X光機定向配合多線切割粘棒的實用新型專利說明書_第1頁
X光機定向配合多線切割粘棒的實用新型專利說明書_第2頁
X光機定向配合多線切割粘棒的實用新型專利說明書_第3頁
X光機定向配合多線切割粘棒的實用新型專利說明書_第4頁
全文預覽已結束

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、X光機定向配合多線切割粘棒的實用新型（一）技術領域本實用新型涉及X光定向配合線切割粘棒的機構。（二）背景技術在半導體硅片的切割中，要對硅棒本身的晶向進行控制調整，使切出的硅片晶向能夠滿足客戶對硅片晶向的要求，以前的內圓切片機切割硅片的時候，內圓切片機器本身有調節(jié)硅棒晶向的功能，對硅棒水平和垂直方向的晶向進行分別調整。隨著多線切割機在硅片切割中的應用，內圓切片機在硅片切割中的劣勢明顯隨即被淘汰。多線切割機在硅片切割中的出片率比內圓切割機的出片率要高得多，但是多線切割機也有自身的不足之處，就是沒有調節(jié)硅棒晶向的功能，只能在粘棒的時候對晶向晶向調整，但是硅棒與粘接板在粘接的時候，硅棒在粘接板上只能做

2、水平方向的擺動，而垂直方向由于受粘接板的限制不能擺動，這就導致了線切割硅片不能像內圓切片機一樣調整硅棒的晶向。圖1就是內圓切片機的硅棒晶向調節(jié)示意圖：圖1圖1中箭頭方向就是硅棒的晶向調節(jié)方向，從圖中可以看到硅棒可以沿著兩個方向調節(jié)：水平方向和垂直方向。圖2就是線切割硅棒粘接的示意圖：圖2圖2中硅棒只能沿著水平方向擺動，在垂直方向上由于受到粘接板的限制不能擺動。如果硅棒本身的晶向在兩個方向上都超過了客戶對硅片的晶向要求。如何讓硅棒在線切割的硅棒粘接時對硅棒的晶向進行調節(jié)，是有很大意義的。本發(fā)明提供了一種硅棒晶向調節(jié)方法和調節(jié)機構，可以讓硅棒晶向在線切割粘棒的時候進行滿足客戶要求的調節(jié)，可以有效的

3、解決在線切割機上晶向無法調節(jié)的問題。（三）發(fā)明內容本發(fā)明的目的在于提供一種線切割粘棒硅棒晶向調節(jié)的新方法和調節(jié)機構，可以有效調節(jié)硅棒的晶向。本發(fā)明包括：硅棒旋轉機構-輥子，輥子支撐機構。所述的硅棒旋轉機構帶動硅棒旋轉，找到硅棒的粘接面，找到粘接面后，硅棒旋轉90度，測量晶向確認硅棒在水平方向擺動的度數(shù)。本發(fā)明的優(yōu)點在于：本發(fā)明提供的硅棒粘接定向機構，可以對硅棒的晶向進行測量，以確定硅棒的旋轉度數(shù)和硅棒在水平方向上的擺動度數(shù)，經(jīng)過生產(chǎn)實踐，該機構可以控制硅棒粘接時的晶向。圖3四）附圖說明圖1為設備原來的內圓切片機硅棒晶向調節(jié)示意圖圖2為線切割機的硅棒粘接示意圖。圖3為硅棒的旋轉機構。五）具體實施方

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論