RENA清洗區(qū)域機(jī)臺培訓(xùn)課件

2015年清洗區(qū)域安全知識培訓(xùn)設(shè)備部1、使用具有腐蝕性的化學(xué)品時需要具備足夠的防護(hù)措施，建議使用抗腐蝕的蓋板、衣服、鞋、手套和護(hù)目鏡。此外，需確保自己一旦發(fā)生事故的情況下，能找到適當(dāng)?shù)木o急噴淋沖洗設(shè)施。2、

決不在機(jī)器內(nèi)單獨(dú)工作。

3、不要打開或去除正在運(yùn)行的設(shè)備蓋板，因?yàn)槠鋬?nèi)部蒸汽為危險性的酸或堿。

一般規(guī)章開關(guān)機(jī)步驟開機(jī)：1確認(rèn)外圍設(shè)施已經(jīng)就緒（電已接通、純水壓力在4Bar，溫度在20度、氣壓在6Bar）。

2打開電源總開關(guān)，開啟制冷裝置開關(guān)。

3打開電腦主機(jī)開關(guān)，打開顯示屏開關(guān)。

4啟動軟件，設(shè)置成手動狀態(tài)。5根據(jù)工藝要求調(diào)整機(jī)器狀態(tài)。6檢查是否有報警現(xiàn)象并根據(jù)實(shí)際情況予以解決。

1.確認(rèn)各槽生產(chǎn)條件是否具備（液位是否達(dá)到要求，循環(huán)泵是否開啟，是否處于激活狀態(tài)。）2.將各段滾輪關(guān)閉，且ACD解鎖（因ACD與第三道滾輪互鎖）。3切換到auto模式，開始生產(chǎn)。開始生產(chǎn)須知主操作界面刻蝕槽溫度堿槽溫度循環(huán)流量刻蝕槽壽命酸、堿槽壽命風(fēng)刀功率帶數(shù)帶數(shù)Manual界面Etchbath刻蝕槽，是整個設(shè)備的核心部分，作用是去除背結(jié)、邊緣絕緣；主要含有DI水、H2SO4、HF、HNO3、按一定比例混合均勻后配成。反應(yīng)溫度通常在5～8度。

主要反應(yīng)方程式有：1:Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O2:SiO2+4HF=SiF4+2H2O3:SiF4+HF=H2SiF6其余副反應(yīng)：1.1:NO2+H2O=HNO3+HNO21.2:Si+HNO2=SiO2+NO+H2O1.3:HNO3+NO+H2O=HNO2H2SO4的作用增加溶液的表面張力，防止過刻。與前清洗相比，后清洗硝酸與HF的比例要大的多，主要是目的不一樣，后清洗要求背面做的越光越好，這樣可以增加開壓。影響腐蝕量主要因素：1，溶液溫度；2，反應(yīng)時間（速度）；3，溶液濃度左起相應(yīng)的功能鍵有：Modeman：手動模式Modeauto：自動模式PTfillingDI：加DI水rinsingbath：清洗槽PTfillingchemical：加化學(xué)品rinsingbathstopSystemrinsing：系統(tǒng)清洗fillbath：由罐向槽打液Systemdraining：系統(tǒng)排放drainbath：由槽向罐Bathchange：內(nèi)外槽更換排液Startmainfunction：啟動主功能

儲液罐堿槽堿槽：中和前道殘留酸；去除多孔硅儲液罐酸槽酸槽：去除氧化層，形成疏水面更易吹干表面。滾軸可以單獨(dú)控制，也可以全部一起控制Recipe界面堿槽壽命配槽濃度堿槽溫度酸槽壽命配槽濃度配槽濃度RENA工藝異常處理腐蝕厚度異常檢查藥液是否快到壽命調(diào)整滾輪速度厚度偏小調(diào)慢，偏大調(diào)快調(diào)整制絨槽溫度厚度偏小調(diào)高，偏大調(diào)低制絨槽手動補(bǔ)藥（上述調(diào)節(jié)無效時采取該措施）適當(dāng)工藝調(diào)整檢查滾輪水平，確保硅片下表面完全接觸藥液提前換藥通知設(shè)備調(diào)節(jié)是否否是正常生產(chǎn)跑假片有效有效有效有效1)滾輪速度與刻蝕槽溫度可直接在主操作界面對應(yīng)單元中修正。2)腐蝕厚度過小時，刻蝕槽可按照設(shè)定比例同時補(bǔ)加HNO3和HF，也可根據(jù)實(shí)際腐蝕量的情況確定補(bǔ)加量，但是單次補(bǔ)加量不宜過多。建議每次按HNO33L，HF1L的量去加，同時可在保證不過刻的情況下，適當(dāng)提高流量。

3)腐蝕厚度過大時，一般不建議補(bǔ)加DIwater，如需補(bǔ)加DIwater，則僅允許少量補(bǔ)加，以免造成過刻。后清洗刻蝕異?？涛g線過寬（過刻）邊緣刻蝕不足更換刻蝕槽藥液檢查刻蝕槽藥液質(zhì)量

是否長時間停產(chǎn)藥液揮發(fā)嚴(yán)重

是否接近藥液使用壽命

正常生產(chǎn)調(diào)節(jié)排風(fēng)調(diào)節(jié)流量調(diào)節(jié)放片間距刻蝕槽適當(dāng)補(bǔ)加藥液對切確認(rèn)擴(kuò)散工藝是否匹配隔離來料，通知工藝工程師無效無效無效無效否有效有效有效有效有效藥液正常無效1，刻蝕不足或過刻時，在藥液情況正常時，首先應(yīng)調(diào)節(jié)排風(fēng)，使液面平穩(wěn)地逆硅片運(yùn)動方向流動。2，液位太高或太低，工藝調(diào)節(jié)無效果時，可通知設(shè)備人員適當(dāng)調(diào)節(jié)擋板高度。3，如過刻或刻蝕不足集中在某一道或某幾道出現(xiàn)，很可能是該道滾輪不平造成，通知設(shè)備調(diào)節(jié)滾輪水平。4，擴(kuò)散工藝造成擴(kuò)散后表面氧化層較厚時，由于氧化層較硅片親水，故易因藥液浸潤造成每批都有大量過刻，同時調(diào)節(jié)工藝后無任何明顯改善。此時應(yīng)與擴(kuò)散工序協(xié)調(diào)改善?？涛g線發(fā)黑刻蝕線不均勻或部分區(qū)域存在過刻后清洗刻蝕異常檢查Rinse1和堿槽的噴淋角度和流量檢查Rinse1和堿槽的濾芯是否失效請設(shè)備人員協(xié)助調(diào)節(jié)請設(shè)備人員更換濾芯堿槽適量補(bǔ)堿正常生產(chǎn)檢查滾輪是否水平調(diào)節(jié)刻蝕槽流量調(diào)節(jié)排風(fēng)異常正常正常異常否正常無效有效有效1，刻蝕線發(fā)黑一般為H2SO4殘留或者H2SO4濃度太高造成。故正常生產(chǎn)過程不建議補(bǔ)加H2SO4或者補(bǔ)加量太大，以免造成刻蝕槽溫度上升及刻蝕線發(fā)黑等問題。2，刻蝕線太黑易造成鍍膜后外觀不良。工藝評審不能通過的硅片需隔離后集中返工。3，刻蝕線不均勻的硅片，如果沒有造成過刻異常，則可下傳；如果存在過刻，需隔離后集中返工。硅片表面未洗干凈

手指印及其他人為污染

非擴(kuò)散面有明顯大面積臟污硅片表面發(fā)黃查看堿槽循環(huán)查看堿槽噴淋及風(fēng)刀通知設(shè)備打開循環(huán)通知設(shè)備清理噴淋及風(fēng)刀正常生產(chǎn)增大堿槽流量補(bǔ)加堿槽藥液查看各槽循環(huán)查看各槽噴淋及風(fēng)刀刻蝕槽補(bǔ)藥對切確認(rèn)是否為來料問題嚴(yán)格遵守生產(chǎn)操作規(guī)范

隔離臟片后集中返工

通知設(shè)備檢查各槽濾芯檢查刻蝕槽藥液質(zhì)量

更換藥液及水槽中的水

異常有效快到壽命通知設(shè)備更換濾芯異常停止異常正常正常無效正常正常停止異常有效正常正常無效異常有效有效隔離來料通知工藝工程師

注意：不容許用裸手摸片子的表片，兩小時需換一次手套，避免清洗后硅片表面殘留指紋印或其他人為污染，導(dǎo)致擴(kuò)散后出現(xiàn)臟片。碎片處理滾輪下方粘有小碎片是否滾輪不平整是用水槍將其沖掉通知設(shè)備人員處理正常生產(chǎn)放片距離是否太近造成疊片是要求其正確放片否否風(fēng)刀壓力是否過大是通知設(shè)備人員處理說明：通常情況下，如果碎片一直在某一道或幾道出現(xiàn)的話，幾乎可以肯定是滾輪不平的原因。RENA設(shè)備常見報警信息1關(guān)于waferjam（疊片）報警出現(xiàn)此類報警時，設(shè)備人員調(diào)整滾輪并取出碎片。如果是滾輪原因造成上述報警，同時上級決定暫時不能停機(jī)，可選擇不在報警道投片，待工藝換藥或設(shè)備PM時進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。此外可要求生產(chǎn)人員不定時檢查各段滾輪是否正常工作，設(shè)備中是否出現(xiàn)卡片、碎片。如果出現(xiàn)上述異常，需及時調(diào)整片間距，減少疊片的發(fā)生。2關(guān)于temperature（溫度）報警出現(xiàn)此類報警時，需確認(rèn)coolingunit在工作，確認(rèn)有循環(huán)流量，然后等待并觀察溫度是否降低。3關(guān)于pump（泵）報警出現(xiàn)此類報警時，需確認(rèn)報警槽的溶液量是否達(dá)到液位要求，循環(huán)是否正常。如有異常，補(bǔ)加藥液并手動打開槽體循環(huán)。檢查該槽噴淋濾芯是否正常。4關(guān)于dry（風(fēng)刀）報警出現(xiàn)此類報警時，確認(rèn)外部壓縮空氣，檢查風(fēng)刀是否被堵，如有堵塞，需用通針進(jìn)行疏通。5關(guān)于刻蝕槽flow（流量）報警出現(xiàn)此類報警時，需檢查是否有碎片堵住藥液入口。如有碎片需取出后，將藥液打入tank混勻溶液后重新將藥液打入bath中。如果流量不穩(wěn)定報警，需檢查相應(yīng)傳感器6關(guān)于overfilled（溶液過滿）報警出現(xiàn)此類報警時，設(shè)備檢查液位傳感器是否正常工作。如果確實(shí)過滿，則需要手動排掉部分藥液，直到達(dá)到生產(chǎn)液位要求。7關(guān)于tankempty（儲藥罐空）報警出現(xiàn)此類報警時，說明外圍相應(yīng)儲藥罐中的藥品已空，需及時通知外圍人員添加藥液。8關(guān)于valveblocked（閥門被堵）報警出現(xiàn)此類報警時，則有閥門被堵。9顏色突出指示的意義