電子行業(yè)反滲透超純水設備工藝流程詳解_第1頁
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1、電子行業(yè)反滲透超純水設備工藝流程詳解1一、電子工業(yè)用超純水概述 半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各類電子器件、微電子工業(yè)、年夜范圍、超年夜范圍集成電路需用年夜批的高純水(含鹽量在0.3mg/L以下,電導率小于0.2s/cm的水)、超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)清洗半制品、制品。集成電路的集成度越高，對水質的請求也越高。今朝我國電子工業(yè)部把電子級水質技巧分為五個行業(yè)尺度，分辨為18M.cm、15M.cm、10M.cm、2M.cm、0.5M.cm，以區(qū)分分歧水質21、采用離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(

2、普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)(又稱離子交換劑)制備超純水(水中導電介質、膠體物質、無機物等簡直全部往除的水)的傳統(tǒng)水處理(經由過程物化方法往除水中一些物質的過程)方法。二、電子行業(yè)超純水設備工藝流程3 基礎工藝流程為：原水沙炭過濾器(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)原水箱陽床陰床混床(混雜離子交換柱(承裝混床樹脂(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)的容器)的簡稱

3、)(復床)純水箱純水泵(把原念頭的機械能變?yōu)樗芰繌亩_到抽送水的機械)(吸進和排出流體的機械)后置慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)用水滴。42、采用反滲透水處理(經由過程物化方法往除水中一些物質的過程)設備與離子交換(利用交換劑中的離子與稀溶液中的離子停止交換,以提純或往除離子的過程)(經由過程離子交換的方法制取純水、高純水的裝置)停止組合的方法。三、設備5其基礎工藝流程為：原水沙炭過濾器(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)慎密過濾器(或稱保安過濾器)(保送介質的管道中清除介質中雜質的一種過濾裝置)原水箱反滲透(借助于半透過膜的膜分別技巧)(經由過程反滲透膜(利用反滲透事理停止分此外液體分別膜)法來制取純水的裝置)混床(混雜離子交換柱(承裝混床樹脂(普通也稱離子交換樹脂(用化學法將高分子共聚物制成的無機單體顆粒的離子交換劑)的容器的簡稱)(復床)純水箱純水泵(把原念頭的機械能變?yōu)樗芰繌亩_到抽送水的機械)(吸進和排出流體的機械)后置慎密過濾器(或稱保安

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