以長(zhǎng)江存儲(chǔ)為例國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)芯片的設(shè)備供應(yīng)鏈格局解析

1、目 錄 HYPERLINK l _bookmark0 為何長(zhǎng)存為？3 HYPERLINK l _bookmark1 長(zhǎng)江儲(chǔ)國(guó)投規(guī)、規(guī)產(chǎn)最的目一3 HYPERLINK l _bookmark2 回顧2018 年長(zhǎng)存國(guó)產(chǎn)備持度大4 HYPERLINK l _bookmark3 HYPERLINK l _bookmark3 4 HYPERLINK l _bookmark4 長(zhǎng)江儲(chǔ)整設(shè)國(guó)化率高5 HYPERLINK l _bookmark5 與下設(shè)、料合成立發(fā)心支產(chǎn)發(fā)展6 HYPERLINK l _bookmark6 展望2019 年長(zhǎng)存入設(shè)采與入高期7 HYPERLINK l _bookmark7

2、據(jù)產(chǎn)調(diào)，江儲(chǔ)進(jìn)入二段20K 產(chǎn)能坡期7 HYPERLINK l _bookmark8 近期投數(shù)可產(chǎn)調(diào)研論充驗(yàn)證7 HYPERLINK l _bookmark9 北方創(chuàng)中公等商加實(shí)供應(yīng)8 HYPERLINK l _bookmark10 刻蝕備中市率升，方刻進(jìn)供鏈8 HYPERLINK l _bookmark11 成膜備北的PVD拓的PECVD 較升空間9 HYPERLINK l _bookmark12 清洗備盛在片洗領(lǐng)保較優(yōu)勢(shì)9 HYPERLINK l _bookmark13 氧化/火備北的、Mattson 的 有優(yōu)勢(shì)10 HYPERLINK l _bookmark14 量測(cè)備中飛、勵(lì)科實(shí)突破1

3、0 HYPERLINK l _bookmark15 研磨設(shè)：海科現(xiàn)多供應(yīng) HYPERLINK l _bookmark16 其他產(chǎn)備商北京儀沈科儀12 HYPERLINK l _bookmark17 結(jié)論投建議 HYPERLINK l _bookmark18 風(fēng)險(xiǎn)素 HYPERLINK l _bookmark19 技術(shù)發(fā)險(xiǎn) HYPERLINK l _bookmark20 受行景影的險(xiǎn)14為何以長(zhǎng)江存儲(chǔ)為例？長(zhǎng)江存儲(chǔ)是國(guó)內(nèi)投資規(guī)模、規(guī)劃產(chǎn)能最高的項(xiàng)目之一，201673D NANDIDM正式開(kāi)工建設(shè)國(guó)家存儲(chǔ)器基地奠基32 層3D NAND 閃存芯片T/O設(shè)計(jì)完成長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司成立國(guó)務(wù)院批復(fù)

4、國(guó)家存正式開(kāi)工建設(shè)國(guó)家存儲(chǔ)器基地奠基32 層3D NAND 閃存芯片T/O設(shè)計(jì)完成長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司成立國(guó)務(wù)院批復(fù)國(guó)家存2016.2016.2016.2016.2017.0702.2303.2807.2612.302017.2017.09.282017.112018.04.112018年底2019底64層3D NAND閃存量產(chǎn)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)正式進(jìn)場(chǎng)安裝廠房主體提前封頂32層3D NAND閃存芯片試產(chǎn)32 層3D NAND 閃存芯片完成首次驗(yàn)證數(shù)據(jù)來(lái)源：長(zhǎng)江存儲(chǔ)官網(wǎng)、3D NAND240（16122003010萬(wàn)片/月23010072（48420192/，2020370（552019620206

5、表1:公司地點(diǎn)生產(chǎn)項(xiàng)目技術(shù)節(jié)點(diǎn)投資金額(億美元)月產(chǎn)能(萬(wàn)片)生產(chǎn)狀態(tài)簽訂/啟動(dòng)時(shí)間開(kāi)工時(shí)間封頂/搬入設(shè)備投產(chǎn)時(shí)間量產(chǎn)時(shí)間長(zhǎng)江存儲(chǔ)武漢3D NANDFlash4050nm24030（2020年）投產(chǎn)2016/3/282016/12/302018 年 4月2018年底2020年合肥長(zhǎng)鑫合肥DRAM19nm72（09一廠）投產(chǎn)2016 年5 月2017 年5 月2018 年 1月2018年底2019年底福建晉華泉州DRAM32-20nm556（2019年一廠）暫停2016 年5 月2016/7/162018 年 7月-2019年底數(shù)據(jù)來(lái)源：各公司官網(wǎng)、合肥長(zhǎng)鑫DRAM72億美元長(zhǎng)江存儲(chǔ)3D NAN

6、D Flash240合肥長(zhǎng)鑫DRAM72億美元長(zhǎng)江存儲(chǔ)3D NAND Flash240億美元福建晉華DRAM53億美元數(shù)據(jù)來(lái)源：各公司官網(wǎng)、2018201820184116-12 個(gè)月freedemofree demo（1. 2.free1. 2.freeBlanket wafer 5. 3.Pattern wafer 4. 6. baseline minifab / 數(shù)據(jù)來(lái)源：由于意向訂單簽訂、真實(shí)合同公示、設(shè)備進(jìn)場(chǎng)這三者之間存在的以上關(guān)系，導(dǎo)致了我們?cè)诜治鲞^(guò)程中需要注意兩點(diǎn)時(shí)間差：66我們充分的考慮到了以上說(shuō)的幾點(diǎn)差異，并且認(rèn)為，即使是排除掉以上說(shuō)的三點(diǎn)例外和兩點(diǎn)時(shí)間差，我們?nèi)匀豢梢詮墓_(kāi)

7、的招投標(biāo)數(shù)據(jù)中找到設(shè)備供應(yīng)鏈的格局變化及供應(yīng)規(guī)律。以下分析中我們會(huì)盡可能的依據(jù)真實(shí)調(diào)研情況進(jìn)行數(shù)據(jù)調(diào)整，以力求反映出真實(shí)采購(gòu)情況，也歡迎大家與我們一同討論并改進(jìn)。2017201821720001715主的產(chǎn)應(yīng)中微洗備化率到23主要30以上主的產(chǎn)應(yīng)北方和Mttsn國(guó)產(chǎn)率到35,主要干國(guó)供商沈陽(yáng)儀溫設(shè)的產(chǎn)化達(dá)到 65要的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商為北京京儀；去膠設(shè)備、熱處理設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到100主的產(chǎn)應(yīng)為 Mattson但對(duì)，項(xiàng)初的膜設(shè)2-30。Mattson3%北方華創(chuàng)30%海外公司Mattson3%北方華創(chuàng)30%海外公司67%氧 中微公司15%中微公司15%85%刻蝕設(shè)備清洗設(shè)備18%北方華創(chuàng)5%海外公司7

8、7%北方華創(chuàng)1%沈陽(yáng)拓荊1%膜海外公司98%海外公司63%泵科儀37%海外公司海外公司63%泵科儀37%海外公司33%溫控設(shè)備北京京儀67%睿勵(lì)1%量 海外公司99%Mattson 100%數(shù)據(jù)來(lái)源：長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司、以上是前 1719（18-24201812261.5元資例34.48武新芯繳資0.75億出資例17.24。（等； 刻（CMP圖 5：長(zhǎng)江存儲(chǔ)與下游設(shè)備、材料商合資成立研發(fā)中心北方華創(chuàng)北方華創(chuàng)4.6%長(zhǎng)江存儲(chǔ)武漢新芯34.48%17.24%11.49%4.6%2.3%上海新陽(yáng)2.3%江豐電子2.3%華天相關(guān)2.3%至純科技2.3%長(zhǎng)江先 1.15%數(shù)據(jù)來(lái)源：天眼查、2019

9、20K185-8K/5-8K/17Q3Q4，20185-72018122019120K/20195-620203010月，19-202017Q45-8K2019Q11820K（1-17（18 圖 6：招投標(biāo)數(shù)據(jù)與產(chǎn)業(yè)調(diào)研結(jié)論互為印證設(shè)備臺(tái)數(shù)招標(biāo)批次量第二階段采購(gòu)，對(duì)應(yīng)19年Q1（第18批開(kāi)始19年Q1（第18批開(kāi)始）19年Q1（至17批之前）18Q418Q318Q2第一階段采購(gòu)，對(duì)應(yīng)5-8K/月產(chǎn)能 18Q117Q417Q3050100150200250300350400數(shù)據(jù)來(lái)源：設(shè)備交易平臺(tái)、注：本數(shù)據(jù)中剔除泵、氣體設(shè)備、溫控設(shè)備，這三類(lèi)設(shè)備單批次采購(gòu)量非常高，容易影響分析結(jié)果北方華創(chuàng)、中微

10、公司等廠商加速實(shí)現(xiàn)供應(yīng)刻蝕設(shè)備：中微市占率提升，北方硅刻蝕進(jìn)入供應(yīng)鏈107019年4月6日2統(tǒng)計(jì)第階中公在刻設(shè)中占率為 15進(jìn)第階段，微司機(jī)市率達(dá)到 16略提具體說(shuō)第階段103（TSV）/7表2:公司具體設(shè)備分類(lèi)臺(tái)數(shù)北方華創(chuàng)（第二批）硅槽刻蝕設(shè)備硅刻蝕3中微公司（第二批）接觸孔刻蝕設(shè)備硅通孔/接觸孔刻蝕2通孔（via）刻蝕設(shè)備1介質(zhì)等離子孔洞蝕刻設(shè)備介質(zhì)刻蝕2介質(zhì)等離子掩膜蝕刻設(shè)備2介質(zhì)等離子氧化層蝕刻設(shè)備2氧化硅刻蝕1接觸孔刻蝕硅通孔/接觸孔刻蝕4通孔（via）刻蝕設(shè)備7中微公司（第一批）介質(zhì)等離子蝕刻設(shè)備3等離子蝕刻機(jī)介質(zhì)刻蝕4氧化硅刻蝕1數(shù)據(jù)來(lái)源：設(shè)備交易平臺(tái)、3 臺(tái)。3/8TSV/CC

11、PPVDPECVD總體來(lái)看，長(zhǎng)江存儲(chǔ)在第一階段共采購(gòu)了 147 臺(tái)各類(lèi)成膜設(shè)備，包括 33臺(tái)AL89臺(tái)CVD8臺(tái)VD209年4月615450ALD、81CVD、6PVD進(jìn)第階方華同供了1臺(tái)AlPadPVD，拓供3PECVDAl Pad PVDAl Pad PVDbaselinePVD表3:北方華創(chuàng)的AlPadPVD、沈陽(yáng)拓荊的PECVD具有較強(qiáng)優(yōu)勢(shì)公司具體設(shè)備分類(lèi)臺(tái)數(shù)北方華創(chuàng)（第二批）鋁墊物理氣相沉積機(jī)臺(tái)Al Pad PVD1前端等離子體增強(qiáng)方式氮化硅薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備1后端等離子體增強(qiáng)方式氮氧化硅薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備1沈陽(yáng)拓荊（第二批）PECVD1后端等離子體增強(qiáng)方式以硅酸四乙酯作反應(yīng)物的

12、二氧化硅薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備北方華創(chuàng)（第一批）鋁墊物理氣相沉積機(jī)臺(tái)Al Pad PVD2沈陽(yáng)拓荊（第一批）后端等離子體增強(qiáng)方式氮化硅薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備PECVD1數(shù)據(jù)來(lái)源：設(shè)備交易平臺(tái)、清洗設(shè)備：盛美在單片清洗領(lǐng)域保持較大優(yōu)勢(shì)總體來(lái)看，長(zhǎng)江存儲(chǔ)在第一階段共采購(gòu)了 44 臺(tái)清洗設(shè)備；第二階段至今（209年4月6日13段美導(dǎo)的占約18方創(chuàng)洗設(shè)市約進(jìn)入二段盛半體保了 20以的率，北華暫時(shí)公司?？傮w而言，目前盛美在單片清洗領(lǐng)域具有較強(qiáng)優(yōu)勢(shì)。在近期的SEMICON備 Ultra ECP map Tool、先進(jìn)封裝拋銅設(shè)備 Ultra SFP-Advanced PackagingUltro C-Taho

13、e1912-3公司具體設(shè)備分類(lèi)臺(tái)數(shù)單片清洗機(jī)1公司具體設(shè)備分類(lèi)臺(tái)數(shù)單片清洗機(jī)1盛美半導(dǎo)體（第二批）單片清洗12 寸晶圓單片式輕聚合物化學(xué)清洗機(jī)2北方華創(chuàng)（第一批）制程擋控片蝕刻回收清洗機(jī)擋控片清洗212 寸晶圓單片式晶背清洗機(jī)112 寸晶圓單片式硅晶延前&無(wú)定型碳后清洗機(jī)1單片清洗盛美半導(dǎo)體（第一批）單片清洗機(jī)1單片式鎢制程化學(xué)清洗機(jī)2制程控片回收清洗機(jī)擋控片清洗3數(shù)據(jù)來(lái)源：設(shè)備交易平臺(tái)、氧化/退火設(shè)備：北方的爐、MattsonRTP總體來(lái)看，長(zhǎng)江存儲(chǔ)在第一階段共采購(gòu)了 8 臺(tái)氧化設(shè)備和 22 臺(tái)退火設(shè)（2019461118 占約30Mattson在速退領(lǐng)市率約20入二階段北華將近50的市率而

14、Mattson時(shí)還有應(yīng)主要體設(shè)備的領(lǐng)先水平，已經(jīng)成為主流廠商擴(kuò)散氧化爐設(shè)備的首選。而MattsonRTP5nm表5:Mattson的RTP公司具體設(shè)備分類(lèi)臺(tái)數(shù)北方華創(chuàng)（第二批）立式高溫退火設(shè)備氣體驅(qū)離及源極退火設(shè)備退火爐52立式常壓氧化設(shè)備氧化爐8北方華創(chuàng)（第一批）立式高溫退火設(shè)備退火爐6立式常壓氧化設(shè)備氧化爐3Mattson（第一批）高溫快速熱退火設(shè)備RTP1數(shù)據(jù)來(lái)源：設(shè)備交易平臺(tái)、量測(cè)設(shè)備：中科飛測(cè)、睿勵(lì)科儀實(shí)現(xiàn)突破17332厚/CD56（20194662/18/CD臺(tái)。11維形貌量測(cè)設(shè)備。根據(jù)我們的了解，目前中科飛測(cè)是國(guó)內(nèi)唯一一家在TOPTFX3000包括上市公司精測(cè)電子在內(nèi)的國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠

15、商也在積極布局前道量測(cè)設(shè)圖 7：中科飛測(cè)的表面形貌測(cè)量和睿勵(lì)科儀的薄膜測(cè)量設(shè)備進(jìn)入了長(zhǎng)江存儲(chǔ)的供應(yīng)鏈數(shù)據(jù)來(lái)源：中科飛測(cè)、睿勵(lì)科儀研磨拋設(shè)備：華海清科實(shí)現(xiàn)多家供應(yīng)總體來(lái)看，長(zhǎng)江存儲(chǔ)在第一階段共采購(gòu)了 16 臺(tái)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī) CMP，均019年4月6日6臺(tái)16CMP10DISCOCMP4CMPCMPCMP圖 8：華海清科的 CMP 設(shè)備進(jìn)入了長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際等的供應(yīng)鏈數(shù)據(jù)來(lái)源：華海清科其他國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商：北京京儀、沈陽(yáng)科儀除了以上分析的設(shè)備，還有干泵和溫控/氣體設(shè)備兩大類(lèi)設(shè)備值得關(guān)注。在第階招控氣體備國(guó)化約35要應(yīng)商為北京儀泵國(guó)化也約 35，要應(yīng)為沈科儀；第二afer Sote/AMRLocal

16、Scrbbe）LEDLCDLEDPVD表6:公司具體設(shè)備分類(lèi)臺(tái)沈陽(yáng)科儀（第二階段）干泵泵160蝕刻-Chiller1溫控設(shè)備266北京京儀（第二階段）燃燒式除害設(shè)備氣體設(shè)備44沈陽(yáng)科儀（第一階段）干泵泵196蝕刻濕法燃燒式除害設(shè)備氣體設(shè)備4北京京儀（第一階段）蝕刻-Chiller1溫控設(shè)備126數(shù)據(jù)來(lái)源：蝕刻-Chiller27數(shù)據(jù)來(lái)源：數(shù)據(jù)來(lái)源：設(shè)備交易平臺(tái)、結(jié)論及投資建議圖 9：長(zhǎng)江存儲(chǔ)各類(lèi)核心設(shè)備的主要供應(yīng)商市場(chǎng)份額以長(zhǎng)江存儲(chǔ)的設(shè)備供應(yīng)數(shù)據(jù)來(lái)分析國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)芯片的設(shè)備供應(yīng)格局，具有較強(qiáng)代表意義：長(zhǎng)江存儲(chǔ)是目前國(guó)內(nèi)投資規(guī)模、規(guī)劃產(chǎn)能最高的存儲(chǔ)2018201920Kdemo北方華創(chuàng)、中微公司等設(shè)

17、備廠商加速實(shí)現(xiàn)供應(yīng)：16提升，主要為硅通孔TSVCCP成設(shè)體產(chǎn)率較為2右但中北華的AlPad PVDPVD清設(shè)：一段購(gòu)中盛半體占約 18北華市占約5；進(jìn)第階盛保持20以的臺(tái)市率在片Ultro C-Tahoe191氧化/退火設(shè)備：目前北方華創(chuàng)的爐管設(shè)備已成為國(guó)內(nèi)主流廠商擴(kuò)散氧化的選機(jī)市率30上而Mattson的快速熱火備市量測(cè)設(shè)備：品類(lèi)眾多且國(guó)產(chǎn)化較難突破，但睿勵(lì)科儀實(shí)現(xiàn)了 1 臺(tái)薄膜測(cè)量系統(tǒng)的供應(yīng)，中科飛測(cè)實(shí)現(xiàn)了 1 臺(tái)表面三維形貌量測(cè)設(shè)備的供應(yīng)；CMP 設(shè)備：華海清科的拋光機(jī)已在長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際、華力的生產(chǎn)線上使用，是國(guó)內(nèi)CMP 設(shè)備的領(lǐng)頭企業(yè)，未來(lái)有望持續(xù)拓展。投資建議2019-20 、盛美半導(dǎo)體（納斯達(dá)克。表 1：重點(diǎn)推薦及受益標(biāo)的公司盈利預(yù)測(cè)及估值股價(jià)（209.0410）每股收益市盈率(X)代碼名稱評(píng)級(jí)20182019E2020E20182019E2020E002371.SZ北方華創(chuàng)66.680.510.911.41130.773.347.3增持300567.SZ精測(cè)電子80.901.82.563.6344.931.622.3增持300604.SZ長(zhǎng)川科技38.5