IDF工序培訓(xùn)教材(共32張)(PPT 32頁(yè))

1、內(nèi)層干膜工序第1頁(yè)，共32頁(yè)。 工藝流程 前處理貼膜/涂布曝光顯影蝕刻退膜第2頁(yè)，共32頁(yè)。一、前處理(清潔板面)1.前處理的作用：除去銅表面的有機(jī)污物、指印、氧化層及原銅基材上防止氧化的保護(hù)層，然后進(jìn)行微蝕處理，以得到與干膜具有優(yōu)良黏附性能的粗糙銅面。2.前處理的流程：酸性除油水洗微蝕水洗酸洗DI水洗烘干3.藥水成分：除油：酸性除油劑UC或EC 微蝕：NPS，H2SO4酸洗：H2SO4第3頁(yè)，共32頁(yè)。4.前處理重要檢查項(xiàng)目:水裂點(diǎn)測(cè)試：用一塊未過(guò)前處理的內(nèi)層芯板按正常參數(shù)過(guò)前處理，然后拿出將整板置入盛滿(mǎn)干凈市水或DI水的缸中，再將板以45-90度角度從缸中拿出并開(kāi)始記時(shí)，至到板面水痕從板面

2、裂開(kāi)為止。 水裂點(diǎn)接受標(biāo)準(zhǔn)：30s微蝕量測(cè)試：由物測(cè)室提供的樣板稱(chēng)重，過(guò)一遍前處理后送至物測(cè)室烘板半小時(shí)再稱(chēng)重，將前后重量差除以銅密度及樣板面積可得到微蝕量。 微蝕量接受標(biāo)準(zhǔn)：0.8-1.2um/cycle風(fēng)干效果：目視檢查無(wú)水殘留即可以上項(xiàng)目不能達(dá)到要求則直接影響貼膜質(zhì)量，造成干膜與板附著力不夠，微蝕量過(guò)高還會(huì)造成銅薄，特別是返工板，且影響成本。監(jiān)控參數(shù)：傳送速度、藥水濃度、噴淋壓力、溫度第4頁(yè)，共32頁(yè)。5.藥水添加方法：目前前處理的除油劑及微蝕藥水均按做板面積添加，待分析后若有異常再按加藥單添加。感應(yīng)裝置屬藥水濃度感應(yīng)。第5頁(yè)，共32頁(yè)。二、貼膜1.貼膜概述： 在加熱、加壓條件下使干膜牢

3、牢的結(jié)合在經(jīng)過(guò)潔凈和粗化的覆銅箔板上。2.貼膜的流程: 清潔預(yù)熱進(jìn)板貼膜出板收板第6頁(yè)，共32頁(yè)。3.干膜結(jié)構(gòu)：聚乙烯墊層：支撐抗蝕層的載體，曝光后顯影前人工除去抗蝕層：感光主體聚脂蓋層：保護(hù)膜，避免在卷膜時(shí)每層抗蝕層與墊層之間相互粘連，貼膜于銅箔前貼膜機(jī)將其自動(dòng)剝離。第7頁(yè)，共32頁(yè)。4.貼膜三要素：壓力：壓力過(guò)小易導(dǎo)致氣泡、貼膜不牢溫度：貼膜溫度過(guò)高，干膜可能變脆、起皺，可能造成揮發(fā)成分急劇揮發(fā)而起泡；貼膜溫度過(guò)低則黏附不牢，在顯影時(shí)翹起甚至脫落傳送速度：與溫度有關(guān)，溫度高則傳送速度可適當(dāng)放快，溫度低則將傳送速度調(diào)慢，兩者需要根據(jù)產(chǎn)量、工藝條件、貼膜質(zhì)量調(diào)整至適當(dāng)參數(shù)?？紤]到產(chǎn)量的原因，貼

4、膜速度不可能放的太低，而貼膜壓轆難以在短時(shí)間里提供足夠熱量，所以會(huì)在貼膜前加預(yù)熱轆 公司現(xiàn)使用參數(shù)：壓力：4.00.2kg/cm2溫度：預(yù)熱溫度：805oC，貼膜溫度：11010oC傳送速度：3.50.1m/min為保持工藝穩(wěn)定性，貼膜后須靜置15分鐘后方可曝光。第8頁(yè)，共32頁(yè)。5.干膜技術(shù)性能要求：質(zhì)量好的干膜必須無(wú)氣泡、顆粒、雜質(zhì)； 抗蝕膜厚度均勻； 顏色均勻一致 ；無(wú)膠層流動(dòng)；如果干膜存在上述要求中的缺陷，就會(huì)增加缺陷或引起報(bào)廢。膜卷必須卷繞緊密、整齊，層間對(duì)準(zhǔn)誤差應(yīng)小于1mm，這是為了防止在貼膜時(shí)因卷繞誤差而弄臟熱壓輥，也不會(huì)因卷繞不緊而出現(xiàn)連續(xù)貼膜。聚酯薄膜應(yīng)盡可能薄，聚酯膜太厚會(huì)

5、造成曝光時(shí)光線(xiàn)嚴(yán)重散射，而使圖像失真，降低干膜分辨率。聚酯薄膜必須透明度高，否則會(huì)增加曝光時(shí)間。聚乙烯保護(hù)膜厚度應(yīng)均勻，如厚度不均勻?qū)⒃斐晒庵驴刮g層膠層流動(dòng)，嚴(yán)重影響干膜的質(zhì)量。 第9頁(yè)，共32頁(yè)。6.干膜儲(chǔ)藏條件：溫度：18-22濕度：50-60%RH干膜貼膜后靜置時(shí)間：小于48小時(shí)干膜儲(chǔ)存期：從出廠之日算起不超過(guò)六個(gè)月。超過(guò)儲(chǔ)存期按要求檢驗(yàn)合格則仍可使用。超過(guò)儲(chǔ)存期限可能造成的缺陷：干膜儲(chǔ)存時(shí)間過(guò)久，抗蝕劑中溶液揮發(fā)可能造成貼膜不牢第10頁(yè)，共32頁(yè)。7.干膜的其它性能變色性能：在生產(chǎn)操作過(guò)程中為避免漏曝光和重曝光，干膜在曝光前后顏色應(yīng)有明顯的變化，這就是干膜的變色性能。掩蔽性能：當(dāng)使用于

6、膜作為掩孔蝕刻時(shí)，要求干膜具有足夠的柔韌性，以能夠承受顯影過(guò)程、蝕刻過(guò)程液體壓力的沖擊而不破裂，這就是干膜的掩蔽性能。 8.壓轆：安裝貼膜機(jī)時(shí)要注意壓轆的軸向平行，否則會(huì)造成干膜起皺。壓轆使用時(shí)間長(zhǎng)后表面會(huì)有凹坑或劃傷，主要為來(lái)料的板邊披鋒及雜物刮傷，貼膜后會(huì)在干膜及銅板間產(chǎn)生氣泡，發(fā)現(xiàn)此問(wèn)題嚴(yán)重影響板面質(zhì)量須外發(fā)包膠壓轆。第11頁(yè)，共32頁(yè)。三、涂布（Roller Coating）1.概述：將樹(shù)脂油墨和溶劑的混合物均勻的涂在經(jīng)過(guò)潔凈、粗化的覆銅箔板上，溶劑經(jīng)過(guò)烘箱揮發(fā)，使油墨與板牢牢結(jié)合。2.涂布流程：清潔進(jìn)板涂膜烘干冷卻清潔出板收板第12頁(yè)，共32頁(yè)。3.參數(shù)控制：油墨溫度：20-26油墨

7、粘度：35-45 sec涂布速度：2.5-3.5m/min（視板厚而定）油墨厚度：9-11um烘板溫度：根據(jù)板厚選擇對(duì)應(yīng)的溫度曲線(xiàn)程序，一般140左右。第13頁(yè)，共32頁(yè)。4.涂布原理：攪好的油墨加入貯油槽，并調(diào)節(jié)好粘度。油墨在離心泵的作用下從貯油槽進(jìn)入過(guò)濾器過(guò)濾。過(guò)濾后的油墨被傳送至上/下計(jì)量轆。銅板經(jīng)過(guò)拍板后進(jìn)入上/下涂布輪完成涂布后進(jìn)入烘干段。完成涂布后的油墨留入回油槽進(jìn)入貯油槽，形成閉和回路。第14頁(yè)，共32頁(yè)。5.涂布注意事項(xiàng)：涂布線(xiàn)在周保養(yǎng)后要拖缸及涂膜速度校正板厚：由于涂膜設(shè)備冷卻段生產(chǎn)0.7mm以上板厚的板容易造成皮帶脫落而卡板，且線(xiàn)路面質(zhì)量差，暫時(shí)將涂布的板厚控制在雙面大銅面

8、0.7mm以下，線(xiàn)路面0.3mm以下膜厚：由于濕膜過(guò)厚導(dǎo)致夾點(diǎn)掉膜屑過(guò)多，將膜厚控制在9-11um每6個(gè)月對(duì)烘箱進(jìn)行溫度曲線(xiàn)及各進(jìn)風(fēng)口的風(fēng)量測(cè)試，用規(guī)定的板厚（0.3mm）的溫度曲線(xiàn)程序進(jìn)行測(cè)量涂膜后待曝光的板不能有超過(guò)一塊以上的搬動(dòng)，避免擦花濕膜涂膜面積達(dá)到60萬(wàn)平方英尺需更換涂膜輪第15頁(yè)，共32頁(yè)。四、曝光1.概述：在紫外光照射下，藥膜進(jìn)行交聯(lián)聚合反應(yīng)，在板面上初步形成圖象。曝光機(jī)都是使用點(diǎn)光源。2.流程清潔曝光機(jī)裝菲林放板抽真空自動(dòng)曝光收板第16頁(yè)，共32頁(yè)。3.裝菲林：菲林打孔后裝上曝光機(jī)自動(dòng)對(duì)位，對(duì)位完成后曝光盤(pán)會(huì)將菲林吸附其上，在菲林四周貼上紅膠帶固定，并在菲林四周加上厚度合適的

9、墊條。第17頁(yè)，共32頁(yè)。4.抽真空抽真空使曝光玻璃、菲林、覆銅板緊密的貼在一起，減少光的散射。 如果抽真空的壓力不夠，菲林與覆銅板之間會(huì)殘留氣泡，光嚴(yán)重散射而出現(xiàn)氣泡部位曝光不良，負(fù)片成品板表現(xiàn)為短路。抽真空度控制在12+/-0.5 inHg第18頁(yè)，共32頁(yè)。5.墊條的使用 墊條放在曝光盤(pán)的四周以撐起盤(pán)邊，以保持曝光玻璃的平整；如果沒(méi)有按要求使用墊條，曝光玻璃會(huì)產(chǎn)生一定的弧度，這樣會(huì)造成曝光不良及重合度偏墊條添加的方法：在自動(dòng)曝光機(jī)玻璃臺(tái)的四邊墊上墊條，墊條厚度小于等于生產(chǎn)芯板厚度+兩張菲林厚度，誤差小于0.1mm半自動(dòng)曝光機(jī)則加3邊墊條第19頁(yè)，共32頁(yè)。6. 曝光尺：每班做曝光尺（包括

10、左上、左下、中間、右上、右下）曝光尺標(biāo)準(zhǔn)為自動(dòng)機(jī)：6+/-1.5級(jí)，半自動(dòng)機(jī)7+/-1.5級(jí)曝光尺是曝光的重要指標(biāo)，生產(chǎn)中通過(guò)曝光級(jí)數(shù)來(lái)衡量曝光能量的大小，如果曝光能量過(guò)大，主要會(huì)造成線(xiàn)條變粗、難于顯影；曝光能量過(guò)小則可能造成膜翹起、脫落、過(guò)蝕曝光能量與曝光機(jī)器、曝光燈規(guī)格及曝光時(shí)間有關(guān)，曝光燈老化會(huì)引起曝光能量不穩(wěn)定、曝光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。無(wú)異常情況則每1500小時(shí)更換曝光燈第20頁(yè)，共32頁(yè)。7.菲林變形在使用過(guò)程中，由于環(huán)境中溫度、濕度的變化，菲林會(huì)有輕微的變形。在曝光時(shí)會(huì)產(chǎn)生比較高的熱量，機(jī)器需要凍水循環(huán)來(lái)維持一個(gè)比較恒定的溫度，這樣才能將菲林的變形控制在可接受的范圍內(nèi)。另外由于長(zhǎng)期使用，菲林

11、也會(huì)老化而產(chǎn)生變形，這樣就需要更換菲林。曝光房溫度控制在202菲林上機(jī)前或每做240pnls板進(jìn)行拉數(shù)，板尺寸26inch*30inch控制范圍為1mil，板尺寸26inch*30inch控制范圍為1.5mil 。在生產(chǎn)中的菲林若出現(xiàn)變形或做滿(mǎn)1500pnls板則需要報(bào)廢（備注：外層減成法板菲林使用壽命為1000pnls）。第21頁(yè)，共32頁(yè)。五、清潔在圖形轉(zhuǎn)移的過(guò)程中清潔是非常重要的，如果清潔頻率不合適或操作不當(dāng)，則會(huì)引起大量的開(kāi)路、缺口，這是引起內(nèi)層報(bào)廢最多的缺陷。曝光房潔凈度為10000級(jí)清潔頻率：干膜板在貼膜前和曝光前都會(huì)經(jīng)過(guò)清潔機(jī)濕膜板在涂覆前、冷卻后、曝光前都會(huì)經(jīng)過(guò)清潔機(jī)干膜板：每

12、生產(chǎn)1lot板執(zhí)行酒精清潔菲林、曝光臺(tái)及玻璃，清潔紙每小時(shí)更換，每曝光1pnl板用粘轆清潔菲林濕膜板：每生產(chǎn)24pnls板執(zhí)行酒精清潔菲林、曝光臺(tái)及玻璃，清潔紙每小時(shí)更換，每曝光1pnl板用粘轆清潔菲林手動(dòng)粘轆、清潔機(jī)粘轆每4小時(shí)用酒精清潔一次用酒精清潔菲林后要靜置，待菲林表面風(fēng)干后方可生產(chǎn)第22頁(yè)，共32頁(yè)。六、DES1.流程：顯影水洗酸性蝕刻水洗去膜水洗抗氧化水洗烘干第23頁(yè)，共32頁(yè)。2.顯影顯影液為0.8-1.2%的碳酸鈉溶液,溫度控制在28-32,由于干膜與濕膜的顯影線(xiàn)不同,其噴淋壓力也不一樣 干膜線(xiàn)噴淋壓力（迅德）：上噴/1.60.2bar，下噴/1.40.2bar 濕膜線(xiàn)噴淋壓力

13、（揚(yáng)博）： 上噴/1.80.2kg/cm，下噴/1.50.2kg/cm顯影噴嘴有扇型及圓錐型，圓錐型特點(diǎn)是涵蓋的面積廣,有較佳的均勻性,但沖擊力?。簧刃秃w面積小,但沖擊力大。 內(nèi)層使用的噴嘴為扇型，有利于細(xì)線(xiàn)路與內(nèi)層板制作。顯影點(diǎn)：顯影點(diǎn)的位置是指在顯影過(guò)程中，未曝光聚合的干膜被沖洗掉而露出銅面的位置，顯影點(diǎn)是顯影缸入口到干膜剛好洗凈露銅的位置與整個(gè)顯影缸長(zhǎng)度之比。 顯影點(diǎn)太小會(huì)造成顯影過(guò)度，在蝕刻時(shí)造成線(xiàn)幼和毛邊；顯影點(diǎn)太大 則可能顯影不凈，有殘膠留下，造成殘銅、短路。 干膜顯影點(diǎn)控制在40-60%，濕膜顯影點(diǎn)控制在30-50%。第24頁(yè)，共32頁(yè)。3.蝕刻酸性氯化銅蝕刻液 主要成分為氯化

14、銅、鹽酸、氯化鈉，通過(guò)添加鹽酸和氯酸鈉再生蝕刻均勻性：平放的板在蝕刻時(shí)中間會(huì)聚集藥液，中間聚集的藥液老化使中間的蝕刻速度變慢，出現(xiàn)中間蝕刻慢，板邊蝕刻快的現(xiàn)象，要通過(guò)噴嘴方向和噴淋壓力來(lái)調(diào)整蝕刻均勻性。 蝕刻因子：銅層厚度/側(cè)蝕量 接受標(biāo)準(zhǔn)：3 蝕刻因子越大越好 第25頁(yè)，共32頁(yè)。蝕刻速度： 蝕刻速度與銅厚有關(guān)，銅越薄則蝕刻速度越快 CP中根據(jù)不同銅厚界定一個(gè)范圍，具體的蝕刻速度由首板結(jié)果決定，并且每lot抽檢一塊監(jiān)控。蝕刻壓力： 在線(xiàn)路特別密的地方可能會(huì)調(diào)高壓力，以增加藥液在線(xiàn)路間的流動(dòng)。第26頁(yè)，共32頁(yè)。4.去膜蝕刻后還要把板面上的抗蝕層去掉，一般用2-4%的NaOH作為去膜液，去膜點(diǎn)

15、要求50%，這樣才能避免留下殘余干膜影響后工序。5.DES其它點(diǎn):消泡劑：在顯影時(shí)會(huì)有大量的氣泡產(chǎn)生，這樣會(huì)降低噴淋壓力，所以需要加入消泡劑。膜碎：在顯影與去膜時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量膜碎，所以在這兩個(gè)缸連接了過(guò)濾網(wǎng)，在循環(huán)中將其濾去。第27頁(yè)，共32頁(yè)。七、內(nèi)層沖孔（TARGOMAT）沖孔是為層壓沖出兩個(gè)排版的定位孔?？拙啵憾ㄎ豢字g的距離在板邊有標(biāo)示，將此值輸入電腦后設(shè)備會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)好孔距。 可接受標(biāo)準(zhǔn)為層間最大偏差2mil孔徑：使用3.175mm的鉆刀。 可接受標(biāo)準(zhǔn)為3.15-3.20mm芯板漲縮：由于蝕刻后的板會(huì)有輕微漲縮，所以不同板的標(biāo)靶距離會(huì)不一樣，沖孔機(jī)能在沖孔前感應(yīng)其距離并顯示出來(lái)分成4個(gè)區(qū)域（A、B、C、D區(qū)），可在主機(jī)上設(shè)定接受范圍，A與D區(qū)標(biāo)識(shí)出來(lái)特別配套。第28頁(yè)，共32頁(yè)。八、返工產(chǎn)品貼膜前：重過(guò)前處理貼膜后