玻璃鍍膜工藝規(guī)程

1、玻璃鍍膜工藝規(guī)程RDBL/WJ-7.5.1-11概述：本規(guī)程對鍍膜玻璃的工藝控制做了具體的規(guī)定，以確保鍍膜玻璃生產(chǎn)的精確控制,保證產(chǎn)品的質(zhì)量；適用范圍：適用于鍍膜玻璃的工藝控制；職責：微機崗工藝控制員主要負責，生產(chǎn)技術科（工藝主管）監(jiān)督執(zhí)行；具體操作與規(guī)則：4.1濺射室抽真空至4X10-5mbar以下，抽氣時間不能少于8小時；4.2根據(jù)靶材壽命合理安排生產(chǎn)批量和換靶周期，但必須保證在靶材濺痕最深處剩余3mm前 換靶，如有臨時性大批量生產(chǎn)任務，可根據(jù)批量調(diào)整換靶周期；4.3檢查設備各部分是否全部正常，包括：a真空泵系統(tǒng)：運轉(zhuǎn)情況、油位、油質(zhì)、泵溫；b陰極冷卻水系統(tǒng)：運轉(zhuǎn)情況、水溫、水壓，要求水壓

2、0.40.7MPa,水溫40C，溫 控單元必須在生產(chǎn)前8小時啟動；c循環(huán)冷卻水系統(tǒng):運轉(zhuǎn)情況、水溫、水壓，要求水壓0.60.7MPa,供水溫度低于30C；d去離子水單元:運轉(zhuǎn)情況、電導率，要求電導率低于15us/cm，發(fā)現(xiàn)電導率超標及時進 行樹脂再生；e電滲析器：檢查電流、電壓、淡水出口電導率、水槽中水的電導率，要求水槽中水的 電導率低于180us/cm，發(fā)現(xiàn)超標及時換水，電導率超標禁止給去離子水單元供水；f空壓機：運轉(zhuǎn)情況、氣壓，要求氣壓在0.60.8MPa；g各工作氣體氣瓶壓力不低于1.5MPa，供氣壓力為0.2-0.3MPa；h設備任何部位不正常均不能開車生產(chǎn)；4.4預濺射：4.4.1抽

3、氣過程中的預濺射：抽氣過程中的預濺射，分為兩步進行，當真空度達到1 X10-4mbar后即可進行首次預濺射。錫靶:從5KW/10A起動進行金屬性濺射，只通氬氣100X3sccm，逐步升到35KW/70A， 注意在預濺過程電壓超過700V立即降低功率或電流，濺射約20分鐘。鈦靶、不銹鋼靶：采用金屬性濺射，功率從5KW、20KW、40KW到55KW，預濺射 約5分鐘。鎳銘合金：對應的陰極開200SCCM氬氣，在手動點靶狀態(tài)下按功率5、10、15、20KW 開啟，在20KW時濺射5分鐘，注意觀察陰極電源輸出功率是否為正常的20KW左 右。銀靶：在生產(chǎn)調(diào)試前通氬氣100, 100, 180SCCM,將

4、功率按10KW, 20KW逐步起動， 在20KW做2分鐘金屬性濺射即可。硅靶：通氬氣20,120,220SCCM下,將功率從1KW開始，逐漸升至8KW,濺射5分鐘， 關陰極等5分鐘后再從8KW啟動，逐漸升至18KW,在18KW做3-5分鐘，注意在預濺 過程中電壓不要超過700V，連續(xù)濺射時間不能超過10分鐘，防止靶材脫落。當真空度達到5X10-5mbar后即可進行第二次預濺射。所有靶材均采用金屬性濺射，錫靶5分鐘，銀靶1分鐘，其他靶材3-5分鐘。錫靶：從5KW/10A起動進行反應性濺射，錫靶對應氬氣70sccm，氧氣 550-600sccm，逐漸調(diào)到15KW/20A濺射10分鐘，再逐步升到35

5、KW/70A，濺射10 分鐘。最后再進行金屬性濺射3分鐘。關閉陰極和工作氣體繼續(xù)抽氣。4.4.2生產(chǎn)前的預濺射：在生產(chǎn)前，應先對靶材進行預濺射，以使靶材進入良好的工作狀態(tài)，滿足生產(chǎn)的需要, 預濺射應遵守以下規(guī)定：錫靶：從5KW/10A起動進行反應性濺射，錫靶對應氬氣70sccm，氧氣 550-600sccm，逐漸調(diào)到1到35KW/70A，預濺10分鐘后開始調(diào)整氧量，找出臨 界點，記錄翻轉(zhuǎn)前的電流，在臨界點加20sccm氧氣進行預濺，逐漸降氧氣流量至 濺射電流接近上次翻轉(zhuǎn)時的電流，以此氧量作為工藝點，在工藝點位置預見濺3 分鐘。經(jīng)過對我們現(xiàn)有設備的長期摸索，工藝點定在50010 sccm比較合適

6、。其他靶材均采用金屬性濺射，銀靶1分鐘，其余靶材3-5分鐘。4.4.3生產(chǎn)過程中的預濺射（清靶）：生產(chǎn)過程中要定期對錫靶進行清靶，即對錫靶進行金 屬性濺射，第一次清靶在生產(chǎn)約48小時后進行，第二次清靶在生產(chǎn)約72小時后進行，以后 約每生產(chǎn)816小時清一次靶；生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)錫靶放電嚴重、陽極電位偏高（超過25V） 或靶向色差偏大等現(xiàn)象應立即進行清靶，一般用35KW對應300sccm的氧量濺射至陰極電壓 達到700V即可，清靶后要重新進行高氧氣流量的反應性濺射10-15分鐘，然后選擇工藝點 的工作，要求工藝點基本與清靶前一樣。4.5工藝參數(shù)的設置：預濺完成后，停陰極，根據(jù)生產(chǎn)需要輸入工藝菜單，把所

7、有需用的工 作氣體開啟，進入“自動準備”狀態(tài)，開陰極，即可進入樣品調(diào)試；4.6試產(chǎn)樣片：a將待加工玻璃中切裁300X1000mm的玻璃鍍成樣片；b配合質(zhì)檢員測試樣片的透光率、反射率、色差、面電阻等指標;c樣片以上指標達到標準要求，在質(zhì)檢員同意后開始生產(chǎn)。4.7生產(chǎn)：1）生產(chǎn)前和生產(chǎn)過程中要認真巡視設備的運行狀況，監(jiān)視工作氣體壓力及流量、冷卻 水壓力及溫度、壓縮空氣壓力、清洗水電導率、泵的運轉(zhuǎn)情況等，并填寫鍍膜玻 璃操作日志，如發(fā)現(xiàn)不合格的設備狀態(tài)要及時進行處理并向主管領導報告；交接 班時必須把設備情況和生產(chǎn)情況交接清楚、認真核實。2）鍍膜過程中不得擅自改變與濺射室、陰極直接相關的設備的工作狀態(tài)

8、，如陰極冷卻 水溫度、壓力、濺射室泵群等；3）當工作氣體氣瓶的壓力在V1.5mpa時要更換,并隨時保證有一滿瓶為備用氣瓶；更 換工作氣體的氣瓶后，應停止生產(chǎn)3分鐘；4）每班生產(chǎn)前要正常核對工藝參數(shù)存檔及所對應的工程，客戶名稱，實現(xiàn)同一工程，顏 色的一致性。生產(chǎn)過程中配合質(zhì)檢員作好顏色偏差的微調(diào),保持顏色的一致性。5）每五片玻璃記錄一次鍍膜過程中的最低氣壓、最高氣壓、最大電流、最高電壓，發(fā) 現(xiàn)最大電流變化超過0.3A或最高氣壓變化超過0.05X10-3mbar以及最高電壓變化 超過10V,應立即停止生產(chǎn)，查明原因，予以解決，再重新調(diào)試樣品；6）通過在線檢測設備監(jiān)測每鍋的光學指標及偏差，發(fā)現(xiàn)問題及時與質(zhì)檢員溝通。7）每種膜系的生產(chǎn)都必須依質(zhì)檢員提供的工藝菜單為基礎，工藝控制員可根據(jù)顏色偏 差情況對一些允許調(diào)整的工藝參數(shù)（速度、氧氣流量）做微小的調(diào)整；8）生產(chǎn)期間應將當時對應的生產(chǎn)菜單，顏色偏差記錄，目標曲線記錄打印出來，及時交 付質(zhì)檢員存檔，以備下次生產(chǎn)時參考使用。9）反應性濺射時發(fā)生金屬性濺射，應立即停止生產(chǎn)，重新找工藝點進行調(diào)試；10）生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)錫靶放電嚴重、陽極電位偏高（超過25V）或靶向色差偏大等現(xiàn)象 應進行清靶；清理后重新找工藝點，重新調(diào)試；1