擴(kuò)散間注意事項(xiàng)

注意事項(xiàng)第1頁(yè)，共26頁(yè)。生產(chǎn)注意事項(xiàng)恒溫箱注意事項(xiàng)工藝衛(wèi)生注意事項(xiàng)違規(guī)作業(yè)第2頁(yè)，共26頁(yè)。生產(chǎn)注意事項(xiàng)第3頁(yè)，共26頁(yè)。1.按工藝要求調(diào)整原始硅片電阻率測(cè)量電流。2.測(cè)量方塊電阻時(shí)按工藝要求校準(zhǔn)電流。3.按工藝要求精確測(cè)量方塊電阻。

第4頁(yè)，共26頁(yè)。4.正常運(yùn)行工藝時(shí)，舟不能自動(dòng)進(jìn)出。應(yīng)：有可能是面板上的“急停”按紐處按下去了。限位開(kāi)關(guān)未復(fù)位或損壞。保險(xiǎn)絲燒斷，由設(shè)備換保險(xiǎn)。第5頁(yè)，共26頁(yè)。5.換POCL３時(shí)，由于誤操作，將軟管接反源倒流，應(yīng)：立即關(guān)閉?。?，把軟管卸下，用帶有酒精的抹布擦拭。聯(lián)系工藝人員更換軟管。將Ｏ2打開(kāi)至工藝標(biāo)準(zhǔn)。正確裝好再做鼓泡實(shí)驗(yàn)。第6頁(yè)，共26頁(yè)。6．換源時(shí)搬運(yùn)源瓶，閥門(mén)有液體滴下，應(yīng)：

立即將出氣口開(kāi)至最大，（進(jìn)氣口也必須開(kāi)），使源瓶?jī)?nèi)部壓力保持平衡。如液面仍偏高，則可將源瓶微微傾斜，待源慢慢回流到瓶子里。第7頁(yè)，共26頁(yè)。恒溫箱注意事項(xiàng)第8頁(yè)，共26頁(yè)。恒溫箱界面第9頁(yè)，共26頁(yè)。恒溫箱采用水冷方式。擴(kuò)散源溫控制在20度±0.5度，使用時(shí)恒溫箱中需加入一定量的水，并要注意液位的變化，過(guò)高會(huì)溢出造成電器的短路，過(guò)低會(huì)造成源溫不受控，更換源瓶時(shí)需相應(yīng)加水或抽水。此外，還應(yīng)視水質(zhì)狀況進(jìn)行定期換水。第10頁(yè)，共26頁(yè)。工藝衛(wèi)生注意事項(xiàng)第11頁(yè)，共26頁(yè)。進(jìn)入擴(kuò)散間時(shí)必須穿潔凈服、并穿戴一次性鞋套。第12頁(yè)，共26頁(yè)。進(jìn)入風(fēng)淋門(mén)前要按要求穿戴好，雙臂上舉，旋轉(zhuǎn)風(fēng)淋30秒。第13頁(yè)，共26頁(yè)。違規(guī)作業(yè)嚴(yán)禁生產(chǎn)中出現(xiàn)此類(lèi)行為第14頁(yè)，共26頁(yè)。工序安全嚴(yán)禁作業(yè)更換過(guò)源瓶后必須對(duì)源瓶軟管進(jìn)行檢查，以防止軟管老化，導(dǎo)致源外泄！第15頁(yè)，共26頁(yè)。以下是更換源瓶時(shí)沒(méi)有穿防護(hù)服!第16頁(yè)，共26頁(yè)。以下是更換源瓶時(shí)沒(méi)有戴好防毒面具穿防護(hù)服!第17頁(yè)，共26頁(yè)。禁止一只手拿兩個(gè)盒子！第18頁(yè)，共26頁(yè)。工序6S嚴(yán)禁作業(yè)禁止用舟叉點(diǎn)擊界面！第19頁(yè)，共26頁(yè)。禁止兩個(gè)傳遞窗同時(shí)打開(kāi)！第20頁(yè)，共26頁(yè)。禁止用手直接與石英舟接觸！第21頁(yè)，共26頁(yè)。禁止不穿潔凈鞋進(jìn)入擴(kuò)散間！第22頁(yè)，共26頁(yè)。禁止把柜子門(mén)打開(kāi)！第23頁(yè)，共26頁(yè)。禁止把擴(kuò)散間與刻蝕間的門(mén)同時(shí)打開(kāi)！第24頁(yè)，共26頁(yè)。第25頁(yè)，共26頁(yè)。內(nèi)容梗概注意事項(xiàng)。5.換POCL３時(shí)，由于誤操作，將軟管接反源倒流，應(yīng)：。立即關(guān)閉小Ｎ2，把軟管卸下，用帶有酒精的抹布擦拭。6．換源時(shí)搬運(yùn)源瓶，閥門(mén)有液體滴下，應(yīng)：。立即將出氣口開(kāi)至最大，（進(jìn)氣口也必須開(kāi)），使源瓶?jī)?nèi)部壓力保持平衡。如液面仍偏高，則可將源瓶微微傾斜，待源慢慢回流到瓶子里。進(jìn)入風(fēng)淋門(mén)前要按要求穿戴好，雙臂上舉，旋轉(zhuǎn)風(fēng)淋30秒。更換過(guò)源瓶