無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)

無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)資料僅供參考文件編號：2022年4月無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)版本號：A修改號：1頁次：1.0審核：批準(zhǔn):發(fā)布日期：半導(dǎo)體工業(yè)是極精密的工業(yè)，當(dāng)我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進行，集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資，多因為需要一個無塵室。

所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。由于奈米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalStandard(FS)209E,1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是μm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在μm(塵粒尺寸在μm或更大下，密度不大于75顆/立方英)，1級在μm(塵粒尺寸在μm或更大下，密度不大于35顆/立方英)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。為保持無塵室的潔凈度，進出的人員有一定的穿著規(guī)定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義：

塵粒數(shù)／立方英

級數(shù)μmμmμmμmμm

13531N/A

10350753010N/A

100N/A750300100N/A

1000N/AN/AN/A10007

10000N/AN/AN/A1000070

100000N/AN/AN/A100000700環(huán)境介紹及溫溼度條件:4.1.1無塵室是以美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)做為分級的規(guī)範(fàn)，外層無塵室,內(nèi)層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室的微粒為10K級,5um微粒為100K級。4.1.2無塵室溫度規(guī)定22±2℃，濕度規(guī)定55±4.1.3無塵室內(nèi)部保持正壓,出風(fēng)口風(fēng)速-0.5ms,防止外面空氣進入無塵室.10K級無塵室的微粒不大於10000顆/ft3,5um微粒不大於70顆/ft100K級無塵室的微粒不大於100000顆/ft3,,5um微粒不大於700顆/ft環(huán)境介紹及溫溼度條件:4.1.1無塵室是以美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)做為分級的規(guī)範(fàn)，外層無塵室,內(nèi)層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室的微粒為10K級,5um微粒為100K級。4.1.2無塵室溫度規(guī)定22±2℃，濕度規(guī)定55±4.1.3無塵室內(nèi)部保持正壓,出風(fēng)口風(fēng)速-0.5ms,防止外面空氣進入無塵室.10K級無塵室的微粒不大於10000顆/ft3,5um微粒不大於70顆/ft100K級無塵室的微粒不大於100000顆/ft3,,5um微粒不大於700顆/ft操作注意事項：4.3.1人員進入無塵室，一律穿著連身式無塵衣，並換無塵鞋。4.3.2無塵衣穿著一律在更衣室進行。4.3.3嚴(yán)禁操作人員戴戒指、手錶等手飾.。4.3.4在無塵室內(nèi)嚴(yán)禁脫掉無塵衣，或捲起衣袖，脫帽。4.3.6無塵室作業(yè)人員接觸pcb時一律佩帶手套,每週一﹑四更換,作業(yè)過程中如有損壞或污染立即更換。進出物的管制及要求:4.4.1嚴(yán)禁攜帶食物、飲料及私入紙類進入無塵室。4.4.2基板的拿取，操作人員要戴無塵手套。4.4.3自冷藏室取出的乾膜置