國外CCD檢測技術(shù)在工業(yè)中的應用與發(fā)展

1、國外CCD檢測技術(shù)在工業(yè)中的應用與發(fā)展劉征，彭小奇，丁劍，唐英 時間:2010年02月26日 字 體: HYPERLINK javascript:setFont(16); 大 HYPERLINK javascript:setFont(14); 中 HYPERLINK javascript:setFont(12); 小關(guān)鍵詞: HYPERLINK /search/?q=CCD圖像傳感器 CCCD圖圖像傳感感器 0引言電荷耦耦合器件件(Chhargge CCoupple Devvicee，CCCD)是是一種以以電荷為為信號載載體的微微型 圖圖像傳感感器，具具有光電電轉(zhuǎn)換和和信號電電荷存儲儲、轉(zhuǎn)移移

2、及讀出出的功能能，其輸輸出信號號通常是是符合電電 視標標準的視視頻信號號，可存存儲于適適當?shù)慕榻橘|(zhì)或輸輸入計算算機，便便于進行行圖像存存儲、增增強、識識別等處處理11。自CCCD于于19770年在在貝爾實實驗室誕誕生以來來，CCCD技術(shù)術(shù)隨著半半導體微微電子技技術(shù)的發(fā)發(fā)展而迅迅速發(fā)展展，CCCD傳感感器的像像素集成成度、分分辨率、幾幾何精度度和靈敏敏度大大大提高，工工作頻率率范圍顯顯著增加加，可高高速成像像以滿足足對高速速運動物物體的拍拍攝22，并并以其光光譜響應應寬、動動態(tài)范圍圍大、靈靈敏度和和幾何精精度高、噪噪聲低、體體積小、重重量輕、低低電壓、低低功耗、抗抗沖擊、耐耐震動、抗抗電磁干干擾

3、能力力強、堅堅固耐用用、壽命命長、圖圖像畸變變小、無無殘像、可可以長時時間工作作于惡劣劣環(huán)境、便便于進行行數(shù)字化化處理和和與計算算機連接接等優(yōu)點點，在圖圖像采集集、非接接觸測量量和實時時監(jiān)控方方面得到到了廣泛泛應用，成成為現(xiàn)代代光電子子學和測測試技術(shù)術(shù)中最活活躍、最最富有成成果的研研究領(lǐng)域域之一1，33。1CCD傳傳感器的的檢測原原理CCDD是由光光敏單元元、輸入入結(jié)構(gòu)和和輸出結(jié)結(jié)構(gòu)等組組成的一一體化的的光電轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換器件件，其突突出特點點是以電電荷作為為信號載載體，其其基本工工作原理理見文獻獻4，55。當當入射光光照射到到CC D光敏敏單元上上時，光光敏單元元中將產(chǎn)產(chǎn)生光電電荷Q，QQ與光子子流

4、速率率n 00、光照照時間TTC、光光敏單元元面積AA成正比比，即：QQqn0ATc(11)其中為材料料的量子子效率；q為電電子電荷荷量。 HYPERLINK /search/?q=CCD圖像傳感器 o CCD圖像傳感器 CCCD圖圖像傳感感器的光光電轉(zhuǎn)換換特性如如圖1 如示，其其中橫坐坐標為照照度，llx.ss；縱坐坐標為輸輸出電壓壓，V00在非飽飽和區(qū)滿滿足：f(s)=d1sd2(22)式中中，f(s)為為輸出信信號電壓壓(V)；s為為曝光量量(lxx.s)；d1為直直線段的的斜率(Vllx.ss)，表表示CCCD的光光響應度度；為光電電轉(zhuǎn)換系系數(shù)，1；d2為無光光照時CCCD的的輸出電電

5、壓，稱稱為暗輸輸出電壓壓。特性性曲線的的拐點 G所對對應的曝曝光量SSE稱為飽飽和曝光光量，所所對應的的輸出電電壓VSSAT稱稱為飽和和輸出電電壓。曝曝光量高高于SEE后，CCCD輸輸出信號號不再增增加，可可見，CCCD圖圖像傳感感器在非非飽和區(qū)區(qū)的光電電轉(zhuǎn)換特特性接近近于線性性，因此此，應將將CCDD的工作作狀態(tài)控控制在非非飽和區(qū)區(qū)。2CCD的的應用狀狀況CCDD檢測技技術(shù)作為為一種能能有效實實現(xiàn)動態(tài)態(tài)跟蹤的的非接觸觸檢測技技術(shù)，被被廣泛應應用于尺尺寸、位位移、表表面形狀狀檢測和和溫度檢檢測等領(lǐng)領(lǐng)域。22.1尺尺寸測量量由由CCDD傳感器器、光學學成像系系統(tǒng)、數(shù)數(shù)據(jù)采集集和處理理系統(tǒng)構(gòu)構(gòu)成的

6、尺尺寸測量量裝置，具具有測量量精度高高、速度度快、應應用方便便靈活等等特點，是是現(xiàn)有機機械式、光光學式、電電磁式測測量儀器器所無法法比擬的的。在尺尺寸測量量中，通通常采用用合適的的照明系系統(tǒng)使被被測物體體通過物物鏡成像像在CCCD靶面面上，通通過對CCCD輸輸出的信信號進行行適當處處理，提提取測量量對象的的幾何信信息，結(jié)結(jié)合光學學系統(tǒng)的的變換特特性，可可計算出出被測尺尺寸22。2.11.1零零件尺寸寸的精確確測量19997年年，J.B.LLiaoo6等將CCCD攝攝像系統(tǒng)統(tǒng)應用在在三維坐坐標測量量機(CCoorrdinnatee Meeas uriing Macchinne，CCMM)上，實實

7、現(xiàn)了三三維坐標標的自動動測量。他他們將一一個面陣陣CCDD安裝在在與CMMM的33個軸線線都成445角的固固定位置置，通過過計算機機視覺系系統(tǒng)與CCMM原原來的控控制系統(tǒng)統(tǒng)連接來來控制探探頭和工工件的移移動，以以此探測測探頭和和工件的的三維位位置。該該方法不不需要對對原CMMM系統(tǒng)統(tǒng)進行改改變，只只要將CCCD視視覺系統(tǒng)統(tǒng)連入原原有的測測量機即即可。由由于測量量系統(tǒng)中中只用一一個面陣陣CCDD，從而而簡化了了測量系系統(tǒng)結(jié)構(gòu)構(gòu)，降低低了系統(tǒng)統(tǒng)成本，減減小了因因手工操操作引起起的誤差差，提高高了測量量效率，并并能避免免單獨使使用CCCD測量量時，因因光衍射射而造成成的邊緣緣檢測誤誤差，可可用于工工

8、件三維維尺寸的的精確測測量。但但該方法法需要對對工作環(huán)環(huán)境和工工件形狀狀具有一一定的先先驗知識識，使其其應用范范圍受到到較大限限制。為為此，VV.H.Chaan和CC.Brradlley等等人77提出出了一種種利用復復合傳感感器的自自動測量量方法。該該方法將將黑白CCCD和和坐標探探頭一同同安裝在在CMMM的Z軸軸工作臂臂的末端端，探測測前先由由C CCD在工工件的前前后左右右和上方方對工件件成像，并并通過基基于神經(jīng)經(jīng)網(wǎng)絡的的立體配配對算法法確定工工件表面面位置和和面積，從從而決定定探頭的的探測路路徑。該該方法的的智能程程度較高高，可高高效測量量形狀復復雜工件件的三維維尺寸，并并可根據(jù)據(jù)測量數(shù)

9、數(shù)據(jù)構(gòu)造造工件的的CADD模型，但但計算復復雜，需需要使用用運算速速度快、內(nèi)內(nèi)存容量量大的計計算機，且且算法立立體匹配配精度有有待提高高。以上測測量系統(tǒng)統(tǒng)雖然因因引入CCCD技技術(shù)而得得到明顯顯改進，但但仍屬于于接觸式式測量，無無法準確確測量某某些彈性性和軟性性工件。最最近，PP.F.Luoo等人8用用CCDD攝像頭頭代替CCMM的的探頭，結(jié)結(jié)合激光光 測距距技術(shù)實實現(xiàn)了對對一維尺尺寸的非非接觸精精確測量量。該方方法采用用了亞像像素精度度檢測技技術(shù)，利利用激光光測距器器進行距距離校正正，有效效地提高高了檢測測精度，其其精確測測量范圍圍為13000 mmm，但這這種方法法只能測測量一維維尺寸。P

10、P.F.Luoo等認為為該系統(tǒng)統(tǒng)經(jīng)改進進后可實實現(xiàn)二維維尺寸的的精確測測量，因因工作臺臺滑動引引起振動動而導致致的數(shù)據(jù)據(jù)波動也也能被有有效減小小，但尚尚未見到到成功的的實例。2.1.2微小尺寸的測量為檢測BGA(ball grid array，球珊陣列)芯片的管腳高度是否共面，美國RVSI公司研制出一種基于激光三角法的單點離線檢測設備1。該設備每次只能測量1個管腳，測量速 度慢，無法實現(xiàn)在線測量。1999年，Kim,Pyunghyun9等人提出了一種新的立體測 量方法。該方法用激光線源照射到芯片管腳上，被照亮的管腳圖像經(jīng)由互成一定角度的兩套CCD攝像系統(tǒng)采集后，輸入計算機進行立體匹配，利用透視

11、變換模型和坐標變換關(guān)系，計算 出管腳高度和縱向間距，再使被測芯片在步進電機的帶動下做單向運動，從而實現(xiàn)三維尺寸測量，并引入電容測微儀實時監(jiān)測工作臺位置變動，進行動態(tài)誤差補償，有效減小了因振動造成的誤差。2001年，C.J.Tay,X.He10等人利用圖像識別和數(shù)字相關(guān)等技術(shù)簡化了計算過程，使得只需幾秒鐘便可計算上百個管腳的高度，從而有效地提高了檢測系統(tǒng)的實用性。最近，C.J.Tay11等根據(jù)被傾斜光照射的物體的像與影之間的固有關(guān)系，提出了一種基于光學陰影簡便測量BGA管腳高度的方法。該方法利用激光對被測芯片的管腳進行傾斜照射以產(chǎn)生管腳陰影，管腳及其陰影由帶遠焦顯微鏡的CCD相機采集后，輸入計算

12、機，由計算機軟件根據(jù)影和像的相互關(guān)系計算出管腳高度，筆者提出了兩種簡潔的計 算方法，可避免因光衍射而造成的邊緣檢測誤差，計算簡單快速，但要求高精度的機械定位裝置，且每次只能檢測幾個管腳，而且對芯片平整度和檢測環(huán)境要求很高，還需要進一步改進后才能實用化。近年來，將CCD技術(shù)和莫爾條紋、數(shù)字全息、電子斑點干涉等技術(shù)相結(jié)合以精確測量微小尺寸的技術(shù)正成為一種具有很大潛力的研究發(fā)展方向12。2.2形變測量盡管利用線陣CCD測量材料變形具有非接觸、無磨損、精度高、不引入附加誤差、能測量材 料拉伸的全過程，特別是測量材料在斷裂前后的應力應變曲線，得到材料的各種極限特性 參數(shù)等優(yōu)點，但只能測量材料拉伸時在軸線

13、方向的均一形變。為此，Scheday,Miehe和Cheva lier等人13開展了采用面陣CCD測量材料形變的研究。在此基礎上，Stefan Hart mann等人14借助面陣CCD研究了橡膠材料在拉伸和壓縮時的形變情況。即在圓柱 形黑色測試樣品的軸線方向等距標定幾個白點，用CCD攝取相應圖像并送入計算機進行處理，通過檢測白點標記間的距離來計算樣品受力時軸向的形變，并通過輪廓檢測算法得到軸對 稱的圓柱型樣品的輪廓尺寸，經(jīng)過數(shù)據(jù)校正，可計算出被測樣品半徑方向上的形變。這種方 法可同時獲得兩個方向上的形變量，并測量出材料被壓縮時的非均一形變。S.Claudinon,P. Lamesle等人15采

14、用類似方法研究了淬火鋼鐵樣品在氣冷時的形變，解決了高溫 樣品的尺寸測量問題，并能連續(xù)測量不同溫度下的形變量，但在低溫時，易產(chǎn)生測量誤差。J.-M.Siguier等16為研究大型科學氣球氣囊表面材料的性質(zhì)，利用兩個CCD攝像 機攝取被測物體的表面圖像，通過立體相關(guān)方法獲取樣品的三維形變。但這種測量方法技術(shù)復雜，且在與材料表面垂直的法線方向上獲得的數(shù)據(jù)偏小。2.3機械磨損度測量雖然以上方法可以測量各種工件的尺寸或形變，但在測量某些特殊工件時卻受到許多限制。例如，在檢測高速切割機上的刀具磨損度時，需要將刀具卸下才能測量。為此，一些研究人 員致力于用機器視覺檢測刀具磨損程度的研究。2000年，T.Pf

15、eifer和L.Wiegers17通過比較各種測量方法，指出基于機器視覺的檢測系統(tǒng)最具優(yōu)勢和潛力，并構(gòu)建了一套由CCD攝像頭、照明設備和夾具等組成的非接觸檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)在適當位置對刀口側(cè)面成像 ，將采集的刀具圖像信號輸入計算機，計算出刀具磨損輪廓，以此判斷刀具磨損級別，確定刀具更換時間。但該系統(tǒng)的圖像處理過程復雜，適應范圍窄，檢測精度和效率也有待提高。2002年，JeonHa Kim等人18在此基礎上，對誤差因素逐一進行了實驗分析，確定了最佳光線照射強度、角度、拍攝角度等，并將光源通過光纖插入鏡頭周圍以減小因陰影 產(chǎn)生的誤差，使夾具自由轉(zhuǎn)動角度增大，成像設備尺寸縮小，提高了系統(tǒng)的使用范圍。同

16、時，通過采用磨損前后刀具橫向尺寸差來計算磨損度，大大簡化了圖像處理過程。對4種不同刀具的實驗測量表明，該系統(tǒng)的測量信噪比可達到46 dB，測量精度和速度顯著提高，并可實現(xiàn)實時在線測量，但不適合測量幾何形狀太復雜的刀具。2.4三維表面測量由于CCD傳感器能同時獲取被測表面的亮度和相位信息，因此，將CCD和計算機圖像處理技術(shù) 與傳統(tǒng)的三維表面非接觸光學測量方法相結(jié)合，可實時測量物體形變、振動和外形。上世紀 90年代初，Yamaguchi等人19在斑點干涉測量中使用線陣CCD測量不同材料的帕森比，但線陣CCD只能記錄一維正交相關(guān)性信息。隨著CCD工藝水平的提高，面陣CCD被廣泛應 用于三維表面測量1

17、9。1996年，B.Skarman等20提出了相變數(shù)字全息 測量法。此后，F(xiàn).Chesn21、C.Quan22、P.S.Huang23、G. Pedrini等人24分別在有關(guān)測量方法中應用了CCD技術(shù)，從CCD圖像中獲取相位圖的新方法24，26，27也相繼出現(xiàn)。在條紋圖樣投影法中采用相變技術(shù)時，只能檢 測靜物表面輪廓，不適用于實時檢測振動和變化的表面形狀。為此，C.J.Tay等人28建立了對低頻振動的物體表面進行三維檢測的系統(tǒng)，該系統(tǒng)由振蕩發(fā)生系統(tǒng)、液晶顯示 條紋發(fā)射器、特殊遠心鏡頭、高速CCD、圖像采集卡和計算機組成。系統(tǒng)所用的遠心鏡頭可 以保持放大倍率為常數(shù)，使測量結(jié)果與被測物體和CCD之

18、間的距離無關(guān)，從而減小了測量中 物體振動時因為景深改變而產(chǎn)生的測量誤差。同時，采用相掃描方法逐點計算條紋圖樣相位，可以實時獲取被測對象的振動頻率和振幅，即時重建物體的表面輪廓，其測量精度可達振幅值的1500。但該系統(tǒng)只能測量陽紋平面，且要求有高質(zhì)量的正弦發(fā)射條紋和CCD的圖像采集頻率大于被測物體的振動頻率。隨后，他們又在陰影莫爾條紋干涉法中應用類似方法 測量振動物體的三維表面，取得較好效果29。盡管該方法比數(shù)字全息法30簡單實用，且對測量環(huán)境的要求相對較低，但測量范圍受到CCD采集速度的限制，對高速振動和無規(guī)則形變的物體表面測量并不實用。2.5高溫測量物體的輻射光波長和強度與物體溫度有著特定的

19、關(guān)系，因此CCD作為一種光電轉(zhuǎn)換器件，可用于溫度測量。1993年，Tenchov等人31采用CCD間接測量溶液表面溫度；1995年，K.Y.Hsu和L.D.Chen32用可測量紅外波段的加強型CCD測量液態(tài)金屬的燃燒火焰溫度，但其測量誤差達到400200K，缺乏實用性。此后，利用紅外CCD測量溫度場成為CCD測溫研究的主流。2001年，Takeshi Azami等人33利用CCD的亮度波動信息來研究 熔融硅橋表面的熱流狀況，獲得了較好的結(jié)果。2002年，D.Manca等人34提出了一種利用紅外CCD測控燃燒室火焰溫度場的實用方法。2003年，G.Sutter35等人利用加強型CCD測量近似黑體

20、的物體表面發(fā)出的某一波長的單色光，以此得到物體的輻射溫度，所得測量結(jié)果與物體的真實溫度之間的差別幾乎可以忽略不計，并將其用于測量直角高 速切割機的刀具溫度場，但作者未具體說明圖像處理和溫度計算方法，也未進行誤差分析， 其實驗誤差達16 。這種方法測量不同范圍的溫度時，需要尋找不同的最佳波長，使用頻帶很窄的濾波片獲取單一波長的光輻射信號。B.Skarman等人36，37于1996年提出 用CCD拍攝流體的全息圖，通過圖像處理技術(shù)重建流體的三維溫度場，由于當時的CCD采集速度、圖像處理速度和儲存速度都比較低，激光干涉質(zhì)量也不高，使該方法缺乏實用性；到19 98年，該方法進入實用階段，能測量穩(wěn)定透明

21、液體的三維溫度，并得到流速和流體密度等數(shù) 據(jù)。2002年，C.Hhmann等38利用高分辨率溫度傳感液晶顏色隨溫度變化的特性 對被測區(qū)域感溫，然后用彩色CCD攝取液晶表面的顏色圖像來間接測量液體蒸發(fā)時彎月面的 溫度。此方法可實現(xiàn)小面積的溫度測量，但需要進行精確的校正。還有學者提出利用CCD配 合激光感應磷光器測量溫度39。事實上，由CCD的光譜響應特性、光電轉(zhuǎn)換特性可知，利用RGB輸出值可得到被測物體表面圖像中的亮度和色度信息，并根據(jù)比色測溫原理 計算出物體的表面溫度場。雖然有人提出了基于CCD測溫系統(tǒng)的三維溫度場構(gòu)建算法4 0，但直接利用彩色CCD測量溫度的儀器還處在實驗研發(fā)階段。盡管如此，

22、由于CCD技術(shù)能測量運動物體的溫度，給出二維或三維溫度場，實現(xiàn)非接觸高溫測量，因此，CCD測溫技術(shù)有很大的發(fā)展?jié)摿蛻们熬啊?3結(jié)論綜上所所述，CCCD應應用技術(shù)術(shù)已成為為集光學學、電子子學、精精密機械械與計算算機技術(shù)術(shù)為一體體的綜合合性技術(shù)術(shù)，并被被廣泛應應用于現(xiàn)現(xiàn)代光學學和光電電測試技技術(shù)領(lǐng)域域。事實實上，凡凡可用膠膠卷和光光電檢測測技術(shù)的的地方幾幾乎都可可以應用用CCDD。隨著著半導體體材料與與技術(shù)的的發(fā)展，特特別是超超大規(guī)模模集成電電路技術(shù)術(shù)的不斷斷進步，CCCD圖圖像傳感感器的性性能也在在迅速提提高，將將CCDD技術(shù)、計計算機圖圖像處理理技術(shù)與與傳統(tǒng)測測量方法法相結(jié)合合，能獲獲取被

23、測測對象的的更多信信息，實實現(xiàn)快速速、準確確的無接接觸測量量，顯著著提高測測量技術(shù)術(shù)水平和和智能化化水平，因因此，CCCD技技術(shù)必將將以其突突出的優(yōu)優(yōu)點而在在工業(yè)測測控、機機器視覺覺、多媒媒體技術(shù)術(shù)、虛擬擬現(xiàn)實技技術(shù)及其其他許多多領(lǐng)域得得到越來來越廣泛泛的應用用。 參考文獻1王慶慶有.CCCD應應用技術(shù)術(shù)M.天津津：天津津大學出出版社，2200002王躍科科，楊華華勇.CCCD圖圖像傳感感技術(shù)的的現(xiàn)狀與與應用前前景JJ.光光學儀器器，1999 66，188(5)：3223663科學CCCD的的過去、現(xiàn)現(xiàn)狀和未未來JJ.激激光與光光電子學學進展，119955，(110)：81104晏磊，張張伯旭

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25、ordii naate meaasurringg maachiinebassed revversse eengiineeerinngJJ.CCompputeers in Inddusttry,2000 1,(444):110511558P.FF.Luuo.AAppllicaatioon oof ccompputeer vvisiion andd laaserrintterfferoometter to thee innspeectiion of linne sscalleJJ.OOptiics andd Laaserrs iin EEngiineeerinng,220044,(442):563

26、3 55849Kimm,Pyyungghyuun,RRheee,Seehunn.Thhreeedimmenssionnal insspecctioon oof bballl grri dd arrrayy ussingg laaserr viisioon ssysttemJ.IEEEE TTrannsacctioons on Eleectrroniics Pacckaggingg Mannufaactuurinng,119999,222(2).J.TTay,He.X.,Kanng.XX.Cooplaanarrityy sttudyy onn baall griid a

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28、CCDD mooiree paatteern forr m icrrorannge meaasurremeentss ussingg thhe wwaveelett trranssforrmJJ.OOptiics andd Laaserr Teechnn ollogyy,20003,35：4347133Luuc CChevvaliier,Syllvaiin CCalllochh,F.Hilld.DDigiitall immagee coor rrelaatioon uusedd too annalyyze thee muultiiaxiial behhaviiourr off ruubbeer

29、likke mmateeriaalsJ .Euuroppeann Joournnal of MecchannicssASSoliids,20001,220(22):11691877144Sttefaan HHarttmannn,TTobiias Tscchpe,Lottharr Scchreeibeer.FFinii tee deeforrmattionns oof aa caarboon bblacckfill HYPERLINK /search/?q=led o led ledd ruubbeer.EExpeerimmentt,oppticcal meaasurremeent andd m

30、aaterriall paarammeteer iidenntifficaatioon uusinng ffiniite eleemenntsJ.Eurropeean Jouurnaa l of MecchannicssASSoliids,20003,222(33):33093244155S.Claaudiinonn,P.Lammeslle,JJ.J.Ortteu.Conntinnuouus iin ssituu mee assureemennt oof qquennchiing disstorrtioons usiing commputter vissionnJ.Joournnal of M

31、atteriia lls PProccesssingg Teechnnoloogy,20002,(1222):669881166J.M.SSiguuierr,P.Guiiguee,M.Karramaa.Nuum eericcal andd exxperrimeentaal ssimuulattionn off thhe mmechhaniicall beehavviorr off suuperrpreessuure balllooon ssubssysttemssJ.Addvanncess inn Sppacee Reeseaarchh,20004,33(10):1771117116177T.

32、Pfeeifeer,LL.Wiiegeers.Relliabble toool wwearr moonittoriing by opttimiizedd imm agge aand illlumiinattionn coontrrol in macchinne vvisiionJ.Meaasurremeent,20000,(28):200922 188188JeeonHa Kimm,DeeokKyuu Mooon.Toool wwearr meeasuurinng ttechheniiquee onn thhe mmachhinee ussingg CCCD aand excclussivee

33、 jiigJJ.JJourrnall off Maaterrialls PProccesssingg Teechnno llogyy,20002，66686744199Icchirrou Yammaguuchii.Hoologgrapphy,speecklle aand commputterssJ.Oppticcs aan dd Laaserrs iin EEngiineeerinng,220033,399:41114429200B.Skaarmaan,JJ.Beeckeer,KK.Woozniiak.Simmulttaneeouss 3DDPIVV annd ttempperaa tuure

34、 meaasurremeentss ussingg a neww CCCDbassed hollogrraphhic intterfferoometterJ.Floow MMe aasurremeent andd Innstrrumeentaatioon,220044,333(100)：11711117716211F.Cheen,GG.M.Broown, M.Sonng.OOverrvieew oof tthreeedimmenssionnal shaape m eeasuuremmentt ussingg oppticcal metthoddsJJ.OOptiicall Ennginneer

35、ringg,20000,39(1):1022222C.Quaan,XX.Y.He,C.JJ.Taay.33D ssurffacee prrofiile meaasurremeent usiing LCDD frringge pprojjecttionnJ.Prroceeediingss off thhe SSPIEEThee Innterrnattionnal Socc ieety forr Oppticcal Enggineeeriing,20001,443(117):51115116233P.S.HHuanng,QQ.Huu,F.Jinn.Coolorrenccodeed ddigiita

36、ll frringge proojecctioon ffor higghspeeed thrreedimmenssionnal surrfacce cconttourringgJ.Oppticcal E nnginneerringg,19999,38(6):10665110711244G.Peddrinni,SS.Sccheddin, H.J.TTiziianii.Puulseed ddigiitall hoologgrapphy comm biinedd wiith lasser vibbrommetrry ffor 3D meaasurremeentss off viibraatinng

37、oobjeectssJ.Oppticcs andd Laaserrs iin EEngiineeerinng,220022,388(34):11771229255C.J.TTay,C.QQuann,H.M.SShanng.NNew metthodd foor mmeassurii ngg dyynammic ressponnse of smaall commponnentts bby ffrinnge proojecctioonJJ.OOptiicall Ennginne eerinng,220033，422(6)：1771517220266M.E.PPawllowsski,M.KKujaaw

38、innskaa, MM.G.Weggiell.Shhapee annd mmotii onn meeasuur eemennt oof ttimeevarryinng tthreeedimmenssionnal objjectts bbaseed oon sspattiottempporaal ffrinnge patttreen aanallysiisJJ.OOptiicall Ennginneerringg,20002,41(2):45004559277X.Li,G.TTao,Y.YYangg,Coontiinuaal ddefoormaatioon aanallysiis wwithh

39、sccannnin g pphasse mmethhod andd tiime seqquennce phaase metthodd inn teempoorall sppeckkle pattterrn iinteerf eroomettryJ.Optticss annd LLaseer TTechhnollogyy,20001,33(1):5359288C.J.TTay,C.QQuann,Y.Fu.Surrfacce pproffilee meeasuuremmen t oof llowfreequeencyy viibraatinng oobjeectss ussingg teempoo

40、rall annalyysiss off frringge ppattternn JJ.OOptiics andd Laaserr Teechnnoloogy,20004,336(66),44714766299C.Quaan,YY.Fuu,C.J.TTay.Dettermminaatioon oof ssurffacee coontoour by temmporral anaalyssis of shaadoww mooiree frringgesJ.Optticss Coommuuniccatiionss,20004,2300(13):233 33300Shhokoo Taakaoo,Saa

41、torru YYoneeyamma,MMasaahissa TTakaashii.Miinutte ddispplaccemeent andd sttraiin aanallysiis uusinng llensslesss FFourrierr trranssforrmedd hoologgrapphicc innterrferromeetr yJJ.OOptiics andd Laaserrs iin EEngiineeerinng,220022,388(5):23332244311R.G.KKeanninii,C.A.AAllggoodd.Meeasuuremmentt off tiim

42、e varryinng ttempperaaturre ff ieeldss ussingg viisibble imaaginng CCCD Cammeraas.IInt.CommmJJ.HHeatt Maass Traansffer,19996,223 (3):30553114322K.Y.HHsu,L.DD.Chhen.An expperiimenntall innvesstiggatiion of LI andd SFF6 wwickk coombuustiionJ.Commbusstioon aand Flaame,19995,1102(122):773886333Taakesshi

43、 Azaami,Shiin NNakaamurra,TTakeetosshi Hibbiyaa.Obbserrvattionn off peerioo diic ttherrmoccapiillaary floow iin aa moolteen ssiliiconn brridgge bby uusinng nnonconntacct ttempper atuure meaasurremeentssJ.Joournnal of Cryystaal GGrowwth,20001,2231(122):88288834D.MMancca,MM.Roovagglioo.Innfraaredd Thhermmogrraphhic Imaage Proocesssinng ffor th e OOperratiion andd Coontrrol of Hetteroogenneouus CCombbusttionn ChhambberssJ.Coombuustiion andd Fllamee,20002,1300(4):27772297355G.Suttterr,L.Fauure,A.MMoliinarri.AAn eexpeerimmentta