法,申請(qǐng)?zhí)枺?00810111800.5發(fā)明專利:多晶硅爐觀察裝置,申請(qǐng)?zhí)枺?00810111607.1軟件著作權(quán):多晶硅鑄錠爐操作控制軟件V1.0,登記號(hào):2008SR34560九、JZ-460/660型多晶爐補(bǔ)充介紹(一)、機(jī)械部分:質(zhì)量流量控制器:采用美國(guó)進(jìn)口ALICAT品牌質(zhì)量流量控制器來(lái)控制氬氣的流量,保證工藝所需的氬氣能夠穩(wěn)定,準(zhǔn)量的輸送到爐內(nèi)。ALICAT品牌為美國(guó)知名品牌,其產(chǎn)品以穩(wěn)定的工作性能和極其低的故障率,使眾多廠家選用了此品牌。本質(zhì)量流量控制器內(nèi)置數(shù)碼顯示,配備自動(dòng)與手動(dòng)控制兩個(gè)選擇,在發(fā)生緊急情況時(shí),可

19、以手動(dòng)的控制質(zhì)量流量控制器來(lái)保證爐內(nèi)晶體的質(zhì)量。絕對(duì)電容壓力計(jì):采用兩個(gè)美國(guó)進(jìn)口MKS品牌的絕對(duì)電容壓力計(jì)來(lái)監(jiān)控爐內(nèi)的壓力,量程分別為1torr和1000torr。通過(guò)這兩個(gè)電容壓力計(jì),可以準(zhǔn)確的判斷爐體是否漏氣、爐內(nèi)運(yùn)行要求的壓力等等。直線運(yùn)動(dòng)單元采用德國(guó)進(jìn)口丹納赫品牌的直線運(yùn)動(dòng)單元,通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)來(lái)帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)單元來(lái)上下運(yùn)動(dòng),從而帶動(dòng)隔熱籠上下運(yùn)動(dòng),來(lái)控制長(zhǎng)晶。渦輪絲杠直線推桿采用德國(guó)進(jìn)口丹納赫品牌的直線推桿,帶動(dòng)下腔室運(yùn)動(dòng),保證下爐體運(yùn)行的平穩(wěn)與可靠,從而保證了裝料的精度,避免了因?yàn)橄虑皇覔u晃而造成的安全隱患。氧化鋁纖維毯采用了日本M.E.S的氧化鋁針刺纖維毯,整體結(jié)構(gòu)鋪在爐底。當(dāng)發(fā)生硅液

20、溢流事故時(shí)能夠?qū)⒐枰号c爐體隔離開,保證了人員與設(shè)備的安全,從而提高安全性。排氣總閥:排氣總閥即真空閥采用了進(jìn)口瑞士VAT的產(chǎn)品,該產(chǎn)品性能穩(wěn)定,能夠在高壓差下穩(wěn)定工作,具備停氣后自動(dòng)關(guān)閉的功能,當(dāng)車間斷電時(shí),能夠自動(dòng)關(guān)閉,保持爐內(nèi)壓力,等待操作人員解決問(wèn)題。傳動(dòng)軟軸:傳動(dòng)軟軸采用了國(guó)內(nèi)著名廠商上海公利的產(chǎn)品,傳動(dòng)穩(wěn)定可靠,保證了下爐體長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)動(dòng)。能夠兼容800kg硅料時(shí)爐腔的重量。真空泵:真空泵為整個(gè)設(shè)備的運(yùn)行提供了真空動(dòng)力源。力鑫真空是國(guó)內(nèi)著名真空設(shè)備生產(chǎn)商。其公司有成熟的產(chǎn)品,完善的售后服務(wù)網(wǎng),使其在行業(yè)內(nèi)享有盛譽(yù)。目前塞維已經(jīng)陸續(xù)將GT原帶真空泵替換為力鑫真空的真空機(jī)組。氣控閥,電磁

21、閥等氣控元件均采用了日本smc的系列產(chǎn)品。爐膛采用了進(jìn)口低炭不銹鋼316L,采用半自動(dòng)焊接。良好的焊接性能保證了設(shè)備穩(wěn)定可靠地運(yùn)行,其余機(jī)械關(guān)鍵部件均為京運(yùn)通自主生產(chǎn),控制了加工環(huán)節(jié),避免了在外協(xié)廠商處因?yàn)椴馁|(zhì)、加工工藝等原因造成設(shè)備穩(wěn)定性的下降。(二)、電氣部分:可編程控制器(PLC)采用了國(guó)際名牌德國(guó)西門子的全套PLC單元,包括cpu,溫度模塊,運(yùn)動(dòng)模塊,電源模塊等等。控制器的整體采用保證了設(shè)備的兼容性,再加上西門子公認(rèn)的極低的故障率,保證了設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行,降低了維修保養(yǎng)成本。隔熱籠提升伺服電機(jī)與下腔室提升伺服電機(jī):采用著名廠家臺(tái)達(dá)的伺服電機(jī)與驅(qū)動(dòng)器配套使用,伺服電機(jī)內(nèi)置高精度編碼器

22、,能夠準(zhǔn)確的將伺服電機(jī)的運(yùn)行參數(shù)反饋給驅(qū)動(dòng)器,從而高準(zhǔn)確度的控制隔熱籠與下腔室的運(yùn)行。平板電腦(工控機(jī))采用了國(guó)內(nèi)知名品牌研華的工控機(jī),高端的計(jì)算機(jī)配置保證了系統(tǒng)界面運(yùn)行的速度,專業(yè)的工業(yè)控制電腦生產(chǎn)商,擁有多項(xiàng)專利技術(shù),保證了電腦運(yùn)行的可靠與穩(wěn)定。配備本司獨(dú)自研發(fā)的控制系統(tǒng),使鑄錠爐的操作更加的簡(jiǎn)單,快捷。主供電電源主供電電源采用了四川英杰生產(chǎn)的多晶鑄錠爐電源與電源控制柜。該電源采用了英杰自主研發(fā)的功率控制器,可以穩(wěn)定、長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)行,功率因數(shù)可以達(dá)到0.92以上,極大的節(jié)約了能源,提高了可靠性。紅外高溫計(jì)采用了國(guó)內(nèi)知名品牌亞頻科技的產(chǎn)品,高精度的溫度監(jiān)測(cè)保證了報(bào)警信號(hào)采集的準(zhǔn)確與快捷。減少了

23、誤報(bào)警的次數(shù)。(三)、熱場(chǎng)部分:JZ-460/660為了保證工藝要求,延長(zhǎng)使用壽命,降低能耗,全套熱場(chǎng)采用進(jìn)口材質(zhì)。隔熱層:全套美國(guó)優(yōu)卡材料(與GT配套廠家一致),經(jīng)過(guò)了授權(quán)的專業(yè)化處理,避免了因二次加工對(duì)其表面?zhèn)笤斐擅芏葴p小,隔熱效果下降的現(xiàn)象出現(xiàn)。加熱器,dss-block,護(hù)板,墊板等石墨件:采用了世界四大供應(yīng)商之一的德國(guó)西格里石墨。熱電偶測(cè)溫裝置:采用了全套美國(guó)進(jìn)口配件(熱偶絲,熱偶絲絕緣套,氧化鋁保護(hù)管,氧化鋯保護(hù)管)美國(guó)進(jìn)口熱偶提高了測(cè)溫的精度,能夠更好的控制晶體質(zhì)量;延長(zhǎng)了使用壽命,縮小了維修成本。降低了因?yàn)楸Wo(hù)管損壞影響生產(chǎn)的概率。具體外購(gòu)件信息請(qǐng)見JZ-460/660爐主要外購(gòu)件明細(xì)表。京運(yùn)通JZ-460/660爐主要外購(gòu)件明細(xì)表序號(hào)設(shè)備名稱型號(hào)規(guī)格數(shù)量國(guó)別/產(chǎn)地備注1質(zhì)量流量控制器1ALICAT美國(guó)2絕對(duì)電容壓力計(jì)627/6262MKS美國(guó)3直線運(yùn)動(dòng)單元MG07K057A*7003丹納赫德國(guó)4渦輪絲杠直線推桿3丹納赫德國(guó)5氧化鋁針刺纖維毯1.5RM.E.S日本6真空閥14044-PE441VAT瑞士7電磁閥SYJ714-5G5SMC日本8氣動(dòng)閥1SMC日本9傘齒輪箱3穆新光10傳動(dòng)軟軸4上海公利11真空泵1力鑫真空12可編程1西門子德國(guó)13隔熱籠提升伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器1臺(tái)達(dá)14下腔室提升伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器1臺(tái)達(dá)15平板電腦PPC-17

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