電子顯示技術等離子體顯示器工藝制造原理課件

1、第三章 等離子體顯示板 3.1 等離子體顯示板(PDP)的工作原理 3.2 彩色PDP的放電特性及發(fā)光機理 3.3 AC型PDP與DC型PDP的結構及驅動方式 3.4 PDP的主要部件及材料 3.5 PDP的制造工藝及裝置 3.6 PDP的應用 3.7 PDP的開發(fā)戰(zhàn)略第1頁，共55頁。8/5/20221PDP制造分為玻璃板制造，前后基板制造及裝配等四大工藝，如圖3.5 PDP的制造工藝及裝置第2頁，共55頁。8/5/202223.5.1 玻璃板制造工藝PDP用的蘇打石灰玻璃基板，是采用浮法工藝制造而成的。 浮法工藝在窗玻璃等的制造中早已采用，無論從生產(chǎn)效率還是從產(chǎn)品質量上來講，都是目前最好的

2、，其工藝過程如下： 首先，在熔煉窯中將玻璃原料熔化； 使其流入浮池中，熔融的玻璃將浮在液態(tài)錫的表面，如同油浮在水面上一樣。由此可獲得表面平滑的玻璃； 將如此得到的玻璃移送到緩冷爐中，在慢慢冷卻的過程中，調(diào)整玻璃的厚度，玻璃的厚度通過在各個方向拉伸玻璃來調(diào)整，拉伸快的部位減薄快，拉伸慢的部位減薄慢。目前PDP基板用玻璃的厚度大致為3mm。最后，切斷玻璃，研磨切斷面尖角(倒角)，洗凈。第3頁，共55頁。8/5/202233.5.2 AC型PDP前基板的制造工藝3.5.2.1 透明電極的形成 要在玻璃基板上形成放電用的透明電極，先要在整個玻璃基板表面上沉積Sn02或ITO等透明導電膜，目前一般采用磁

3、控濺射法進行沉積。 由磁控濺射法在整個玻璃基板表面上形成ITO膜之后，還要利用光刻法形成電極的圖形。 另外，由于SnO2難以蝕刻，因此其電極要由填平法(lift-off，又稱剝離法)來形成3.5 PDP的制造工藝及裝置第4頁，共55頁。8/5/20224 濺射沉積的原理可參考下圖。首先按一定比例,例如In2O3:SnO2為9:1,制成ITO靶。ITO靶可以比作水,帶有一定能量的氬離子可以比作石塊,將玻璃基板置于水(ITO靶）附近,當石塊(氬離子)投入水(ITO靶)中時,會有水滴（ITO的構成原子)被濺射出,水滴(ITO的構成原子)飛向玻璃基板,并以ITO膜的形式沉積在其表面上。3.5 PDP的

4、制造工藝及裝置第5頁，共55頁。8/5/20225由磁控濺射法在整個玻璃基板上形成ITO膜之后，還要利用光刻法形成電極的圖形。光刻法的工序如下所述在玻璃整個表面上形成的膜層表面上涂布光刻膠,所謂光刻膠是指紫外線感光性樹脂,分紫外線照射硬化的負型和紫外線照射分解的正型兩大類;中間經(jīng)過掩模用紫外線照射光刻膠,使其曝光;3.5 PDP的制造工藝及裝置第6頁，共55頁。8/5/20226將曝光后的玻璃基板浸入顯影液中,去除未硬化的光刻膠(顯像;經(jīng)顯像之后,位于殘留光刻膠保護膜下面的ITO膜要保留,而沒有光刻膠膜保護的ITO膜要用等離子體(干法)或蝕刻液（濕法）去除,即蝕刻;最后用等離子體或強堿溶液等將

5、ITO膜之上的殘留光刻膠去除。3.5 PDP的制造工藝及裝置第7頁，共55頁。8/5/20227另外,由于SnO2難以蝕刻,因此其電極要由填平法(lift-off,又稱剝離法)來形成,填平法形成SnO2透明電極的工序如下:在玻璃基板上涂布光刻膠;中間通過掩模對涂好光刻膠的玻璃曝光。由于光刻膠用作SnO2成膜時的模型,因此,在玻璃基板上,不需要SnO2成膜的部分,使光刻膠硬化,以便保留下來;3.5 PDP的制造工藝及裝置第8頁，共55頁。8/5/20228對曝光后的玻璃基板顯像,此時去除需要形成SnO2膜的部位的光刻膠;經(jīng)顯像后,以殘留的硬化光刻膠為模型,通過化學氣相沉積(chemical va

6、por deposition,CVD)法形成SnO2的圖形;最后,去除作為模型的光刻膠。3.5 PDP的制造工藝及裝置第9頁，共55頁。8/5/202293.5.2.2 匯流電極的形成透明電極形成之后，接著在其上形成匯流電極。匯流電極與透明電極成對引起氣體放電，同時匯流電極還起著使透明電極線電阻下降的作用。利用真空蒸鍍或濺射鍍膜形成CrCuCr三層膜之后，可由前述的光刻法形成所需要的圖形。此外，現(xiàn)在也在考慮利用其他的方法，例如采用其他金屬做成感光漿料，這樣可省去蝕刻工程。3.5 PDP的制造工藝及裝置第10頁，共55頁。8/5/202210真空蒸鍍的原理如圖所示。 在真空室中加熱坩堝,使其中的

7、鍍料熔化蒸發(fā),蒸發(fā)出的原子沉積在置于坩堝對面的相對較冷的玻璃基板上。根據(jù)鍍料熔點、飽和蒸氣壓的不同及沉積速率的要求,可選用電阻蒸發(fā)源、電子束蒸發(fā)源、感應加熱蒸發(fā)源等。真空蒸鍍可在高真空下制取高純度的膜層,但要想獲得合金膜或化合物膜,還需要采取其他必要的措施。3.5 PDP的制造工藝及裝置第11頁，共55頁。8/5/2022113.5.2.3 透明電介質的形成 接著是形成透明介電質層。一般是將低熔點介電質玻璃做成漿料，利用全平面印刷法來形成。3.5.2.4 封接層的形成在透明介電質層上形成起封接密封作用的封接層，一般采用接觸式印刷法或非接觸的填注方式(dispenser)3.5 PDP的制造工藝

8、及裝置第12頁，共55頁。8/5/2022123.5.2.5 保護層的形成前基板制造的最后一道工序是形成保護膜。從名稱上看，該層是覆蓋在電極之上，對其起保護作用的絕緣層。但其作用遠不止如此，它還起陰極的作用，具有放出電子、維持放電狀態(tài)、限制放電過流等許多重要功能。目前，保護層所采用的MgO膜是用電子束(electron beam，EB)加熱真空蒸鍍法形成的。應該說，PDP至關重要的保護層，目前無論從材料還是從工藝來講，都還處于未完全確定的狀態(tài)，有待今后進一步開發(fā)并采用新的材料、新的工藝等。3.5 PDP的制造工藝及裝置第13頁，共55頁。8/5/2022133.5.3 DC型PDP前基板的制造

9、工藝 3.5.3.1 陰極的形成 在DC型PDP前基板的制造工程中，首先要形成陰極。陰極的作用是放出電子，而電子的作用是產(chǎn)生并維持氣體放電狀態(tài)。陰極材料采用Al粉與玻璃粉末及樹脂混合配成漿料，再經(jīng)印刷形成陰極，其膜厚一般在50m上下。3.5 PDP的制造工藝及裝置第14頁，共55頁。8/5/202214 3.5.3.2 封接層的形成 在DC型PDP中，僅在前基板上由低熔點玻璃經(jīng)印刷法形成封接層。前基板與后基板的間隙(gap)大約要保持200m，因此在玻璃漿料中要混入直徑大約為200m的間隙顆粒。3.5 PDP的制造工藝及裝置第15頁，共55頁。8/5/2022153.5.4 AC型PDP后基板

10、的制造工藝 3.5.4.1 數(shù)據(jù)電極的形成 在AC型PDP的后基板上，首先要形成5m左右厚的數(shù)據(jù)電極。數(shù)據(jù)電極又稱為掃描電極或選址電極，由Ag及Al等材料做成。也有的先在玻璃基板上印刷10m左右厚的Si02膜，經(jīng)燒成之后，再形成數(shù)據(jù)電極。形成數(shù)據(jù)電極的方法有圖形印刷法、化學蝕刻法、填平法(lift-off)、薄膜光刻法及感光樹脂漿料及膠帶法等。3.5 PDP的制造工藝及裝置第16頁，共55頁。8/5/202216 3.5.4.2 障壁（隔斷）的形成 障壁(隔斷)的作用是形成放電空間，防止串電、串光，是PDP顯示的最基本單元；所用材料是混有氧化鋁等金屬氧化物的低熔點玻璃；其尺寸為：寬約為50m，

11、間距約為150m(對于25英寸XGA型)及約250m(對于42英寸VGA型)，高約為150m。在PDP的生產(chǎn)中，形成障壁的工序最為困難，因此各個PDP廠家對此都集中技術力量，各顯身手。在障壁的形成方法中，有多次印刷法、干膜光刻膠+噴砂法(感光性漿料法)、利用膜狀障壁材料的方法以及注入法等3.5 PDP的制造工藝及裝置第17頁，共55頁。8/5/202217 3.5.4.3 熒光層的形成 做在AC型PDP中，障壁做成條狀，在障壁與障壁之間要印刷漿料狀態(tài)的熒光體。掩模形狀與參數(shù)及印刷條件的調(diào)整要因具體情況而定。為提高熒光體的輝度，涂布的范圍應盡可能寬，一般要在障壁與障壁間、障壁的側面都要印刷涂布熒

12、光體。3.5 PDP的制造工藝及裝置第18頁，共55頁。8/5/202218 若采用一般的印刷方法，由于絲網(wǎng)僅在刮板經(jīng)過時才與玻璃基板相接觸，因此印刷精度受到限制，要想獲得精細而穩(wěn)定的熒光體層是較難解決的問題。最近，為了適應圖形間距進一步微細化的要求，有的廠家采用混入光刻膠的熒光體漿料，利用光刻制版的方法形成熒光體層，以達到高精度、高穩(wěn)定化的要求。這可望在PDP制造工藝中得到應用。3.5 PDP的制造工藝及裝置第19頁，共55頁。8/5/202219 3.5.4.4 封接層的形成封接層的形成是背面基板制造工藝中的最后一道工序，封接劑為低熔點玻璃，是采用絲網(wǎng)印刷等方法來印刷的。3.5 PDP的制

13、造工藝及裝置第20頁，共55頁。8/5/2022203.5.5 DC型PDP后基板的制造工藝 DC型PDP與AC型后基板的制造工藝基本相同。它們的不同之處在于，在DC型PDP的工程中，Ag(銀)的陽極形成之后，為了延長其壽命，還須要再形成電阻；另外，二者熒光層的形成方法多少也有些差異。 采用絲網(wǎng)印刷法印刷由氧化釕(RuO2)等材料制成的電阻漿料，其膜厚一般為10m左右。但目前一個值得注意的動向是，采用混入光刻膠的電阻漿料，利用光刻制版來形成電阻圖形。 3.5 PDP的制造工藝及裝置第21頁，共55頁。8/5/202221 與AC型PDP形成條狀障壁不同，DC型PDP是形成胞狀障壁，需要在障壁胞

14、的四壁上形成熒光層，因此要更復雜些。 首先，在由障壁構成的胞中注入混有光刻膠的熒光體漿料。而后從背面用紫外線照射曝光。此時，由于陽極遮擋紫外線，不受紫外線照射部位的熒光體不能硬化，而后被去除掉。3.5 PDP的制造工藝及裝置第22頁，共55頁。8/5/2022223.5.6 裝配工藝 3.5.6.1 貼合，封接 首先將涂布好封接劑的前基板與背面基板對好位置進行預固定。LCD的貼合工程是利用紫外線硬化樹脂進行預固定的。但一般說來，PDP的貼合精度不像LCD那么嚴格，可以采用夾、鉗等工具進行預固定。這需要利用圖像處理技術等保證定位精度，這也是貼合裝置的關鍵所在，且其對操作平臺的精度(平面度、平行度

15、等)等有較高的要求。然后將預固定的2塊玻璃板放入燒成爐中，在500oC左右的溫度下，使作為封接劑的低熔點玻璃熔化，進行封接固定。3.5 PDP的制造工藝及裝置第23頁，共55頁。8/5/2022233.5.6.2 抽真空、封入放電氣體 對封接好的2塊玻璃基板的內(nèi)部空間抽真空，而后封人放電氣體。放電氣體一般為Ne與Xe或He與Xe等的混合惰性氣體，封人氣體的質量一般為數(shù)毫克，具體的數(shù)量屬于各公司的技術秘密。3.5.6.3 老化 最后要進行老化(ageing)處理。封接之后到進入老化要經(jīng)過15h左右。包括老化在內(nèi)，在裝配工藝中特別要提高吞吐能力。各個裝置中存在的問題，從PDP批量生產(chǎn)之后，反饋到裝

16、置制造廠家，經(jīng)開發(fā)改進，到新裝置問世，最快也要12年的時間。3.5 PDP的制造工藝及裝置第24頁，共55頁。8/5/2022243.5.7 檢查工藝 3.5.7.1 檢查裝置的概況 檢查的目的是確認PDP的上萬個輸入、輸出點是否導通。檢查方法有兩種，一種是探針接觸法，一種是凸臺接觸法。 3.5 PDP的制造工藝及裝置第25頁，共55頁。8/5/202225 過去多用探針法檢查，為了對PDP的輸入、輸出點進行逐個檢查，每一個位置需要用兩個探針接觸相應輸入輸出點，檢查是否導通。在這樣的方法中，探針一般做成單元式的，且須定期更換探針板。探針制造屬于廠家的技術秘密。而且一般說來探針的價格較貴。 最近

17、開發(fā)的凸臺接觸法很適合于PDP這種通過電流較大的裝置檢查。凸臺觸點與探針相比壽命較長，且凸臺觸點的基板作成板塊狀，便于維修與更換。3.5 PDP的制造工藝及裝置第26頁，共55頁。8/5/2022263.5 PDP的制造工藝及裝置第27頁，共55頁。8/5/2022273.5.7.2 檢查裝置的課題 PDP檢查中相當困難的問題是，要在有限的空間內(nèi)，傳送、定位、固定面積大而且相當重的玻璃基板。例如，玻璃基板翻轉之后，若不能穩(wěn)定地固定、準確地保證位置的重復性，就難以用凸臺接觸法自動地探查。對此，除了在檢查設備上采取措施之外，還有待于玻璃基板的薄型輕量化。3.5 PDP的制造工藝及裝置第28頁，共5

18、5頁。8/5/202228 目前，凸臺接觸法檢查設備的技術指標為線間距0.4mm，線寬0.2mm。但由于這是從原來LCD檢查設備的基礎上改造而成的，因此對于線間距0.05mm的檢查也不成問題。 另外，目前PDP檢查設備的廠家和用戶在設備的特點、水平、性能要求等方面還很不一致，迫切需要標準化。3.5 PDP的制造工藝及裝置第29頁，共55頁。8/5/2022293.6.1 PDP作為大型FPD的優(yōu)勢與CRT和其他平板顯示技術相比，彩色PDP具有以下主要特點： (1)易于實現(xiàn)大面積顯示。在對角線11.75m平板顯示中，PDP最具優(yōu)勢； (2)由于是主動發(fā)光型顯示器，且具有存儲功能。其發(fā)光亮度高，目

19、前已達650cdm2，發(fā)光效率約為1.61mW； 3.6 PDP的應用第30頁，共55頁。8/5/202230 (3)屬于全色顯示。利用R，G，B三基色，可實現(xiàn)256級灰度和1670萬種顏色，色純度和色飽和度都與CRT相當； (4)對比度高。彩色PDP產(chǎn)品已實現(xiàn)500:1的對比度； (5)視角寬，可達160o以上，這在乎板顯示器中是最寬的；3.6 PDP的應用第31頁，共55頁。8/5/202231 (6)伏安特性非線性強，閾值好，可實現(xiàn)選址2000線以上。單色PDP產(chǎn)品已實現(xiàn)選址2048線；彩色PDP產(chǎn)品已實現(xiàn)選址1024線； (7)響應速度快，為微秒級，可以實現(xiàn)即時顯示和大型顯示，易于滿足

20、計算機要求和圓掃描及螺旋掃描的要求；3.6 PDP的應用第32頁，共55頁。8/5/202232 (8)工作電壓低(與CRT相比)，一般小于200V，并且有雙穩(wěn)態(tài)特性。便于數(shù)字化信號處理，尤其適合數(shù)字化電視應用； (9)壽命長，可達105h以上； (10)PDP前后基板為普通蘇打石灰玻璃，器件結構及制作工藝易于批量生產(chǎn)，投資回報率不低于CRT。3.6 PDP的應用第33頁，共55頁。8/5/202233PDP的具體優(yōu)勢3.6.1.1 大畫面化 目前，作為據(jù)置型代表的CRT，30英寸級以上的電視機已批量生產(chǎn)。直視型LCD，一般用于便攜式微機顯示器，以12英寸為主的已批量生產(chǎn)。現(xiàn)正處于開發(fā)水平的，

21、28英寸及2塊28英寸貼合在一起的40英寸的LCD樣機已公開發(fā)表，但達到批量生產(chǎn)尚需時日。投射型中的正面投影型和背面投影型電視機等已實現(xiàn)產(chǎn)品化。 3.6 PDP的應用第34頁，共55頁。8/5/202234 與上述產(chǎn)品相比，PDP更適用于大畫面顯示。目前，達到制品化的最小PDP為21英寸。自1996年秋季開始，40英寸級的電視機用PDP已投入批量生產(chǎn)；1998年50英寸級的彩色PDP電視機開始面市。 PDP與TFT LCD相比，制造工序較少，工藝也容易些。此外，若按布線長度與線寬比值的大小作為大致衡量設備投資的尺度，PDP比TFT LCD所用的設備投資要小。因此，可以在相對較低的價格下實現(xiàn)大畫

22、面顯示。3.6 PDP的應用第35頁，共55頁。8/5/2022353.6.1.2 輕量化 與CRT相比，PDP具有輕量的優(yōu)勢。目前達到制品化的CRT彩電，32英寸的重5060kg。而40英寸級的PDP彩色為40kg，比CRT重量輕，可以單人移動。 當然，PDP無法與LCD顯示器的輕量化相比，LCD顯示器是應便攜式設備的要求而開發(fā)的，LCD本身具有輕量化的優(yōu)勢。不過目前正與CRT及PDP彩電競爭的LCD背面投影式43英寸大畫面顯示器為41kg。3.6 PDP的應用第36頁，共55頁。8/5/2022363.6.1.3 薄型化 CRT顯示器由布勞恩管特性決定，不可能做得很薄。32英寸左右的CRT

23、彩電厚度大致在5060cm。20英寸桌上型微機用監(jiān)視器的厚度為40cm左右。 與此相對，20英寸級PDP的厚度為68cm，40英寸的為1015cm，比CRT顯示器要薄得多。當然，LCD屬超薄型，15英寸級(與17英寸CRT相當)的厚度不足2cm。3.6 PDP的應用第37頁，共55頁。8/5/2022373.6.1.4 大視角 CRT和PDP都屬于寬視角型顯示器，即使在靠近與屏幕同一平面的位置上也可以看到畫面。 與此相對，由于LCD利用液晶分子的取向特性制成，因此其視角要比CRT，PDP窄。但是，最近在TFT-LCD中，通過在液晶材料及驅動方法上采取措施，并使用特殊的薄膜等，使視角擴大的技術正

24、在實用化。3.6 PDP的應用第38頁，共55頁。8/5/2022383.6.1.5 不受磁場的影響 在CRT中，由電子槍發(fā)出的電子束由磁場控制進行偏轉掃描，形成畫面。因此，當永磁體或其他外磁場靠近時，會影響電子束的方向，使其不能正常掃描，引起圖像變形、彩色混亂等。 PDP與LCD畫面是由微小像素集合而成的馬賽克狀，一個一個的像素通過施加電壓進行切換，通過電極進行控制。因此，二者均不受外部磁場的影響，從而大大擴充了應用范圍，這是CRT所不具有的特征。3.6 PDP的應用第39頁，共55頁。8/5/2022393.6.1.6 價格 與PDP，LCD相比，CRT在價格方面具有明顯的優(yōu)勢。20英寸C

25、RT彩電大約為3萬日元，高附加值的32英寸大屏幕彩電為35萬日元左右。而對于LCD來說，以彩色TFT彩電為例，10.4英寸的為1015萬日元左右。由于PDP大批量生產(chǎn)的體制尚不健全，目前價格很高，10英寸級約100萬日元。當然，隨著產(chǎn)量的增加價格會逐漸下降?，F(xiàn)在PDP廠家的目標是，逐步達到1英寸1萬日元(如40英寸彩電為40萬日元)的價格水平。3.6 PDP的應用第40頁，共55頁。8/5/2022403.6.2 PDP的應用領域 PDP的優(yōu)勢明顯，有很好的發(fā)展前景，只是價格較高。目前市場的開發(fā)重點是各種公用設施。例如，交通設施、娛樂及市政服務、醫(yī)療、金融、產(chǎn)業(yè)設備、室內(nèi)裝飾等。近期目標是實現(xiàn)

26、40英寸級彩電的大批量生產(chǎn)。目前有些廠家瞄準計算機工作站用監(jiān)視器，已正式投入生產(chǎn)。3070英寸產(chǎn)品的最大市場是作為HDTV、家庭影院進入家庭，人們盼望多年的壁掛電視夢將成為現(xiàn)實。3.6 PDP的應用第41頁，共55頁。8/5/2022413.6.3 PDP產(chǎn)業(yè)的特性和市場預測 PDP與LCD產(chǎn)業(yè)類似，與之相關聯(lián)的產(chǎn)業(yè)很多，主要為部件及材料制造和設備裝置制造兩大類，前者涉及的主要有玻璃、化工產(chǎn)品、纖維、電子漿料、熒光體、氣體等行業(yè)。3.6 PDP的應用第42頁，共55頁。8/5/202242 PDP制造分前基板、后基板制造及裝配三大工程。在前、后基板制造工程中，生產(chǎn)印刷機及真空鍍膜等裝置的廠家已

27、經(jīng)參與其中。今后，生產(chǎn)半導體制造裝置的廠家以及生產(chǎn)其他專用設備的廠家也會積極參與。特別是那些已經(jīng)在LCD產(chǎn)業(yè)中積累了經(jīng)驗并已站穩(wěn)腳根的中小型企業(yè)，積極性會更高。3.6 PDP的應用第43頁，共55頁。8/5/2022433.7.1 PDP的開發(fā)課題 3.7.1.1 提高輝度現(xiàn)在，提高輝度是非常重要的課題，而要提高輝度，提高熒光體的發(fā)光效率是必不可少的。目前看來，雖然不可能以數(shù)倍的量級提高熒光體的發(fā)光效率，但提高百分之幾到百分之幾十還是有可能的。現(xiàn)在熒光體的發(fā)光效率，與彩色PDP研究開發(fā)的最初期相比，已經(jīng)提高一倍。3.7 PDP的課題及開發(fā)戰(zhàn)略第44頁，共55頁。8/5/2022443.7.1.

28、2 提高對比度 提高對比度也是各個PDP廠家競爭的重點之一。一般的措施是采用彩色濾光器，并將障壁的頂部做成黑色，正像LCD彩色濾光器制作中所采用的那樣，在玻璃基板上形成黑色隔條來提高對比度 杜邦公司采用的方法是，在玻璃基板上涂布黑色感光性樹脂，而后做成線寬3040m，膜厚34m的圖形來提高對比度。3.7 PDP的課題及開發(fā)戰(zhàn)略第45頁，共55頁。8/5/202245 為了提高對比度，日本電氣公司在PDP前基板中置人濾光器，同時減少放電次數(shù)，使得對比度明顯提高。 此前人們就曾有過采用濾光器的設想。日本電氣實現(xiàn)了這一設想，并掌握了其中的技術秘密。目前該公司已取得有關制造技術的專利。 另外，PDP在

29、輸入驅動數(shù)據(jù)時，由于存在預備放電，像素會處于半亮的狀態(tài)。而理想的情況應該是，不該發(fā)光的像素，應該處于全黑的狀態(tài)。為此日本電氣通過減少預備放電的次數(shù)改善像素的半亮狀態(tài)，較好地解決了這一問題，使得對比度達300:1。3.7 PDP的課題及開發(fā)戰(zhàn)略第46頁，共55頁。8/5/2022463.7.1.3 降低功耗 為了降低功耗，需要提高熒光體的發(fā)光效率，降低驅動IC的電壓。繼PDP彩電之后，不少公司正瞄準將來計算機工作站等高精細監(jiān)視器的市場。PDP由于功耗大，同與之競爭的LCD相比，目前處于劣勢。降低功耗，可以說是當務之急。3.7 PDP的課題及開發(fā)戰(zhàn)略第47頁，共55頁。8/5/2022473.7.

30、1.4 畫面的高精細化 目前，作為商用PDP彩色的圖像分辨率為VGA (640X480)水平。而用于高分辨率彩電及計算機工作站監(jiān)視器，需要更高的精細度。為了實現(xiàn)畫面的高精細化，需要從目前的圖形印刷工藝向光刻制版等更精細的工藝轉變。但后者的設備投資大。因此如何在盡量壓低價格的同時實現(xiàn)畫面的高精細化就成了亟待解決的問題。3.7 PDP的課題及開發(fā)戰(zhàn)略第48頁，共55頁。8/5/2022483.7.1.5 提高壽命為提高壽命，AC型PDP采用3電極式放電和MgO保護層等，并且在結構上采取了一系列措施。 3電極放電可以大大減少放電時電子對熒光體的轟擊，可明顯增加熒光體的壽命。 在DC型PDP中，采用合適的限制放電過流電阻，也是為了提高壽命。 目前PDP的壽命一般為5X104h，人們正在力求達到甚至超過CRT 105h的壽命。3.7 PDP的課題及開發(fā)戰(zhàn)略第49頁，共55頁。8/5/2022493.7.1.6 減少電磁波的泄漏 PDP利用氣體放電發(fā)光，會流過較大的電流，不可避免地要向周圍輻射電磁波。如果