光波導(dǎo)理論優(yōu)選ppt資料

光波導(dǎo)(bōdǎo)理論第一頁(yè)，共43頁(yè)。教學(xué)(jiāoxué)目的通過本課程的學(xué)習(xí)，要求學(xué)生：了解集成光學(xué)的基本概念，熟練掌握光波在平板介質(zhì)波導(dǎo)中的傳輸特性掌握集成光波導(dǎo)器件(qìjiàn)的制備材料、典型結(jié)構(gòu)、工作原理及基本制備工藝過程，掌握光波導(dǎo)器件(qìjiàn)的參數(shù)測(cè)試技術(shù)，了解光波導(dǎo)技術(shù)的應(yīng)用及發(fā)展現(xiàn)狀。第二頁(yè)，共43頁(yè)。教學(xué)內(nèi)容第一章：集成(jíchénɡ)光學(xué)概論第二章：導(dǎo)波光學(xué)理論第一節(jié)平板光波導(dǎo)的射線光學(xué)分析（4學(xué)時(shí)）第二節(jié)平板光波導(dǎo)的波動(dòng)方程分析（4學(xué)時(shí)）第三節(jié)條形光波導(dǎo)的波動(dòng)方程分析（4學(xué)時(shí)）第四節(jié)耦合模理論（4學(xué)時(shí)）第三章：光波導(dǎo)器件與集成(jíchénɡ)技術(shù)（22學(xué)時(shí)）第一節(jié)集成(jíchénɡ)光學(xué)材料（2學(xué)時(shí)）第二節(jié)光波導(dǎo)的主要制作和集成(jíchénɡ)技術(shù)（8學(xué)時(shí)）第三節(jié)：光波導(dǎo)的損耗（1學(xué)時(shí)）第四節(jié)：光波導(dǎo)參數(shù)測(cè)試(1學(xué)時(shí))第五節(jié)集成(jíchénɡ)光波導(dǎo)器件(8學(xué)時(shí))第六節(jié)：集成(jíchénɡ)光學(xué)的應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì)(2學(xué)時(shí))第三頁(yè)，共43頁(yè)?？己朔绞脚c成績(jī)?cè)u(píng)定考核方式：閉卷筆試成績(jī)?cè)u(píng)定：平時(shí)考核成績(jī)（出勤，實(shí)踐表現(xiàn)及作業(yè)）占20%，期末考試成績(jī)占80%。教材及主要參考書目教材：光波導(dǎo)理論與技術(shù)，李玉權(quán)崔敏，人民郵電出版社，2002參考書：《IntegratedOptics:TheoryandTechnology》，sixthEdition,R.G.Hunsperger,SpringerVerlag,介質(zhì)光波導(dǎo)及其應(yīng)用,秦秉坤等, 北京理工大學(xué)出版社，1991光波導(dǎo)技術(shù)理論基礎(chǔ),葉培大等,北京郵電大學(xué)出版社,2002《OpticalIntegratedCircuits》，HiroshiNishihara,MasamitsuHaruna,ToshiakiSuhara，McGraw-HillProfessional,1989集成光學(xué)，蔡伯榮主編電子科技大學(xué)出版社出版，1998徐國(guó)昌,《光電子物理(wùlǐ)基礎(chǔ)》[M].東南大學(xué)出版社:2000.光波導(dǎo)模式理論，馬春生、劉式墉，吉林大學(xué)出版社，2006第四頁(yè)，共43頁(yè)。－導(dǎo)波光學(xué)（～20學(xué)時(shí)(xuéshí)）

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光波導(dǎo)理論緒論(xùlùn)年2月第五頁(yè)，共43頁(yè)。集成光學(xué)(guāngxué)概論1.1集成光學(xué)的概念1.2集成光學(xué)的特點(diǎn)1.3集成光學(xué)的發(fā)展(fāzhǎn)和現(xiàn)狀1.4研究集成光學(xué)的意義第六頁(yè)，共43頁(yè)?！?.1集成(jíchénɡ)光學(xué)的概念1.集成電路(jíchéng-diànlù)(integratedcircuit,IC)1957年，得克薩斯儀器公司的基爾畢(Kirby)發(fā)明(fāmíng)集成電路2006年，被集成的晶體管個(gè)數(shù)達(dá)到兩億個(gè)；今年，英特爾集成了23億個(gè)晶體管（目前最高水平）。“集成”成為了一種潛力難以估量的科學(xué)技術(shù)手段。1947年，貝爾研究所的肖克利（Shockley）、巴?。˙ardeen）、布拉頓（Brattain）發(fā)明晶體管第七頁(yè)，共43頁(yè)。HisideafoundedanewindustryHasNobelpriceinphysicsyear2000Thefirstintegratedcircuit第八頁(yè)，共43頁(yè)。2.集成(jíchénɡ)光學(xué)概念的提出集成光學(xué)的概念是1969年貝爾實(shí)驗(yàn)室的Miller博士提出的(IntegratedOptics:AnIntroduction,BellSystemTechnicalJournal,1969,48:2059~2061)集成光學(xué)發(fā)展(fāzhǎn)初期，華裔科學(xué)家田柄耕假借集成電路的概念，對(duì)集成光學(xué)歸納了三條定義：（1）光束能限制在光波導(dǎo)中傳播；（2）利用光波導(dǎo)可以制成各種光波導(dǎo)器件；（3）將光波導(dǎo)和光波導(dǎo)器件集成起來(lái)可構(gòu)成有特定功能的集成光路目前，“集成光學(xué)”的概念涵蓋廣泛的內(nèi)容。第九頁(yè)，共43頁(yè)。按集成的方式劃分：個(gè)數(shù)集成和功能集成按集成的類型劃分：光子集成回路（PIC）和光電子集成回路（OEIC）按集成的技術(shù)途徑劃分：?jiǎn)纹珊突旌?hùnhé)集成按研究?jī)?nèi)容劃分：導(dǎo)波光學(xué)和集成光路第十頁(yè)，共43頁(yè)。(1)集成光學(xué)(guāngxué)是在光電子學(xué)和微電子學(xué)基礎(chǔ)上，采用集成方法研究和發(fā)展光學(xué)(guāngxué)器件和混合光學(xué)(guāngxué)－電子學(xué)器件系統(tǒng)的一門新的學(xué)科。(2)集成光學(xué)(guāngxué)是研究介質(zhì)薄膜中的光學(xué)(guāngxué)現(xiàn)象，以及光學(xué)(guāngxué)元器件集成化的一門學(xué)科。(3)集成光學(xué)(guāngxué)是研究集成光路特性和制造技術(shù)以及與微電子學(xué)相結(jié)合的學(xué)科。第十一頁(yè)，共43頁(yè)。4.從四個(gè)方面(fāngmiàn)理解集成光學(xué)的概念：(a)理論基礎(chǔ)：光學(xué)和光電子學(xué)(b)工藝基礎(chǔ)：薄膜技術(shù)、微電子工藝(c)主要目的：實(shí)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)的薄膜化、微型化和集成化(d)主要應(yīng)用：光纖通信、光子計(jì)算機(jī)、光纖傳感、光學(xué)信息處理等第十二頁(yè)，共43頁(yè)。耦合損耗小，尺寸小，重量輕，功耗小，成批制備經(jīng)濟(jì)性好，可靠性高等。3集成光學(xué)(guāngxué)國(guó)際研究進(jìn)展1972年由光學(xué)協(xié)會(huì)(OpticalSocietyofAmerica)主辦召開了集成光學(xué)主題(zhǔtí)會(huì)議（TopicalMeetingonIntegratedOptics），這是關(guān)于集成光學(xué)研究的第一次會(huì)議，具有深遠(yuǎn)的意義；降低成本（制造、應(yīng)用、維護(hù)、升級(jí)）－導(dǎo)波光學(xué)（～20學(xué)時(shí)(xuéshí)）

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光電學(xué)院416房間83205564(1)光波在光波導(dǎo)中傳播，光波容易控制和保持其能量(néngliàng)。(1)集成光學(xué)已從實(shí)驗(yàn)室走向生產(chǎn)階段，從初期的純波導(dǎo)理論(lǐlùn)研究進(jìn)入集成光學(xué)器件和集成光路的設(shè)計(jì)、制作研究階段。幾乎沒有問題，通常進(jìn)行抽驗(yàn)經(jīng)過40年的發(fā)展，集成光學(xué)不再是當(dāng)初把幾個(gè)光學(xué)器件集成在一起的簡(jiǎn)單概念，而是一個(gè)集光學(xué)、激光、微電子學(xué)、光電子學(xué)、通信、薄膜技術(shù)等為一體(yītǐ)的獨(dú)立的交叉學(xué)科，是當(dāng)今光學(xué)和光電子學(xué)領(lǐng)域的發(fā)展前沿之一，是光學(xué)發(fā)展的必由之路和高級(jí)階段。了解光波導(dǎo)技術(shù)的應(yīng)用及發(fā)展現(xiàn)狀。中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所973計(jì)劃支持的光電子研究(yánjiū)項(xiàng)目（二）—年項(xiàng)目從1986年至今，國(guó)家自然科學(xué)委員會(huì)給光電子研究給予了大力支持，所資助的項(xiàng)目大約200多項(xiàng)，其中包括有源和無(wú)源器件及其集成相關(guān)的理論、方法、材料研究、器件與制作工藝研究及集成光學(xué)系統(tǒng)研究等。第三章：光波導(dǎo)器件與集成(jíchénɡ)技術(shù)（22學(xué)時(shí)）了解集成光學(xué)的基本概念，中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司集成光學(xué)(guāngxué)主要應(yīng)用（一）——光纖通信光集成器件是實(shí)現(xiàn)高速率大容量光通信網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵硬件和必由之路，包括高速響應(yīng)集成激光源、波導(dǎo)光柵(guāngshān)陣列密集波分復(fù)用器、窄帶響應(yīng)集成光電探測(cè)器、路由選擇的波長(zhǎng)變換器、快速響應(yīng)光開關(guān)矩陣、低損耗多址波導(dǎo)分束器等。第十三頁(yè)，共43頁(yè)。集成光學(xué)主要(zhǔyào)應(yīng)用（二）——光子計(jì)算機(jī)光子計(jì)算機(jī)：光子計(jì)算機(jī)是一種全新的計(jì)算機(jī)，是以光子作為主要的信息載體，以光子系統(tǒng)作為計(jì)算機(jī)的主體，以光運(yùn)算作為計(jì)算機(jī)運(yùn)算方式的計(jì)算機(jī)。光子計(jì)算機(jī)的優(yōu)點(diǎn)：(a)具有超高的運(yùn)算速度——串行電子計(jì)算機(jī)的極限速度是1010次/秒，而光子計(jì)算機(jī)的理論計(jì)算速度達(dá)1023次/秒，在技術(shù)上可實(shí)現(xiàn)1012~1015次/秒的計(jì)算速度(b)具有超并行性工作的能力(nénglì)(c)具有極高的信息存儲(chǔ)能力(nénglì)——比電子計(jì)算機(jī)高106~109倍。第十四頁(yè)，共43頁(yè)。集成(jíchénɡ)光學(xué)主要應(yīng)用（三）——光纖傳感光纖傳感器具有抗電磁干擾和原子輻射、重量輕、體積小、絕緣、耐高溫、耐腐蝕等眾多優(yōu)異的性能，能夠?qū)?yīng)變、壓力、溫度、振動(dòng)、聲場(chǎng)、折射率、加速度、電壓、氣體等各種參數(shù)進(jìn)行精確測(cè)量，能夠適應(yīng)極端惡劣的環(huán)境。同時(shí)，由于光纖傳輸損耗低、頻帶(píndài)寬，使得光纖傳感器在組網(wǎng)和傳輸距離方面，與傳統(tǒng)的傳感器相比具有無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì)。第十五頁(yè)，共43頁(yè)。經(jīng)過40年的發(fā)展，集成光學(xué)不再是當(dāng)初把幾個(gè)光學(xué)器件集成在一起的簡(jiǎn)單概念，而是一個(gè)集光學(xué)、激光、微電子學(xué)、光電子學(xué)、通信、薄膜技術(shù)等為一體(yītǐ)的獨(dú)立的交叉學(xué)科，是當(dāng)今光學(xué)和光電子學(xué)領(lǐng)域的發(fā)展前沿之一，是光學(xué)發(fā)展的必由之路和高級(jí)階段。第十六頁(yè)，共43頁(yè)?！?.2集成(jíchénɡ)光學(xué)的特點(diǎn)第十七頁(yè)，共43頁(yè)。1.2.1集成光學(xué)系統(tǒng)與離散光學(xué)器件(qìjiàn)系統(tǒng)的比較

(1)光波在光波導(dǎo)中傳播，光波容易控制和保持其能量(néngliàng)。(2)集成化帶來(lái)的穩(wěn)固定位。(3)器件尺寸和相互作用長(zhǎng)度縮短；相關(guān)的電子器件的工作電壓也較低。(4)功率密度高。沿波導(dǎo)傳輸?shù)墓獗幌拗圃讵M小的局部空間，導(dǎo)致較高的功率密度，容易達(dá)到必要的器件工作閾值和利用非線性效應(yīng)工作。(5)體積小，重量輕。集成光學(xué)器件一般集成在厘米尺度的襯底上，其體積小，重量輕。第十八頁(yè)，共43頁(yè)。1.2.2集成光路與集成電路(jíchéng-diànlù)的比較用集成光路代替集成電路的優(yōu)點(diǎn)包括帶寬增加(zēngjiā)，波分復(fù)用，多路開關(guān)。耦合損耗小，尺寸小，重量輕，功耗小，成批制備經(jīng)濟(jì)性好，可靠性高等。由于光和物質(zhì)的多種相互作用，還可以在集成光路的構(gòu)成中，利用諸如光電效應(yīng)、電光效應(yīng)、聲光效應(yīng)、磁光效應(yīng)、熱光效應(yīng)等多種物理效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)新型的器件功能。把激光器、調(diào)制器、探測(cè)器等有源器件集成在同一襯底上，并用光波導(dǎo)、隔離器、耦合器和濾波器等無(wú)源(wúyuán)器件連接起來(lái)構(gòu)成的微型光學(xué)系統(tǒng)稱為集成光路，以實(shí)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)的薄膜化、微型化和集成化。第十九頁(yè)，共43頁(yè)。1光波導(dǎo)具有非常寬的帶寬2光子器件中光子運(yùn)動(dòng)速度比電子器件中電子高得多，而且沒有導(dǎo)線電容和電感對(duì)頻率的限制3在同一光路上可以傳輸和處理多個(gè)或多頻率的信號(hào)，即實(shí)現(xiàn)“波分多路復(fù)用”4在空間上可以實(shí)現(xiàn)一維或二維以致三維立體的多路陣列傳輸及存儲(chǔ)、處理5較小的尺寸、重量，較低功耗6成批制造的前景和經(jīng)濟(jì)性7改善可靠性8改善光學(xué)連接及對(duì)準(zhǔn)的穩(wěn)定性和可靠性，避免由于震動(dòng)帶來(lái)的系統(tǒng)不穩(wěn)定或失敗9降低成本（制造、應(yīng)用、維護(hù)、升級(jí)）集成(jíchénɡ)光路的優(yōu)點(diǎn)第二十頁(yè)，共43頁(yè)。光元器件與電子(diànzǐ)元器件的特性比較特征項(xiàng)光元器件電子元器件(a)基本作用光波導(dǎo)中的光傳輸及光與電子/晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳輸與控制(b)基本元器件光波導(dǎo)，半導(dǎo)體激光器等晶體管、電阻、電容(c)元器件尺寸（厚度方向）波長(zhǎng)（微米）量級(jí)，個(gè)別達(dá)到納米量級(jí)數(shù)十納米至數(shù)微米(d)元器件尺寸（長(zhǎng)度方向）微米至數(shù)毫米，個(gè)別達(dá)到納米級(jí)數(shù)十納米至數(shù)微米(e)與其他部件的連接稍難——需要精密的位置精度（μm），光波導(dǎo)容易-——電氣布線，導(dǎo)體(f)元器件可靠性有問題，通常需要檢測(cè)全部元器件幾乎沒有問題，通常進(jìn)行抽驗(yàn)(g)元器件制造工藝多樣，研究開發(fā)中基本平面工藝，已成熟第二十一頁(yè)，共43頁(yè)?！?.3集成光學(xué)的發(fā)展(fāzhǎn)和現(xiàn)狀1962年開發(fā)出了第一個(gè)半導(dǎo)體同質(zhì)結(jié)激光二極管，但其效率較低，閾值電流較大，不能在室溫下連續(xù)(liánxù)工作。1967年異質(zhì)結(jié)外延生長(zhǎng)技術(shù)的出現(xiàn)，拉開(lākāi)了半導(dǎo)體激光器實(shí)用化的序幕。1969年，S.E.Miller提出“集成光學(xué)”概念1970年實(shí)現(xiàn)了激光二極管的室溫連續(xù)工作。此后，分布反饋式和分布布拉格反射器式激光器、量子阱和應(yīng)變量子阱激光器、垂直腔面發(fā)射激光器、半導(dǎo)體激光器陣列等半導(dǎo)體激光器、半導(dǎo)體光放大器和集成光源不斷涌現(xiàn)，為集成光學(xué)長(zhǎng)遠(yuǎn)的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。1.3.1發(fā)展簡(jiǎn)史第二十二頁(yè)，共43頁(yè)。1972年，Somekh和Yariv提出了在同一個(gè)半導(dǎo)體襯底上同時(shí)集成(jíchénɡ)光器件和電子器件的構(gòu)想。1987年，Yablonovitch和John大約同時(shí)提出(tíchū)了光子晶體（photoniccrystal,PC）的概念。2003年，科學(xué)家開發(fā)出制備納米線的新方法(fāngfǎ)。納米線提供了尺度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于光波長(zhǎng)的導(dǎo)光結(jié)構(gòu)，它與有關(guān)納米尺度的微腔和激光器的技術(shù)配合，可望用于制作各種納米光集成器件。目前，集成光學(xué)主要是研究和開發(fā)光通信、光學(xué)信息處理、光子計(jì)算機(jī)和光傳感等所需要的多功能、穩(wěn)定、可靠的光集成體系和混合光電集成體系等。1970年研制成功了低損耗光纖，目前光纖的傳輸損耗已經(jīng)降低到了0.2dB/km以下。

第二十三頁(yè)，共43頁(yè)。第二十四頁(yè)，共43頁(yè)。(1)集成光學(xué)已從實(shí)驗(yàn)室走向生產(chǎn)階段，從初期的純波導(dǎo)理論(lǐlùn)研究進(jìn)入集成光學(xué)器件和集成光路的設(shè)計(jì)、制作研究階段。(2)已從單一的玻璃或鈮酸鋰材料發(fā)展到今天的多種材料，特別是硅基和聚合物基材料的開發(fā)為集成光學(xué)進(jìn)入工程應(yīng)用打下了基礎(chǔ)。(3)以III－V族半導(dǎo)體為襯底的集成光學(xué)達(dá)到迅猛發(fā)展。(4)目前集成光學(xué)已進(jìn)入實(shí)質(zhì)的工程應(yīng)用，光通信和光信息處理是集成光學(xué)兩大類重要應(yīng)用領(lǐng)域。第二十五頁(yè)，共43頁(yè)。第二十六頁(yè)，共43頁(yè)。1.3.3集成光學(xué)(guāngxué)國(guó)際研究進(jìn)展主要集中在理論(lǐlùn)與器件兩個(gè)方面：1.理論研究熱點(diǎn)主要集中在以下(yǐxià)兩個(gè)方面：1）圍繞新型集成光學(xué)器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、功能模擬與特性參數(shù)的計(jì)算等是目前集成光學(xué)理論研究的一個(gè)熱點(diǎn)。理論上對(duì)于集成器件的結(jié)構(gòu)和性能模擬通常使用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與數(shù)值計(jì)算的方法，如傳遞矩陣法（TMM）、光束傳播法（BPM）、時(shí)域有限差分法（FDTD）和有限元法（FEM）等都有效地用于集成光學(xué)器件的模擬與計(jì)算，并用于實(shí)現(xiàn)集成器件結(jié)構(gòu)的優(yōu)化。設(shè)計(jì)方法有兩類：一是從基本原理入手，設(shè)計(jì)具有一定功能的光學(xué)器件；二是直接從功能角度出發(fā)，以提高器件性能，減少器件損耗，或者使器件性能具備特色等。第二十七頁(yè)，共43頁(yè)。對(duì)于集成光學(xué)器件特性參數(shù)的分析是理論研究的另一個(gè)熱點(diǎn)，研究其特性參數(shù)及其相互關(guān)系，分析其中相互作用，有利于深入剖析物理(wùlǐ)概念。2）基礎(chǔ)理論研究(yánjiū)主要集中在兩類：一是基于固體物理學(xué)的基本理論和方法，研究和探討制作微觀集成(jíchénɡ)光學(xué)器件的可能性；二是基于波動(dòng)光學(xué)的理論和方法，從導(dǎo)波光學(xué)的角度來(lái)研究集成(jíchénɡ)光學(xué)器件。2.集成光學(xué)器件的研究進(jìn)展1）目前大部分集成光學(xué)器件的研究仍集中在光通信領(lǐng)域：高速響應(yīng)、低啁啾、單穩(wěn)頻集成激光器，可調(diào)諧激光器，多波長(zhǎng)DFB激光器陣列，窄帶響應(yīng)可調(diào)諧集成光子探測(cè)器，高速單片集成光接收器，AWG第二十八頁(yè)，共43頁(yè)。2）集成(jíchénɡ)光學(xué)傳感器3）其他集成光學(xué)器件：MEMS，混合集成光隔離器，聚合物光波導(dǎo)(bōdǎo)光束偏轉(zhuǎn)器等4）納米(nàmǐ)光子學(xué)第二十九頁(yè)，共43頁(yè)?！?.4研究集成(jíchénɡ)光學(xué)的意義人類進(jìn)入一個(gè)高度信息化的社會(huì)，由Tb/s信息傳輸、Tb/s信息處理和Tbit信息存儲(chǔ)所構(gòu)成的三“T”模式(móshì)將成為人類數(shù)字化生活最顯著的標(biāo)志。信息光電子技術(shù)也是保障國(guó)防(guófáng)安全的核心技術(shù)之一。光電子技術(shù)在未來(lái)的信息社會(huì)中必將扮演重要的角色，將成為21世紀(jì)的基石和支柱之一。集成光學(xué)作為現(xiàn)代光電子學(xué)的一個(gè)重要分支，各國(guó)從事光電子、光信息系統(tǒng)研究的專家、學(xué)者都意識(shí)到了集成光學(xué)系統(tǒng)的重要性。第三十頁(yè)，共43頁(yè)。1972年由光學(xué)協(xié)會(huì)(OpticalSocietyofAmerica)主辦召開了集成光學(xué)主題(zhǔtí)會(huì)議（TopicalMeetingonIntegratedOptics），這是關(guān)于集成光學(xué)研究的第一次會(huì)議，具有深遠(yuǎn)的意義；后改名為IntegratedandGuidedWaveOptics（IGWO）；1990年起又更名為IntegratedPhotonicsResearch（IPR），每年召開一次。第一屆集成光學(xué)(guāngxué)和光纖通信國(guó)際會(huì)議（IOOC）于1977年在東京召開，從此每隔一年召開一次。把OEC（OptoelectronicsConference，光電子學(xué)會(huì)議）作為(zuòwéi)國(guó)內(nèi)的會(huì)議，從1986年起隔一年召開一次。第三十一頁(yè)，共43頁(yè)。歐洲每年還要召開歐洲集成(jíchénɡ)光學(xué)會(huì)議ECIO（EuropeanConferenceonIntegratedOptics）。我國(guó)，集成光學(xué)的研究是從1970年開始的，發(fā)展也十分迅速。1981年召開第一屆全國(guó)集成光學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議，此后，每隔一年召開一次。1986年，我國(guó)啟動(dòng)的“863”計(jì)劃中，將光電子器件及其集成技術(shù)(jìshù)選為信息領(lǐng)域的三大主題之一。從1986年至今，國(guó)家自然科學(xué)委員會(huì)給光電子研究給予了大力支持，所資助的項(xiàng)目大約200多項(xiàng)，其中包括有源和無(wú)源器件及其集成相關(guān)的理論、方法、材料研究、器件與制作工藝研究及集成光學(xué)系統(tǒng)研究等。第三十二頁(yè)，共43頁(yè)。973計(jì)劃支持(zhīchí)的光電子研究項(xiàng)目（一）——1998~2007年第三十三頁(yè)，共43頁(yè)。973計(jì)劃支持的