微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件

微電機研究的最新動戀與應(yīng)用展詹瓊?cè)A教授、博士生導(dǎo)師2019,10微電機研究的最新動1微電機的基本特征和主要類型微電機的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀微電機的應(yīng)用前景微電機研究面臨的問題和發(fā)展趨勢微電機的基本特征和主要類型2微電機的基本特征1.微型化微型化途徑:條是驅(qū)動原理和結(jié)構(gòu)沿襲已有的中小電機,并加以微型化如磁盤驅(qū)動、攝像機、電動玩具以及辦公自動化機器中的步進電機和直流電機條是采用新的功能材料開發(fā)新的驅(qū)動原理,制作成各種結(jié)構(gòu)型式的微電機。如壓電超聲電機、靜電電機以及利用形狀記憶合金、超磁致伸縮器件層疊式壓電振子、人工肌筋等開發(fā)的各種微驅(qū)動器微電機的基本特征3微電機的基本特征2.微電杌兼有驅(qū)動和精密控制雙重功能驅(qū)動可以是直線、旋轉(zhuǎn)或多自由度的控制目標(biāo)可以是位置、速度或力(力矩)3.基本的性能要求在體積小重量輕的前提下,能產(chǎn)生較大的運動位移量,并輸出較大的功率功耗小;控制精度高、響應(yīng)快。微電機的基本特征4微電機的主要類靜電式電磁式超磁致伸縮式壓電形狀記憶合金式仿生電機、光熱電機等靜電式和電磁式的轉(zhuǎn)子/定子間為非接觸驅(qū)動形狀記憶合金式為直接驅(qū)動壓電式和超磁致伸縮式為接觸式驅(qū)動,并具有保持力微電機的主要類5微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件6微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件7微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件8微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件9微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件10微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件11微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件12微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件13微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件14微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件15微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件16微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件17微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件18微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件19微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件20微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件21微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件22微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件23微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件24微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件25微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件26微電機研究的最新動戀與應(yīng)用展詹瓊?cè)A教授、博士生導(dǎo)師2019,10微電機研究的最新動27微電機的基本特征和主要類型微電機的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀微電機的應(yīng)用前景微電機研究面臨的問題和發(fā)展趨勢微電機的基本特征和主要類型28微電機的基本特征1.微型化微型化途徑:條是驅(qū)動原理和結(jié)構(gòu)沿襲已有的中小電機,并加以微型化如磁盤驅(qū)動、攝像機、電動玩具以及辦公自動化機器中的步進電機和直流電機條是采用新的功能材料開發(fā)新的驅(qū)動原理,制作成各種結(jié)構(gòu)型式的微電機。如壓電超聲電機、靜電電機以及利用形狀記憶合金、超磁致伸縮器件層疊式壓電振子、人工肌筋等開發(fā)的各種微驅(qū)動器微電機的基本特征29微電機的基本特征2.微電杌兼有驅(qū)動和精密控制雙重功能驅(qū)動可以是直線、旋轉(zhuǎn)或多自由度的控制目標(biāo)可以是位置、速度或力(力矩)3.基本的性能要求在體積小重量輕的前提下,能產(chǎn)生較大的運動位移量,并輸出較大的功率功耗小;控制精度高、響應(yīng)快。微電機的基本特征30微電機的主要類靜電式電磁式超磁致伸縮式壓電形狀記憶合金式仿生電機、光熱電機等靜電式和電磁式的轉(zhuǎn)子/定子間為非接觸驅(qū)動形狀記憶合金式為直接驅(qū)動壓電式和超磁致伸縮式為接觸式驅(qū)動,并具有保持力微電機的主要類31微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件32微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件33微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件34微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件35微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件36微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件37微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件38微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件39微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件40微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件41微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件42微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件43微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件44微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件45微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件46微電機研究動態(tài)與應(yīng)用展望課件4