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文檔簡介

1、掃描探針顯微鏡定量標(biāo)定李 暉 凌非線性力學(xué)國家重點實驗室(LNM)LNM2009年度公共實驗平臺技術(shù)研討會 1掃描探針顯微鏡(SPM)工作原理示意圖針尖的曲率半徑 1040nm2彈性常數(shù)K: N/nm撓度力3彈性常數(shù)的標(biāo)定方法Theoretical Methods 矩形梁4彈性常數(shù)的標(biāo)定方法Static Deformation Methods: apply a known force a small added massa reference leveran indentation device5彈性常數(shù)的標(biāo)定方法Added-Mass MethodsM16彈性常數(shù)的標(biāo)定方法Thermal No

2、ise MethodsThe Equipartition Theorem7彈性常數(shù)的標(biāo)定方法Thermal Noise Methods無損在位簡單Stiffer Levers:Relatively small thermal noise amplitudeLimited by bandwidth8彈性常數(shù)的標(biāo)定方法Resonant Frequency Methods矩形梁lw9實驗驗證Modified Resonant Frequency MethodsA rectangular beam 10實驗驗證Modified Resonant Frequency MethodsA rectangular beam Provided by manufacturer 0.030.2 N/mThermal noise methods 0.18 N/mModified Resonant Frequency methods 0.140 N/m11

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