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文檔簡(jiǎn)介

1、超聲掃描顯微鏡介紹第1頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三設(shè)備簡(jiǎn)介技術(shù)指標(biāo)設(shè)備參數(shù)軟件功能應(yīng)用案例第2頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三設(shè)備簡(jiǎn)介CS-300超聲掃描顯微鏡適配探頭頻率5MHz400MHz第3頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三 CS-300 超聲掃描顯微鏡主要利用高頻的超聲波(5MHz以上)檢測(cè)器件、材料內(nèi)部的缺陷位置、大小和分布狀態(tài)等,對(duì)粘接層面非常敏感,能檢測(cè)出氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,是以波形、圖形為顯示方式的一種無(wú)損檢測(cè)工具,可以保留在破壞性檢測(cè)中被丟失的細(xì)微缺陷,樣品通過(guò)檢測(cè)后可以繼續(xù)使用。主要應(yīng)

2、用于失效分析、可靠性分析、制程控制、品質(zhì)控制,產(chǎn)品研發(fā)、工藝提升等。設(shè)備簡(jiǎn)介第4頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三技術(shù)指標(biāo)超聲波發(fā)射接收器頻率范圍:1-500MHz;換能器頻率范圍:2.25-400MHz;最高圖像分辨率:4m;A/D采集卡頻率:1GSample/sec,板載緩存512MB(2GB);最大掃描速度:1000 mm/s;掃描軸最高分辨率:0.1m;掃描軸重復(fù)精度:1m;步進(jìn)軸分辨率:0.2m調(diào)焦軸分辨率:0.2m;第5頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三設(shè)備參數(shù)專用工控機(jī),雙核處理器,雙顯示器。 m級(jí)水循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng);電力要求:AC22

3、0V10%,50Hz,1000W溫度/濕度:223/5010%RH操作系統(tǒng):Windows XP,Windows 7設(shè)備尺寸(不含操作臺(tái)):890mmx860mmx1560mm;重量:450Kg第6頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三軟件功能Smartscan專用超聲掃描檢測(cè)軟件,自主研發(fā),功能強(qiáng)大,中文操作界面,功能持續(xù)升級(jí); 檢測(cè)模式:A、B、C掃描、D掃描、T掃描,M掃描(多層)、Q-B掃描、區(qū)域掃描,JEDEC托盤(pán)掃描,厚度測(cè)量,平面度統(tǒng)計(jì)等;C掃描圖像模式:峰值圖像、相位反轉(zhuǎn)圖像、TOF圖像;自動(dòng)缺陷判別;前表面跟隨;缺陷尺寸和面積統(tǒng)計(jì),自動(dòng)計(jì)算缺陷占所測(cè)量面積

4、的百分比;第7頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三軟件功能自動(dòng)定位測(cè)量;掃描過(guò)程中可隨時(shí)改變?cè)鲆妗㈤T(mén)限寬度和門(mén)限時(shí)間起點(diǎn);自動(dòng)存儲(chǔ)設(shè)置參數(shù);提取掃描的圖像參數(shù)設(shè)置,復(fù)位并設(shè)置為該圖像的掃描參數(shù);支持無(wú)器件離線掃描;支持多個(gè)檢測(cè)結(jié)果圖像同時(shí)顯示,并能重新進(jìn)行分析處理;比例尺,實(shí)時(shí)顯示掃描器件的尺寸;第8頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三軟件功能對(duì)掃描結(jié)果進(jìn)行文字注釋功能;屏幕打印功能,方便進(jìn)行A、B、C圖像對(duì)比;支持將檢測(cè)結(jié)果輸出為BMP等各種圖像格式;探頭在線更換,甩氣泡功能;強(qiáng)大的圖像處理軟件包:圖像的縮放、拖動(dòng)、測(cè)量注釋、圖像的中值濾波、均值濾

5、波,反色處理,浮雕處理,增強(qiáng)對(duì)比度、偽彩色著色(自定義顏色方案)等處理功能;為用戶定制專用的生產(chǎn)管理和工藝質(zhì)量管理軟件;第9頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例半導(dǎo)體器件及封裝塑封IC、陶瓷封裝、金屬封裝、金屬-陶瓷封裝、分立器件、三極管、場(chǎng)效應(yīng)管、復(fù)合管、各種封裝外殼、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、晶圓粘接、智能卡,SOP、QFP、PGA、BGA、倒裝芯片、板載芯片,CSP,堆疊封裝、MCM多芯片模塊、整流橋、晶閘管、IGBT、大功率電力電子器件、模塊電路、傳感器等。材料檢測(cè)金剛石復(fù)合片、陶瓷、玻璃、金屬、塑料,焊接件等。第10頁(yè),共21頁(yè),2022年,

6、5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。塑封整流橋(GBJ)第11頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。紅色和黃色的區(qū)域表明存在分層缺陷。偽彩色顯示塑封三極管(TO-220)第12頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例PLCC芯片上表面,引線框架上表面第13頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例CPU(PGA) 芯片粘接面存在明顯的氣泡第14頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例管殼和基底間界管殼和基底間界第15頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例顏色發(fā)亮區(qū)域?yàn)榉謱尤毕萁饘俜庋b第16頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例中間顏色發(fā)亮區(qū)域?yàn)榉謱尤毕萜骷鈿さ?7頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例顏色發(fā)亮區(qū)域?yàn)榉謱尤毕菥A粘接第18頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例顏色發(fā)亮區(qū)域?yàn)榉謱尤毕菥A粘接第19頁(yè),共21頁(yè),2022年,5月20日,17點(diǎn)21分,星期三應(yīng)用案例紅色和

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