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(這是一個(gè)混合積分電路網(wǎng)絡(luò)高倍放大圖)固體能帶結(jié)構(gòu)第四章1本章目錄序言§4.2固體能帶(書4.4節(jié))
§3.3導(dǎo)體和絕緣體(書4.4節(jié))
§4.4半導(dǎo)體導(dǎo)電機(jī)構(gòu)(書4.5節(jié))
§4.5pn結(jié)(書4.6節(jié))
△§4.6半導(dǎo)體器件(書4.7節(jié))
§4.1晶體結(jié)構(gòu)和結(jié)合(補(bǔ)充)
§4.7半導(dǎo)體激光器(補(bǔ)充)2前言固體物理既是一門綜合性理論學(xué)科又和▲固體物理是信息技術(shù)物理基礎(chǔ)1928-29建立能帶理論并由試驗(yàn)證實(shí)1947.12創(chuàng)造晶體管1962制成集成電路實(shí)際應(yīng)用緊密結(jié)合(材料、激光、半導(dǎo)體…)319828028613.4萬(wàn)80486120萬(wàn)1993pentium320萬(wàn)1995pentiumMMX550萬(wàn)1997pentium2750萬(wàn)集成度每10年增加1000倍!1971intel4004微處理器芯片2300晶體管4集成度每一步提升,都和表面物理及光刻沒有晶體管、超大規(guī)模集成電路,就沒有計(jì)現(xiàn)在在一個(gè)面積比郵票還小芯片上能夠集其上能夠集成109個(gè)元件,度只有0.12微米(深亞微米)。成一個(gè)系統(tǒng),研究分不開。算機(jī)普遍應(yīng)用和今天信息處理技術(shù)。溝道長(zhǎng)5量子尺度效應(yīng)研究
納米材料原子原子團(tuán)固體材料,新材料理論設(shè)計(jì):
▲固體物理是新材料技術(shù)物理基礎(chǔ)
晶格理論晶體力學(xué)性質(zhì)、熱學(xué)性質(zhì)、······量子阱、超晶格理論
新型器件能帶理論是固體理論和應(yīng)用基礎(chǔ)?!澳芟豆こ獭保喝斯じ淖儾牧夏芟度ミm應(yīng)器件需要,去創(chuàng)造特殊能帶結(jié)構(gòu)材料。人們能夠經(jīng)過控制電子波函數(shù)來(lái)制作器件,正所謂:“自己來(lái)實(shí)踐量子力學(xué)”。6晶體非晶體結(jié)構(gòu):規(guī)則排列對(duì)稱性無(wú)一定規(guī)則排列宏觀性質(zhì):多為各向異性各向同性熔點(diǎn):確定逐步軟化二.晶體結(jié)構(gòu)晶體中原子規(guī)則排列形成晶格—含有周期性§4.1晶體結(jié)構(gòu)和結(jié)合(補(bǔ)充)一.晶體和非晶體比較7初基晶胞-晶格最小單元abca,b,c-晶格常數(shù)晶格有各種類型:點(diǎn)陣間滿足關(guān)系:點(diǎn)陣▲面心立方晶格Cu,Al▲簡(jiǎn)單立方晶格a=b=cAu,Ag,8▲體心立方晶格▲
六角密排晶格組成晶格原子(團(tuán))在平衡點(diǎn)附近作熱運(yùn)動(dòng)(晶格振動(dòng))產(chǎn)生格波,Li,Na,K,F(xiàn)e,CsClBe,Mg,Zn,Cd聲子E=(n+1/2)h9三.晶體結(jié)合和類型▲
離子晶體(IonicCrystal)
▲
共價(jià)晶體
(CovalentCrystal)
無(wú)自由電子導(dǎo)熱導(dǎo)電性差離子間靜電力強(qiáng)熔點(diǎn)高,硬度好正負(fù)離子交替排列形成離子鍵,共價(jià)鍵如NaCl晶體如:Si,Ge,金鋼石傳熱導(dǎo)電性不好強(qiáng)度高,堅(jiān)硬,不易變形10原子貢獻(xiàn)出價(jià)電子為整個(gè)晶體所共有帶正電原子實(shí)周期地排列形成晶體點(diǎn)陣▲
金屬晶體(MetallicCrystal)電子對(duì)原子實(shí)排列要求不嚴(yán),展延性好導(dǎo)熱導(dǎo)電性好(有自由電子)11大部分有機(jī)化合物晶體是分子晶體原子間作用力是范德瓦爾斯力吸引,能量低排斥,能量高▲
分子晶體(MolecularCrystal)結(jié)協(xié)力小:熔點(diǎn)低,硬度小,易變形12當(dāng)幾個(gè)原子有相互作用組成一個(gè)體系時(shí),§4.2固體能帶(書4.4節(jié))
本節(jié)研究大量原子有相互作用組成一個(gè)能夠從兩方面來(lái)分析:研究孤立原子能級(jí)怎樣形成固體能帶一.從原子能級(jí)到固體能帶原子中電子處于不一樣能級(jí)。體系時(shí),電子能量(能級(jí))狀態(tài)。電子能級(jí)怎樣?
研究電子在周期勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)13先看兩個(gè)原子情況.Mg.
Mg依據(jù)泡利不相容原理,原來(lái)能級(jí)已填滿不能再填充電子—分裂為兩條1s2s2p3s3p1s2s2p3s3p空帶價(jià)帶14各原子間相互作用原來(lái)孤立原子能級(jí)發(fā)生分裂若有N個(gè)原子組成一體,對(duì)于原來(lái)孤立原子一個(gè)能級(jí),就分裂成N條靠得很近能級(jí),能帶寬度記作E
E
~eV量級(jí)
若N~1023,則能帶中兩相鄰能級(jí)間距稱為能帶(energyband)。約為10-23eV。15能級(jí)能帶N條能隙,禁帶E普通規(guī)律:
1.越是外層電子,能帶越寬,E越大;
2.點(diǎn)陣間距越小,能帶越寬,E越大;3.兩個(gè)能帶有可能重合。16離子間距a2P2S1SE0能帶重合示意圖17二.電子在周期勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),電子共有化孤立原子中電子勢(shì)阱-er+●●UWUWr●電子能級(jí)勢(shì)阱旋轉(zhuǎn)對(duì)稱+勢(shì)壘18固體(這里指晶體)含有由大量分子、電子受到周期性勢(shì)場(chǎng)作用:a原子或離子規(guī)則排列而成點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)。19解定態(tài)薛定諤方程,能夠得出兩點(diǎn)1.電子能量是量子化;2.電子運(yùn)動(dòng)有隧道效應(yīng)。
原子外層電子(在高能級(jí))勢(shì)壘穿透原子內(nèi)層電子與原子核結(jié)合較緊,普通概率較大,電子能夠在整個(gè)固體中運(yùn)動(dòng),稱為共有化電子。主要結(jié)論:不是共有化電子。20三.能帶中電子排布固體中一個(gè)電子只能處于某個(gè)能帶中1.排布標(biāo)準(zhǔn):(1)服從泡里不相容原理(費(fèi)米子)(2)服從能量最小原理對(duì)孤立原子一個(gè)能級(jí)Enl,它最多能
這一能級(jí)分裂成由N個(gè)能級(jí)組成能帶,某一能級(jí)上。容納2(2l+1)個(gè)電子。一個(gè)能帶最多能容納2
(2l+1)N
個(gè)電子。212p、3p能帶,最多容納6N個(gè)電子。比如,1s、2s能帶,最多容納2N個(gè)電子。每個(gè)能帶最多容納2N個(gè)電子每個(gè)能帶最多容納6N個(gè)電子單個(gè)Mg原子1s2s2p3s3p晶體Mg(N個(gè)原子)電子排布應(yīng)從最低能級(jí)排起。22
滿帶:填滿電子能帶。
空帶:沒有電子占據(jù)能帶。
不滿帶:未填滿電子能帶。
禁帶:不能填充電子能區(qū)。
價(jià)帶:和價(jià)電子能級(jí)對(duì)應(yīng)能帶,對(duì)半導(dǎo)體,價(jià)帶通常是滿帶。即最高充有電子能帶。2.相關(guān)能帶被占據(jù)情況幾個(gè)概念:
空帶
滿帶E
不滿帶
禁帶
禁帶價(jià)帶233.能帶對(duì)電導(dǎo)貢獻(xiàn)滿帶:…電子交換能態(tài)并不改變能量狀態(tài),所以滿帶不導(dǎo)電。導(dǎo)帶:不滿帶或滿帶以上最低空帶為何把空帶或不滿帶稱為導(dǎo)帶?因?yàn)殡娮又挥刑幱谶@種能帶中才能導(dǎo)電。24這只有導(dǎo)帶中電子才有可能。E導(dǎo)電——電子在電場(chǎng)作用下作定向運(yùn)動(dòng),以一定速度漂移,v
10-2cm/s電子得到附加能量到較高能級(jí)上去,25滿帶空帶價(jià)帶導(dǎo)帶不滿帶導(dǎo)帶從能帶來(lái)分析導(dǎo)電性:EpEp不導(dǎo)電導(dǎo)電26§4.3導(dǎo)體和絕緣體(書4.4節(jié))
(conductorandinsulator)
它們導(dǎo)電性能不一樣,是因?yàn)樗鼈兡軒ЫY(jié)構(gòu)不一樣。固體按導(dǎo)電性能高低能夠分為導(dǎo)體半導(dǎo)體絕緣體27一.導(dǎo)體能帶結(jié)構(gòu)空帶
導(dǎo)帶E一些一價(jià)金屬,如:Li…
滿帶空帶E一些二價(jià)金屬,如:Be,Ca,Mg,Zn,Ba…
導(dǎo)帶空帶E如:Na,K,Cu,Al,Ag…28導(dǎo)體在外電場(chǎng)作用下,大量共有化電子從能級(jí)圖上來(lái)看,是因?yàn)槠涔灿谢娮雍芤讖牡湍芗?jí)躍遷到高能級(jí)上去。E很易取得能量,集體定向流動(dòng)形成電流。29二.絕緣體能帶結(jié)構(gòu)E空帶空帶滿帶禁帶ΔEg=3~6eV從能級(jí)圖來(lái)看,是因?yàn)闈M帶絕緣體在外電場(chǎng)作用下,
當(dāng)外電場(chǎng)足夠強(qiáng)時(shí),共有化電子還是能越過共有化電子極難從低能級(jí)(滿帶)躍遷到高能級(jí)(空帶)上去。能量,所以形不成電流。(Eg:3~6eV),與空帶間有一個(gè)較寬禁帶禁帶躍遷到上面空帶中,使絕緣體被擊穿。共有化電子極難接收外電場(chǎng)30§4.4半導(dǎo)體導(dǎo)電機(jī)構(gòu)(書4.5節(jié))
一.本征半導(dǎo)體(semiconductor)本征半導(dǎo)體是指純凈半導(dǎo)體。本征半導(dǎo)體導(dǎo)電性能在導(dǎo)體與絕緣體之間。1.本征半導(dǎo)體能帶結(jié)構(gòu):E空帶(導(dǎo)帶)滿帶Eg=0.12eV禁帶本征(純凈)半導(dǎo)體所以加熱、光照、加電場(chǎng)都能把電子從滿帶激到發(fā)空帶中去,同時(shí)在滿帶中形成“空穴”(hole)。半導(dǎo)體禁帶寬度ΔEg
很窄(0.1~2eV),T=0K時(shí)(絕緣體)31比如半導(dǎo)體CdS滿帶空帶hEg=2.42eV滿帶上一個(gè)電子躍遷到空帶后,滿帶中出現(xiàn)一個(gè)帶正電空位,稱為“空穴”。
電子和空穴總是成對(duì)出現(xiàn)。電子和空穴叫本征載流子,它們形成半導(dǎo)體本征導(dǎo)電性。當(dāng)光照h>ΔEg
時(shí),可發(fā)生本征吸收,形成本征光電導(dǎo)。322.兩種導(dǎo)電機(jī)構(gòu)(1)電子導(dǎo)電—半導(dǎo)體主要載流子是電子解[例]要使半導(dǎo)體CdS產(chǎn)生本征光電導(dǎo),求激發(fā)電子光波波長(zhǎng)最大多長(zhǎng)?33在外電場(chǎng)作用下,電子能夠躍遷到空穴上來(lái),這相當(dāng)于空穴反向躍遷??昭ㄜS遷也形成電流,這稱為空穴導(dǎo)電??諑M帶Eg(2)空穴導(dǎo)電—半導(dǎo)體主要載流子是空穴34當(dāng)外電場(chǎng)足夠強(qiáng)時(shí),共有化電子還是能越為何導(dǎo)體電阻隨溫度升高而升高,而半導(dǎo)體電阻卻隨溫度升高而降低?半導(dǎo)體導(dǎo)體擊穿思索過禁帶躍遷到上面空帶中,使半導(dǎo)體擊穿。35二.雜質(zhì)(impurity)半導(dǎo)體1.n型半導(dǎo)體又稱n型半導(dǎo)體。量子力學(xué)表明,這種摻雜后多出電子能級(jí)在禁帶中緊靠空帶處,ED~10-2eV,極易形成電子導(dǎo)電。本征半導(dǎo)體Si、Ge等四個(gè)價(jià)電子,與另四個(gè)原子形成共價(jià)結(jié)合,當(dāng)摻入少許五價(jià)雜質(zhì)元素(如P、As等)時(shí),就形成了電子型半導(dǎo)體,36
n型半導(dǎo)體空帶滿帶施主能級(jí)EDEgSiSiSiSiSiSiSiP
這種靠近空帶附加能級(jí)稱為施主(donor)能級(jí)。以下列圖示:37則P原子濃度~1018cm3np=1.5×1010cm3+1018=1018cm3室溫下:本征激發(fā)雜質(zhì)激發(fā)導(dǎo)帶中電子濃度nn=1.5×1010滿帶中空穴濃度設(shè)Si中P含量為104電子是多數(shù)載流子,空穴是少數(shù)載流子。在n型半導(dǎo)體中:電子濃度nn~施主雜質(zhì)濃度ndSi原子濃度~1022cm3382.p型半導(dǎo)體四價(jià)本征半導(dǎo)體Si、Ge等摻入少許三價(jià)雜質(zhì)元素(如B、Ga、In等)時(shí),就形成空穴型半導(dǎo)體,又稱p型半導(dǎo)體。量子力學(xué)表明,這種摻雜后多出空穴能級(jí)在禁帶中緊靠滿帶處,EA
<10-1eV,極易產(chǎn)生空穴導(dǎo)電。39空帶EA滿帶受主能級(jí)
P型半導(dǎo)體SiSiSiSiSiSiSi+BEg
這種靠近滿帶附加能級(jí)稱為受主(acceptor)能級(jí)。以下列圖示:40則B原子濃度~1018cm3np=1.5×1010室溫下:本征激發(fā)雜質(zhì)激發(fā)導(dǎo)帶中電子濃度nn=1.5×1010cm3滿帶中空穴濃度設(shè)Si中B含量為10-4+1018=1018cm3空穴是多數(shù)載流子,電子是少數(shù)載流子。空穴濃度np~受主雜質(zhì)濃度na在p型半導(dǎo)體中:Si原子濃度~1022cm
3413.n型化合物半導(dǎo)體比如,化合物GaAs中摻Te,六價(jià)Te替換五價(jià)As可形成施主能級(jí),成為n型GaAs雜質(zhì)半導(dǎo)體。4.p型化合物半導(dǎo)體比如,化合物GaAs中摻Zn,二價(jià)Zn替換三價(jià)Ga可形成受主能級(jí),成為p型GaAs雜質(zhì)半導(dǎo)體。42三.雜質(zhì)賠償作用實(shí)際半導(dǎo)體中現(xiàn)有施主雜質(zhì)(濃度nd),又有受主雜質(zhì)(濃度na),兩種雜質(zhì)有賠償作用:若ndna——為n型(施主)若ndna——為p型(受主)利用雜質(zhì)賠償作用,能夠制成p-n結(jié)。43§4.5p-n結(jié)(書4.6節(jié))一.p-n結(jié)形成在n型半導(dǎo)體基片一側(cè)摻入較高濃度面附近產(chǎn)生了一個(gè)內(nèi)建阻止電子和空穴深入擴(kuò)散。電子和空穴擴(kuò)散,在p型和n型半導(dǎo)體交界p型半導(dǎo)體(賠償作用)。受主雜質(zhì),(電)場(chǎng)該區(qū)就成為n型p型44內(nèi)建場(chǎng)大到一定程度,不再有凈電荷流動(dòng),到達(dá)了新平衡。在p型和n型交界面附近形成這種特殊結(jié)構(gòu)稱為p-n結(jié)(阻擋層,耗盡層),其厚度約為0.1m。p-n結(jié)p型n型45
p-n結(jié)處存在電勢(shì)差U0形成勢(shì)壘區(qū)。也阻止n區(qū)帶負(fù)電電子深入向p區(qū)擴(kuò)散。它阻止p區(qū)帶正電空穴深入向n區(qū)擴(kuò)散;U0電子能級(jí)電勢(shì)曲線電子電勢(shì)能曲線p-n結(jié)np對(duì)Si:U0=0.6-0.7V對(duì)Ge:U0=0.2-0.3V46因?yàn)閜-n結(jié)存在,電子能量應(yīng)考慮進(jìn)勢(shì)這使電子能帶出現(xiàn)彎曲:空帶空帶p-n結(jié)施主能級(jí)受主能級(jí)滿帶滿帶壘帶來(lái)附加勢(shì)能。47二.p-n結(jié)單向?qū)щ娦?.正向偏壓p-n結(jié)p型區(qū)接電源正極,叫正向偏壓。向p區(qū)運(yùn)動(dòng),阻擋層勢(shì)壘降低、變窄,有利于空穴向n區(qū)運(yùn)動(dòng),也有利于電子和反向,這些都形成正向電流(mA級(jí))。p型n型I+48外加正向電壓越大,形成正向電流也越大,且呈非線性伏安特征。U(伏)302010(毫安)正向00.21.0I鍺管伏安特征曲線492.反向偏壓p-n結(jié)p型區(qū)接電源負(fù)極,叫反向偏壓。也不利于電阻擋層勢(shì)壘升高、變寬,不利于空穴向n區(qū)運(yùn)動(dòng),和同向,會(huì)形成很弱反向電流,稱漏電流(A級(jí))。I無(wú)正向電流p型n型+子向p區(qū)運(yùn)動(dòng)。不過因?yàn)樯贁?shù)載流子存在,50當(dāng)外電場(chǎng)很強(qiáng),反向電壓超出某一數(shù)值后,反向電流會(huì)急劇增大—反向擊穿。V(伏)I-10-20-30(微安)反向-20-30用pn結(jié)單向?qū)щ娦?,擊穿電壓用pn結(jié)光生伏特效應(yīng),可制成光電池。p-n結(jié)應(yīng)用:做整流、開關(guān)用。加反向偏壓時(shí),pn結(jié)伏安特征曲線如左圖??芍瞥删w二極管(diode),51△§4.6半導(dǎo)體器件(自學(xué)書第4.7節(jié))
p-n結(jié)適當(dāng)組合能夠作成含有放大作用晶體三極管(trasistor)和其它一些半導(dǎo)體器件。集成電路大規(guī)模集成電路超大規(guī)模集成電路晶體管(1947)(1962)(80年代)103105甚大規(guī)模集成電路巨大規(guī)模集成電路107109(70年代)(90年代)(現(xiàn)在)52晶體管創(chuàng)造1947年12月23日,美國(guó)貝爾試驗(yàn)室半導(dǎo)體小組做出世界上第一只含有放大作用點(diǎn)接觸型晶體三極管。1956年小組三位組員獲諾貝爾物理獎(jiǎng)。巴丁J.Bardeen布拉頓W.H.Brattain肖克利W.Shockley53每一個(gè)集成塊(圖中一個(gè)長(zhǎng)方形部分)約為手指甲大小,它有300多萬(wàn)個(gè)三極管。INMOST900微處理器54
同質(zhì)結(jié)激光器—由同種材料制成p-n結(jié)半導(dǎo)體激光器分兩類:
異質(zhì)結(jié)激光器—由兩種不一樣材料制成p-I-n
§4.7半導(dǎo)體激光器(補(bǔ)充)半導(dǎo)體激光器是光纖通訊中主要光源,在創(chuàng)建信息高速公路工程中起著極主要作用。(重?fù)诫s)結(jié)(I為本征半導(dǎo)體)55重?fù)诫spn滿帶空帶pn滿帶空帶普通摻雜1.同質(zhì)結(jié)激光器56加正向偏壓V
粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。
pn阻擋層E內(nèi)-++-+-+-+-E外E內(nèi)pn阻擋層+-----++++pn滿帶空帶eU0pn滿帶空帶e(U0-V)電子空穴復(fù)合發(fā)光,由自發(fā)輻射引發(fā)受激輻射。.57解理面p-n結(jié)p-n結(jié)它兩個(gè)端面就相當(dāng)于兩個(gè)反射鏡,光振蕩并利于選頻。.反射系數(shù),激
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