激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件

激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的使用加工中心項(xiàng)目部梁昌龍2011.12.24激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的使用1檢測(cè)步驟1.安裝激光干涉儀2對(duì)光÷3.生成檢測(cè)程式4.開(kāi)始檢測(cè)反向間隙5.數(shù)據(jù)分析6.補(bǔ)正反向間隙7開(kāi)始檢測(cè)絲桿螺距誤差÷8數(shù)據(jù)分析9.補(bǔ)正絲桿螺距誤差10.驗(yàn)證補(bǔ)正的效果檢測(cè)步驟21.硬件組成及連接線性干渺鏡出性反射鏡光宇鏡安裝組件移動(dòng)方向C補(bǔ)信單元被光頭空氣濕度傳感器1.硬件組成及連接31.2三腳架支小型三腳架1.2三腳架41.2.1云臺(tái)調(diào)整架高度調(diào)整名研水平平移調(diào)整角度偏轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)調(diào)整ma*。令角度俯仰調(diào)整1.2.1云臺(tái)調(diào)整架51.3.1線性測(cè)量鏡組線性辰射汁光貿(mào)÷分光鏡兩個(gè)線性反射鏡÷兩個(gè)光靶以助于光光交學(xué)準(zhǔn)直圖1一線性測(cè)量鏡組1.3.1線性測(cè)量鏡組61.32鏡組安裝組件運(yùn)配器圖1一組安裝組件1.32鏡組安裝組件71.4環(huán)境補(bǔ)償單元空氣壓力可度Accuracy:±1.0mbarAccuracy:土6%村料溫度氣溫度OAccuracy:t02C1.4環(huán)境補(bǔ)償單元81.4.1空氣溫度及材料傳感器1.4.1空氣溫度及材料傳感器91.42XC補(bǔ)償單元端面狀態(tài)LED指燈校灌日無(wú)神CALIBRATION●垂斬板準(zhǔn)日期1.42XC補(bǔ)償單元端面10激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件11激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件12激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件13激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件14激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件15激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件16激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件17激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件18激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件19激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件20激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件21激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件22激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件23激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件24激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件25激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件26激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件27激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件28激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件29激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件30激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件31激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件32激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件33激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件34激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件35激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件36激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件37激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件38激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件39激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件40激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件41激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件42激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件43激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件44激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件45激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件46激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件47激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件48激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件49激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件50激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件51激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件52激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件53激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件54激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件55激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件56激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件57激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件58激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件59激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件60激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件61激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件62激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件63激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件64激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件65激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件66激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件67激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件68激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的使用加工中心項(xiàng)目部梁昌龍2011.12.24激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的使用69檢測(cè)步驟1.安裝激光干涉儀2對(duì)光÷3.生成檢測(cè)程式4.開(kāi)始檢測(cè)反向間隙5.數(shù)據(jù)分析6.補(bǔ)正反向間隙7開(kāi)始檢測(cè)絲桿螺距誤差÷8數(shù)據(jù)分析9.補(bǔ)正絲桿螺距誤差10.驗(yàn)證補(bǔ)正的效果檢測(cè)步驟701.硬件組成及連接線性干渺鏡出性反射鏡光宇鏡安裝組件移動(dòng)方向C補(bǔ)信單元被光頭空氣濕度傳感器1.硬件組成及連接711.2三腳架支小型三腳架1.2三腳架721.2.1云臺(tái)調(diào)整架高度調(diào)整名研水平平移調(diào)整角度偏轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)調(diào)整ma*。令角度俯仰調(diào)整1.2.1云臺(tái)調(diào)整架731.3.1線性測(cè)量鏡組線性辰射汁光貿(mào)÷分光鏡兩個(gè)線性反射鏡÷兩個(gè)光靶以助于光光交學(xué)準(zhǔn)直圖1一線性測(cè)量鏡組1.3.1線性測(cè)量鏡組741.32鏡組安裝組件運(yùn)配器圖1一組安裝組件1.32鏡組安裝組件751.4環(huán)境補(bǔ)償單元空氣壓力可度Accuracy:±1.0mbarAccuracy:土6%村料溫度氣溫度OAccuracy:t02C1.4環(huán)境補(bǔ)償單元761.4.1空氣溫度及材料傳感器1.4.1空氣溫度及材料傳感器771.42XC補(bǔ)償單元端面狀態(tài)LED指燈校灌日無(wú)神CALIBRATION●垂斬板準(zhǔn)日期1.42XC補(bǔ)償單元端面78激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件79激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件80激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件81激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件82激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件83激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件84激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件85激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件86激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件87激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件88激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件89激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件90激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件91激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件92激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件93激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件94激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件95激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件96激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件97激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件98激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件99激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件100激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件101激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件102激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件103激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件104激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件105激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件106激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件107激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件108激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件109激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件110激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件111激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件112激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件113激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件114激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件115激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件116激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件117激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件118激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件119激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件120激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件121激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件122激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件123激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件124激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件125激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件126激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)上的應(yīng)用課件127激光干涉儀在線性測(cè)長(zhǎng)