Disco 設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹課件

Disco設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹設(shè)備主要包括的區(qū)域：Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ２）軸，Ｚ（Ｚ１和Ｚ２）軸，旋轉(zhuǎn)軸，主軸（ｓｐｉｎｄｌｅ１和ｓｐｉｎｄｌｅ２）清洗臺(tái)，升降臺(tái)，上取物手臂，下取物手臂，推拉手臂，校準(zhǔn)臺(tái)，顯微鏡，設(shè)備主框架，電氣系統(tǒng)，設(shè)備底座。Disco設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹設(shè)備主要包括的區(qū)域：Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ1設(shè)備結(jié)構(gòu)上取物手臂：傳送晶圓從工作臺(tái)到清洗臺(tái)；預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)：調(diào)整晶圓的位置；儲(chǔ)物臺(tái)：用于存放晶片匣；升降臺(tái)：用于使晶片匣上升或下降；清洗臺(tái)：用于清洗晶圓；下取物手臂：在晶片匣至工作臺(tái)之間傳送晶圓，以及在清洗臺(tái)和預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)之間傳送晶圓。設(shè)備結(jié)構(gòu)上取物手臂：傳送晶圓從工作臺(tái)到清洗臺(tái)；2設(shè)備的傳動(dòng)部分設(shè)備包括了Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ２）軸，Ｚ（Ｚ１和Ｚ２）軸，旋轉(zhuǎn)軸，主軸（ｓｐｉｎｄｌｅ１和ｓｐｉｎｄｌｅ２）清洗臺(tái)，升降臺(tái)，上取物手臂，下取物手臂，推拉手臂，校準(zhǔn)臺(tái)，顯微鏡，設(shè)備主框架，電氣系統(tǒng)，設(shè)備底座。設(shè)備的傳動(dòng)部分設(shè)備包括了Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ２）軸，Ｚ（Ｚ１和3設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Ｘ軸Ｘ軸在Ｘ方向傳動(dòng)工作臺(tái)：１．用交流馬達(dá)在絲杠上驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在Ｘ方向上的運(yùn)動(dòng)，連接２２０ＡＶ；２．應(yīng)用線性導(dǎo)軌固定工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)；3.導(dǎo)軌前后各有一個(gè)極限位置感應(yīng)器，用于控制工作臺(tái)在一定的范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)。絲杠導(dǎo)軌X軸滑塊交流馬達(dá)X軸底座設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Ｘ軸Ｘ軸在Ｘ方向傳動(dòng)工作臺(tái)：絲杠導(dǎo)軌X軸滑4設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸Y軸在Y方向傳動(dòng)工作臺(tái)：１．用交流馬達(dá)在絲杠上驅(qū)動(dòng)切割主軸在Y方向上的運(yùn)動(dòng)，連接２２０ＡＶ；２．應(yīng)用線性導(dǎo)軌固定工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)；Y2伺服馬達(dá)Y1伺服馬達(dá)絲桿導(dǎo)軌Y2滑塊Y軸底座Y1滑塊設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸Y軸在Y方向傳動(dòng)工作臺(tái)：Y2伺服馬達(dá)Y5設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸感應(yīng)器Y軸的感應(yīng)器：前方位的極限位置感應(yīng)器；后方位的極限位置感應(yīng)器；Y1軸和Y2軸接近感應(yīng)器，用于防止兩軸相撞。設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸感應(yīng)器Y軸的感應(yīng)器：6設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Z軸Z軸在Z方向傳動(dòng)工作臺(tái)：１．用步進(jìn)馬達(dá)在絲杠上驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在Ｘ方向上的運(yùn)動(dòng)；２．應(yīng)用線性導(dǎo)軌固定工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)；3.導(dǎo)軌前后各有一個(gè)極限位置感應(yīng)器，用于控制工作臺(tái)在一定的范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)。設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Z軸Z軸在Z方向傳動(dòng)工作臺(tái)：7設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)使用直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)；工作臺(tái)位于X軸的頂面Φ臺(tái)的旋轉(zhuǎn)范圍：逆時(shí)針60°，順時(shí)針320°，最大的旋轉(zhuǎn)角度為380°。按按鈕驅(qū)動(dòng)Φ臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)0.005°吸盤臺(tái)工作臺(tái)底座防水蓋中心環(huán)馬達(dá)底座絕緣底座直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)使用直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)；8設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)的負(fù)向極限位置感應(yīng)器之間相差60°~65°，實(shí)現(xiàn)Φ臺(tái)復(fù)位，設(shè)立。，切割和對(duì)齊等操作；Φ臺(tái)的正向極限位置感應(yīng)器，實(shí)現(xiàn)Φ臺(tái)最大轉(zhuǎn)動(dòng)角度的控制。設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)的負(fù)向極限位置感應(yīng)器之間相差609設(shè)備的傳動(dòng)部分－－工作臺(tái)工作臺(tái)利用真空吸住加工的吸盤臺(tái)，吸盤臺(tái)利用真空吸住晶圓吸盤臺(tái)工作臺(tái)底座防水蓋中心環(huán)馬達(dá)底座絕緣底座直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)設(shè)備的傳動(dòng)部分－－工作臺(tái)工作臺(tái)利用真空吸住加工的吸盤臺(tái)，吸盤10設(shè)備的傳動(dòng)部分－－上下取物手臂導(dǎo)軌導(dǎo)軌絲桿導(dǎo)軌伺服馬達(dá)上取物部分下取物部分設(shè)備的傳動(dòng)部分－－上下取物手臂導(dǎo)軌導(dǎo)軌絲桿導(dǎo)軌伺服馬達(dá)上取11設(shè)備的傳動(dòng)部分－－升降臺(tái)升降臺(tái)通過交流馬達(dá)和絲桿驅(qū)動(dòng)，同時(shí)有兩邊導(dǎo)軌確保升降臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向。升降臺(tái)面的晶片匣臺(tái)有晶片匣限位塊固定晶片匣，同時(shí)可根據(jù)加工晶圓的尺寸大小進(jìn)行調(diào)整限位塊。晶片匣臺(tái)絲桿導(dǎo)軌交流馬達(dá)設(shè)備的傳動(dòng)部分－－升降臺(tái)升降臺(tái)通過交流馬達(dá)和絲桿驅(qū)動(dòng)，同時(shí)有12設(shè)備的傳動(dòng)部分－－晶圓校準(zhǔn)部分校準(zhǔn)部分使用步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，晶圓框架的校準(zhǔn)管位通過傳送帶驅(qū)動(dòng)，同時(shí)使用線性導(dǎo)軌確保平穩(wěn)的線性運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)軌晶片框架對(duì)齊導(dǎo)軌導(dǎo)軌步進(jìn)馬達(dá)傳送帶設(shè)備的傳動(dòng)部分－－晶圓校準(zhǔn)部分校準(zhǔn)部分使用步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，晶圓13設(shè)備的結(jié)構(gòu)－－清洗臺(tái)清洗臺(tái)通過交流馬達(dá)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，噴水頭通過步進(jìn)馬達(dá)控制。旋轉(zhuǎn)部分主體洗水噴頭步進(jìn)馬達(dá)交流馬達(dá)設(shè)備的結(jié)構(gòu)－－清洗臺(tái)清洗臺(tái)通過交流馬達(dá)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，噴水頭通過步14Disco設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹設(shè)備主要包括的區(qū)域：Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ２）軸，Ｚ（Ｚ１和Ｚ２）軸，旋轉(zhuǎn)軸，主軸（ｓｐｉｎｄｌｅ１和ｓｐｉｎｄｌｅ２）清洗臺(tái)，升降臺(tái)，上取物手臂，下取物手臂，推拉手臂，校準(zhǔn)臺(tái)，顯微鏡，設(shè)備主框架，電氣系統(tǒng)，設(shè)備底座。Disco設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹設(shè)備主要包括的區(qū)域：Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ15設(shè)備結(jié)構(gòu)上取物手臂：傳送晶圓從工作臺(tái)到清洗臺(tái)；預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)：調(diào)整晶圓的位置；儲(chǔ)物臺(tái)：用于存放晶片匣；升降臺(tái)：用于使晶片匣上升或下降；清洗臺(tái)：用于清洗晶圓；下取物手臂：在晶片匣至工作臺(tái)之間傳送晶圓，以及在清洗臺(tái)和預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)之間傳送晶圓。設(shè)備結(jié)構(gòu)上取物手臂：傳送晶圓從工作臺(tái)到清洗臺(tái)；16設(shè)備的傳動(dòng)部分設(shè)備包括了Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ２）軸，Ｚ（Ｚ１和Ｚ２）軸，旋轉(zhuǎn)軸，主軸（ｓｐｉｎｄｌｅ１和ｓｐｉｎｄｌｅ２）清洗臺(tái)，升降臺(tái)，上取物手臂，下取物手臂，推拉手臂，校準(zhǔn)臺(tái)，顯微鏡，設(shè)備主框架，電氣系統(tǒng)，設(shè)備底座。設(shè)備的傳動(dòng)部分設(shè)備包括了Ｘ軸，Ｙ（Ｙ１和Ｙ２）軸，Ｚ（Ｚ１和17設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Ｘ軸Ｘ軸在Ｘ方向傳動(dòng)工作臺(tái)：１．用交流馬達(dá)在絲杠上驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在Ｘ方向上的運(yùn)動(dòng)，連接２２０ＡＶ；２．應(yīng)用線性導(dǎo)軌固定工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)；3.導(dǎo)軌前后各有一個(gè)極限位置感應(yīng)器，用于控制工作臺(tái)在一定的范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)。絲杠導(dǎo)軌X軸滑塊交流馬達(dá)X軸底座設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Ｘ軸Ｘ軸在Ｘ方向傳動(dòng)工作臺(tái)：絲杠導(dǎo)軌X軸滑18設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸Y軸在Y方向傳動(dòng)工作臺(tái)：１．用交流馬達(dá)在絲杠上驅(qū)動(dòng)切割主軸在Y方向上的運(yùn)動(dòng)，連接２２０ＡＶ；２．應(yīng)用線性導(dǎo)軌固定工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)；Y2伺服馬達(dá)Y1伺服馬達(dá)絲桿導(dǎo)軌Y2滑塊Y軸底座Y1滑塊設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸Y軸在Y方向傳動(dòng)工作臺(tái)：Y2伺服馬達(dá)Y19設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸感應(yīng)器Y軸的感應(yīng)器：前方位的極限位置感應(yīng)器；后方位的極限位置感應(yīng)器；Y1軸和Y2軸接近感應(yīng)器，用于防止兩軸相撞。設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Y軸感應(yīng)器Y軸的感應(yīng)器：20設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Z軸Z軸在Z方向傳動(dòng)工作臺(tái)：１．用步進(jìn)馬達(dá)在絲杠上驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在Ｘ方向上的運(yùn)動(dòng)；２．應(yīng)用線性導(dǎo)軌固定工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)；3.導(dǎo)軌前后各有一個(gè)極限位置感應(yīng)器，用于控制工作臺(tái)在一定的范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)。設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Z軸Z軸在Z方向傳動(dòng)工作臺(tái)：21設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)使用直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)；工作臺(tái)位于X軸的頂面Φ臺(tái)的旋轉(zhuǎn)范圍：逆時(shí)針60°，順時(shí)針320°，最大的旋轉(zhuǎn)角度為380°。按按鈕驅(qū)動(dòng)Φ臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)0.005°吸盤臺(tái)工作臺(tái)底座防水蓋中心環(huán)馬達(dá)底座絕緣底座直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)使用直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)；22設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)的負(fù)向極限位置感應(yīng)器之間相差60°~65°，實(shí)現(xiàn)Φ臺(tái)復(fù)位，設(shè)立。，切割和對(duì)齊等操作；Φ臺(tái)的正向極限位置感應(yīng)器，實(shí)現(xiàn)Φ臺(tái)最大轉(zhuǎn)動(dòng)角度的控制。設(shè)備的傳動(dòng)部分－－Θ軸Φ臺(tái)的負(fù)向極限位置感應(yīng)器之間相差6023設(shè)備的傳動(dòng)部分－－工作臺(tái)工作臺(tái)利用真空吸住加工的吸盤臺(tái)，吸盤臺(tái)利用真空吸住晶圓吸盤臺(tái)工作臺(tái)底座防水蓋中心環(huán)馬達(dá)底座絕緣底座直流驅(qū)動(dòng)馬達(dá)設(shè)備的傳動(dòng)部分－－工作臺(tái)工作臺(tái)利用真空吸住加工的吸盤臺(tái)，吸盤24設(shè)備的傳動(dòng)部分－－上下取物手臂導(dǎo)軌導(dǎo)軌絲桿導(dǎo)軌伺服馬達(dá)上取物部分下取物部分設(shè)備的傳動(dòng)部分－－上下取物手臂導(dǎo)軌導(dǎo)軌絲桿導(dǎo)軌伺服馬達(dá)上取25設(shè)備的傳動(dòng)部分－－升降臺(tái)升降臺(tái)通過交流馬達(dá)和絲桿驅(qū)動(dòng)，同時(shí)有兩邊導(dǎo)軌確保升降臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向。升降臺(tái)面的晶片匣臺(tái)有晶片匣限位塊固定晶片匣，同時(shí)可根據(jù)加工晶圓的尺寸大小進(jìn)行調(diào)整限位塊。晶片匣臺(tái)絲桿導(dǎo)軌交流馬達(dá)設(shè)備的傳動(dòng)部分－－升降臺(tái)升降臺(tái)通過交流馬達(dá)和絲桿驅(qū)動(dòng)，同時(shí)有26設(shè)備的傳動(dòng)部分－－晶圓校準(zhǔn)部分校準(zhǔn)部分使用步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，晶圓框架