半導(dǎo)體行業(yè)專題分析：半導(dǎo)體零部件乘風(fēng)起國(guó)產(chǎn)化率快速提升

半導(dǎo)體行業(yè)專題分析：半導(dǎo)體零部件乘風(fēng)起，國(guó)產(chǎn)化率快速提升一、設(shè)備零部件市場(chǎng)碎片化，全球空間接近500億美元1、半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，零部件種類繁多半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜、集成度高，設(shè)備零部件在價(jià)值鏈上舉足輕重。半導(dǎo)體前道制程包括氧化/擴(kuò)散、光刻、刻蝕、薄膜沉積、過(guò)程檢測(cè)、化學(xué)機(jī)械拋光、清洗等眾多環(huán)節(jié)，不同類型的設(shè)備由不同的子系統(tǒng)構(gòu)成，對(duì)應(yīng)到零部件，則是具有多品種、小批量等特點(diǎn)。設(shè)備公司營(yíng)業(yè)成本中90%為原材料采購(gòu)成本，零部件在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中舉足輕重。半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，而半導(dǎo)體設(shè)備廠商絕大部分關(guān)鍵核心技術(shù)需要以精密零部件作為載體來(lái)實(shí)現(xiàn)，隨著制造工藝的不斷提升，下游設(shè)備廠及晶圓廠對(duì)零部件在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、精度、可靠性等方面的要求不斷提升。半導(dǎo)體設(shè)備由八大關(guān)鍵子系統(tǒng)組成：氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)及其他關(guān)鍵組件。半導(dǎo)體零部件可大致分為：機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、氣/液/真空系統(tǒng)類、儀器儀表類、光學(xué)類等。以光刻機(jī)為例，光刻機(jī)主要構(gòu)成包括和光學(xué)相關(guān)的模塊（光源系統(tǒng)、透鏡系統(tǒng)、浸沒(méi)系統(tǒng)等）以及和運(yùn)動(dòng)相關(guān)的（晶圓工作臺(tái)、晶圓傳輸系統(tǒng)、圓模板工作臺(tái)、掩膜版?zhèn)鬏斚到y(tǒng)），此外還有維持內(nèi)部工作環(huán)境的環(huán)境電氣支持系統(tǒng)等。按照主流的零部件劃分方式，半導(dǎo)體零部件可以劃分為機(jī)械類、電器類、機(jī)電一體類、氣體/液體/真空系統(tǒng)類、儀器儀表類、光學(xué)類和其他零部件。機(jī)械類（金屬/非金屬的結(jié)構(gòu)件）、機(jī)電一體類（機(jī)械手等）用于所有設(shè)備，一些光學(xué)類的零部件主要用于光刻機(jī)以及過(guò)程控制設(shè)備，另有一些真空類泵閥主要用于刻蝕、薄膜沉積等干法設(shè)備、液體管路等氣動(dòng)液壓系統(tǒng)零部件主要用于清洗機(jī)等濕法設(shè)備。因此，不同種設(shè)備零部件各有側(cè)重，零部件市場(chǎng)呈現(xiàn)碎片化的特點(diǎn)。2、半導(dǎo)體設(shè)備零部件全球市場(chǎng)空間接近500億美元半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)2022年增長(zhǎng)15%。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售規(guī)模從2010年395億美元增長(zhǎng)到2021年的1026億美元，其中中國(guó)大陸市場(chǎng)296億美元。SEMI預(yù)計(jì)到2022年將進(jìn)一步增長(zhǎng)15%至1175億美元。零部件持續(xù)緊缺，設(shè)備以及零部件的交期均延長(zhǎng)。半導(dǎo)體零部件的短缺限制了設(shè)備公司大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)，產(chǎn)品交付期延長(zhǎng)。從2021年下半年開(kāi)始，國(guó)際龍頭AMAT、LamResearch、ASML等均在法說(shuō)會(huì)上表示半導(dǎo)體零部件短缺是公司上游供應(yīng)的關(guān)鍵問(wèn)題，對(duì)向客戶及時(shí)交貨構(gòu)成了挑戰(zhàn)，我們認(rèn)為此次短缺同時(shí)也為零部件國(guó)產(chǎn)化加速提供了機(jī)遇。據(jù)ETNews二季度報(bào)道，半導(dǎo)體核心部件的交貨期為6個(gè)月以上，之前的交貨期通常僅為2-3個(gè)月，來(lái)自美國(guó)、日本和德國(guó)的零部件交貨時(shí)間顯著增加，主要短缺的產(chǎn)品有高級(jí)傳感器、精密溫度計(jì)、MCU和電力線通信（PLC）設(shè)備。由于半導(dǎo)體零部件的持續(xù)性短缺，部分相關(guān)零部件廠商京瓷、Edwards等均有擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，將有助于緩解半導(dǎo)體零部件短缺問(wèn)題。ASML預(yù)測(cè)2023年半導(dǎo)體零部件的短缺將有所緩解。2021年大陸半導(dǎo)體前道設(shè)備廠商北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技、華海清科、芯源微、盛美上海、中科飛測(cè)毛利率均值為42%，同時(shí)以上大陸半導(dǎo)體設(shè)備廠商直接材料費(fèi)用占營(yíng)業(yè)成本比例平均值為90%。結(jié)合起來(lái)測(cè)算，半導(dǎo)體零部件占半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的比例估計(jì)在50%，而2021年前道晶圓制造設(shè)備規(guī)模約為875億美元，因此對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)430億美元以上，中國(guó)大陸市場(chǎng)約為850億元人民幣。此外，設(shè)備零部件除了直接對(duì)設(shè)備廠的供應(yīng)外，在晶圓廠方面，據(jù)芯謀研究口徑，2020年中國(guó)大陸晶圓線8英寸和12英寸前道設(shè)備零部件采購(gòu)金額超過(guò)10億美元。因?yàn)榫A廠設(shè)備零部件和材料一樣也具有耗材屬性，按照2020年中國(guó)大陸半導(dǎo)體材料占全球18%來(lái)估算，預(yù)計(jì)全球晶圓廠對(duì)前道設(shè)備零部件采購(gòu)金額約為56億美元。2021年增長(zhǎng)16%，預(yù)計(jì)全球市場(chǎng)約為65億美元，中國(guó)大陸市場(chǎng)約為85億元人民幣。結(jié)合設(shè)備廠及晶圓廠采購(gòu)金額，我們保守測(cè)算全球半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)接近500億美元，中國(guó)大陸市場(chǎng)超過(guò)900億元人民幣。根據(jù)國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商披露的采購(gòu)零部件類型比例，例如拓荊科技主要產(chǎn)品為干法設(shè)備，其機(jī)械類+機(jī)電一體類零部件占比分別達(dá)到41%，電氣類占比也較高達(dá)到27%；而華海清科的主業(yè)CMP設(shè)備為濕法設(shè)備沒(méi)有真空反應(yīng)腔，沒(méi)有氣體反應(yīng)的設(shè)備，零部件成本中機(jī)械零部件的占比往往較高，華海清科2021年采購(gòu)額中，機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)件+加工件占比高達(dá)67%。晶圓廠采購(gòu)結(jié)構(gòu)方面，從芯謀研究統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)看，大陸晶圓廠采購(gòu)零部件中金額占比較大的主要有石英件（Quartz）、射頻電源（RFGenerator）、各種泵（Pump）等，占比在10%及以上，此外還有各種閥門(mén)（Valve）、吸盤(pán)（Chuck）、反應(yīng)腔噴淋頭（ShowerHead）、邊緣環(huán)（EdgeRing）等零部件。二、零部件國(guó)產(chǎn)化持續(xù)提升1、零部件行業(yè)市場(chǎng)集中度低，美日歐公司為主因?yàn)榘雽?dǎo)體設(shè)備本身結(jié)構(gòu)復(fù)雜，導(dǎo)致精密零部件制造工序繁瑣，品類管理難度大，不同零部件之間存在著一定的差異性和技術(shù)壁壘，因此行業(yè)內(nèi)多數(shù)企業(yè)只專注于個(gè)別生產(chǎn)工藝，或?qū)Ｗ⒂谔囟ň芰悴考a(chǎn)品，整體行業(yè)相對(duì)分散。根據(jù)VLSI的數(shù)據(jù)，2020年全球半導(dǎo)體零部件領(lǐng)軍供應(yīng)商前十中，包括蔡司ZEISS（光學(xué)鏡頭），MKS儀器（MFC、射頻電源、真空產(chǎn)品），愛(ài)德華Edwards（真空泵），AdvancedEnergy（射頻電源），Horiba

（MFC），VAT（真空閥件），Ichor（模塊化氣體輸送系統(tǒng)以及其他組件），UltraCleanTech（密封系統(tǒng)）等。龍頭廠商收入體量大多在幾億美元到十幾億美元的體量，2020年全球前十公司營(yíng)收規(guī)模約為80億美元，CR10低于20%。對(duì)比海外龍頭，國(guó)產(chǎn)設(shè)備零部件中電子/機(jī)械類產(chǎn)品的精度較低、材料加工工藝要求不達(dá)標(biāo)。零部件中比較復(fù)雜的電子和機(jī)械產(chǎn)品，開(kāi)發(fā)技術(shù)難度較大，精度要求高。例如RFgenerator直接關(guān)系到腔體中的等離子體濃度和均勻度，是Etch、PECVD等重要機(jī)臺(tái)最關(guān)鍵的零部件之一，而國(guó)產(chǎn)RFgenerator主要的技術(shù)問(wèn)題在于電源電壓和頻率等參數(shù)尚不夠穩(wěn)定，較AdvancedEnergy等國(guó)外企業(yè)有一定差距。此外，中國(guó)廠商強(qiáng)于機(jī)加工和成型，但往往無(wú)法解決材料和表面處理問(wèn)題，因此發(fā)展受到基礎(chǔ)的制約。根據(jù)芯謀研究，國(guó)內(nèi)晶圓制造廠商采購(gòu)的設(shè)備零部件中國(guó)產(chǎn)化率超過(guò)10%的有Quartz成品、Showerhead、Edgering等少數(shù)幾類，其余的國(guó)產(chǎn)化程度都比較低，特別是Valve、Gauge、O-ring等幾乎完全依賴進(jìn)口。目前我國(guó)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)尚處于起步期，核心零部件仍然依賴進(jìn)口。根據(jù)芯謀研究，目前石英、噴淋頭、邊緣環(huán)等零部件國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到10%以上，射頻發(fā)生器、MFC、機(jī)械臂等零部件的國(guó)產(chǎn)化率在1%-5%，而閥門(mén)、靜電吸盤(pán)、測(cè)量?jī)x表等零部件的國(guó)產(chǎn)化率不足1%。2、國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商的零部件國(guó)產(chǎn)化率進(jìn)入加速提升階段隨著下游晶圓制造廠及設(shè)備廠商迎來(lái)高速發(fā)展期，且在外部環(huán)境不確定背景下各環(huán)節(jié)自主可控進(jìn)程加速，零部件環(huán)節(jié)已在2021年開(kāi)啟替代元年，我們判斷未來(lái)三年正是替代高峰期。在一些細(xì)分品類實(shí)現(xiàn)技術(shù)和客戶突破的優(yōu)質(zhì)廠商，訂單和業(yè)績(jī)有望加速釋放。國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商在快速推進(jìn)供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)化。根據(jù)中微公司

2022年報(bào)：公司主要刻蝕設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率快速提升，CCP刻蝕機(jī)零部件國(guó)產(chǎn)化比例達(dá)到61.5%，ICP達(dá)到59%，美國(guó)供應(yīng)商占比約為9%和13%左右。根據(jù)華海清科招股書(shū)：公司進(jìn)口原材料占原材料采購(gòu)總額的比例約為50%左右，主要為標(biāo)準(zhǔn)化、非壟斷型的通用零部件，大部分為非半導(dǎo)體專用，產(chǎn)地分別為日本、德國(guó)和美國(guó)等，其中采購(gòu)產(chǎn)地為美國(guó)的零部件占比約10%。根據(jù)屹唐股份招股書(shū)：公司預(yù)計(jì)將于2021年下半年完成干法去膠設(shè)備主要機(jī)型的關(guān)鍵本土備選零部件內(nèi)部認(rèn)證，2022年分階段實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)零部件量產(chǎn)導(dǎo)入。同樣干法刻蝕設(shè)備備選供應(yīng)商原材料覆蓋程度預(yù)計(jì)可達(dá)到較高比例。快速熱處理設(shè)備主要機(jī)型的相關(guān)原材料供應(yīng)主要來(lái)源于德國(guó)，供應(yīng)鏈本土化工作于2021年下半年正式啟動(dòng)，預(yù)計(jì)于2023年之前完成。針對(duì)不同類型的零部件，技術(shù)難點(diǎn)各不相同，國(guó)產(chǎn)化率差異大。機(jī)械類零部件應(yīng)用最廣，市場(chǎng)份額最大，目前主要產(chǎn)品技術(shù)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)突破和國(guó)產(chǎn)替代，先進(jìn)制程相關(guān)難突破。機(jī)電一體類和氣液傳輸/真空系統(tǒng)零部件同樣品類繁多，國(guó)內(nèi)部分產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，但產(chǎn)品穩(wěn)定性和一致性與國(guó)外有差距。技術(shù)難度相對(duì)比較高的為電氣類、儀器儀表類、光學(xué)類零部件，國(guó)內(nèi)企業(yè)的電氣類核心模塊（射頻電源等）少量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商，主要應(yīng)用于光伏、LED等泛半導(dǎo)體設(shè)備，國(guó)產(chǎn)化率低，高端產(chǎn)品尚未國(guó)產(chǎn)化；儀器儀表類對(duì)測(cè)量精度要求高，國(guó)內(nèi)企業(yè)通過(guò)收購(gòu)進(jìn)入國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備廠商，自研產(chǎn)品少量用于國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商，國(guó)產(chǎn)化率低，高端產(chǎn)品尚未國(guó)產(chǎn)化；光學(xué)類零部件對(duì)光學(xué)性能要求極高，由于光刻設(shè)備國(guó)際市場(chǎng)高度壟斷，高端產(chǎn)品一家獨(dú)大，國(guó)內(nèi)光刻設(shè)備尚在發(fā)展，相應(yīng)配套光學(xué)零部件國(guó)產(chǎn)化率低。三、國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商快速突破1、富創(chuàng)精密：專注精密制造，深耕半導(dǎo)體設(shè)備零部件富創(chuàng)精密是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè)，也是全球?yàn)閿?shù)不多的能夠量產(chǎn)應(yīng)用于7nm工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件制造商。公司主要產(chǎn)品包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路四大類。公司代表性工藝零部件包括腔體（按使用功能分為過(guò)渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔）、內(nèi)襯和勻氣盤(pán)，結(jié)構(gòu)零部件一般起連接、支撐和冷卻等作用，對(duì)平面度和平行度有較高的要求，工藝與結(jié)構(gòu)零部件一樣需要具備高潔凈、強(qiáng)耐腐蝕能力和耐擊穿電壓等性能。2019-2021年，公司營(yíng)業(yè)收入分別為2.5/4.8/8.4億元，3年復(fù)合增長(zhǎng)率為82%，2021年公司毛利率/凈利率分別達(dá)到32%/14%。2021年公司主營(yíng)業(yè)務(wù)收入60%來(lái)源于大陸以外地區(qū)，主要銷往國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備廠商在北美和亞洲的組裝工廠，而隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商崛起，2019-2021年公司大陸地區(qū)銷售收入占比由15%提升至39%。公司目前下游客戶包括國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，A、東京電子、HITACHIHigh-Tech、ASMI，也包括國(guó)內(nèi)北方華創(chuàng)、屹唐股份、中微公司、拓荊科技、華海清科、芯源微、中科信裝備、凱世通等。2、江豐電子：半導(dǎo)體靶材龍頭，關(guān)鍵零部件加速放量江豐電子為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體靶材龍頭，半導(dǎo)體設(shè)備零部件2021年起開(kāi)始快速放量。公司新開(kāi)發(fā)的各種精密零部件產(chǎn)品主要包括傳輸腔體、反應(yīng)腔體、膛體、圓環(huán)類組件、保護(hù)盤(pán)體、冷卻盤(pán)體、噴淋頭等已經(jīng)在多家國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備及芯片制造頭部企業(yè)實(shí)現(xiàn)批量交貨，同時(shí)戰(zhàn)略布局了國(guó)內(nèi)緊缺、受國(guó)外控制的高純硅、石英和陶瓷等半導(dǎo)體零部件，廣泛應(yīng)用于PVD、CVD、刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái)。2021年江豐電子零部件銷售額1.84億元，同比增長(zhǎng)240%，2022H1則達(dá)到1.8億元，同比增長(zhǎng)150%。公司在寧波余姚、上海奉賢、沈陽(yáng)沈北三地建成零部件生產(chǎn)基地，并與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、上海盛美、上海微電子、屹唐科技等多家廠商形成戰(zhàn)略合作。3、新萊應(yīng)材：半導(dǎo)體管閥核心零部件供應(yīng)商新萊應(yīng)材于1991年在中國(guó)臺(tái)灣成立，于1995年組建真空電子部門(mén)，于2000年將總部遷至江蘇昆山。公司目前主要業(yè)務(wù)包括用于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的高純及超高純應(yīng)用材料，用于食品安全和生物醫(yī)藥領(lǐng)域的潔凈應(yīng)用材料等，主營(yíng)產(chǎn)品為真空室（腔體）、泵、閥、法蘭、管道和管件等，屬于高潔凈流體管路系統(tǒng)和超高真空系統(tǒng)之關(guān)鍵組件。公司泛半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體設(shè)備的真空系統(tǒng)和氣體管路系統(tǒng)，受益于半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)，公司泛半導(dǎo)體板塊業(yè)務(wù)快速增長(zhǎng)，營(yíng)業(yè)收入從17年的2.7億增長(zhǎng)到2021年的5.3億，2022年上半年公司泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)收入3.17億元，同比增長(zhǎng)62%。下游客戶方面，世界頂級(jí)半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)AMAT加大半導(dǎo)體產(chǎn)品的合作，中國(guó)領(lǐng)先的存儲(chǔ)器芯片設(shè)計(jì)與制造公司長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫等在高端真空閥門(mén)等產(chǎn)品方面也有深入合作，氣體管道及氣體控制元件也在深入國(guó)產(chǎn)替代化，與中國(guó)國(guó)內(nèi)最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體領(lǐng)域展開(kāi)全面合作。4、正帆科技：設(shè)備+材料+系統(tǒng)布局，切入GasBox供應(yīng)正帆科技致力于為泛半導(dǎo)體、光纖通信、醫(yī)藥制造等行業(yè)客戶提供工藝介質(zhì)和工藝環(huán)境綜合解決方案。主營(yíng)業(yè)務(wù)包括氣體化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、安裝及配套服務(wù)；高純特種氣體的生產(chǎn)、銷售；潔凈廠房配套系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、施工。依托于現(xiàn)有的CAPEX業(yè)務(wù)，公司積極開(kāi)拓OPEX業(yè)務(wù)，鞏固拓展半導(dǎo)體設(shè)備配套領(lǐng)域、電子大宗氣體以及制藥系統(tǒng)生物反應(yīng)器和分立純化設(shè)備等應(yīng)用。公司擁有關(guān)鍵設(shè)備、核心材料和專業(yè)服務(wù)三位一體的綜合解決方案，助力泛半導(dǎo)體和生物醫(yī)藥行業(yè)關(guān)鍵系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化。電子工藝設(shè)備的主要產(chǎn)品包括特氣柜、化學(xué)品中央供應(yīng)柜、分流箱、化學(xué)品稀釋混配單元、液態(tài)源輸送設(shè)備，以及用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的流體輸送系統(tǒng)/設(shè)備（GasBox）等。GasBox是一種在半導(dǎo)體工藝設(shè)備側(cè)的模組化氣體供應(yīng)系統(tǒng)，也是核心零部件之一，定制化程度高、工藝難度高。公司的設(shè)備配套業(yè)務(wù)從廠務(wù)端延伸到設(shè)備端，為泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供GasBox的委托加工或委托設(shè)計(jì)加工服務(wù)。除了提供工藝介質(zhì)供應(yīng)所需的設(shè)備及系統(tǒng)以外，正帆科技還向下游客戶銷售特種氣體為主的工藝介質(zhì)。高純特種氣體是泛半導(dǎo)體領(lǐng)域加工制造過(guò)程中的關(guān)鍵材料，其質(zhì)量直接影響電子器件的良率和性能。目前，正帆科技已具備合成、提純、混配、充裝、分析與檢測(cè)等工藝能力，并經(jīng)上述環(huán)節(jié)的組合開(kāi)展生產(chǎn)活動(dòng)，主要產(chǎn)品包括砷烷、磷烷、硅烷、混合氣體。22H1公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)收9.43億元，同比增長(zhǎng)20%。從收入結(jié)構(gòu)上看，泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)占比較高，2021年泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營(yíng)收14.33億元，收入占比78%。公司毛利率穩(wěn)定在26%附近，歸母凈利潤(rùn)在22H1略有下滑，主要因?yàn)楣竟蓹?quán)激勵(lì)計(jì)劃產(chǎn)生較高的股份支付費(fèi)用。正帆科技在泛半導(dǎo)體、光纖通信、醫(yī)藥制造等領(lǐng)域均積累了強(qiáng)大的客戶資源，客戶包括中芯國(guó)際、京東方、三安光電、恒瑞醫(yī)藥等國(guó)內(nèi)知名客戶以及SK海力士、德州儀器等國(guó)際品牌客戶。5、華亞智能：定制化精密加工，金屬結(jié)構(gòu)件訂單飽滿華亞智能主營(yíng)專業(yè)領(lǐng)域的精密金屬制造服務(wù)，專注于向國(guó)內(nèi)外領(lǐng)先的高端設(shè)備制造商提供“小批量、多品種、工藝復(fù)雜、精密度高”的定制化精密金屬制造服務(wù)。公司的主要產(chǎn)品為各類精密金屬結(jié)構(gòu)件，屬工業(yè)中間產(chǎn)品，主要應(yīng)用于供應(yīng)給半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，和新能源及電力設(shè)備、通用設(shè)備、軌道交通設(shè)備、醫(yī)療器械等其他領(lǐng)域的客戶。半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，公司主要產(chǎn)品為：應(yīng)用于晶圓刻蝕氣體輸送中心、晶圓（清洗、沉積）控制平臺(tái)、晶圓成膜（PECVD）設(shè)備氣體輸送平臺(tái)等半導(dǎo)體設(shè)備的金屬結(jié)構(gòu)件。公司半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域直接客戶為：超科林、ICHOR、捷普、依工電子等半導(dǎo)體設(shè)備部件制造商；間接客戶為：

AMAT、LamResearch，RudolphTechnologies和國(guó)內(nèi)中微公司等設(shè)備制造商。2020年前五大客戶收入合計(jì)占比60%，其中超科林、ICHOR、捷普合計(jì)占比43.5%，若僅看半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，則前三大客戶2020年在該領(lǐng)域收入占比高達(dá)89%。公司營(yíng)收持續(xù)增長(zhǎng)，2021年公司營(yíng)業(yè)收入達(dá)5.3億元，同比增長(zhǎng)44%；

歸屬于母公司股東的凈利潤(rùn)1.1億元，同比增長(zhǎng)55%。公司收入和規(guī)模和業(yè)績(jī)的高速增長(zhǎng)主要得益于公司客戶數(shù)量及產(chǎn)品種類的持續(xù)拓展，公司近年持續(xù)拓展新產(chǎn)品新客戶，目前部分產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入試樣或小批量試制階段，未來(lái)有望實(shí)現(xiàn)批量銷售，隨著公司募投項(xiàng)目順利實(shí)施，預(yù)計(jì)仍將保持快速增長(zhǎng)。CompartSystems是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域精密零組件及流量控制解決方案供應(yīng)商。2020年12月，萬(wàn)業(yè)企業(yè)領(lǐng)以浙江鐠芯（萬(wàn)業(yè)企業(yè)子公司，Compart的控股母公司）和鐠芯控股為主體收購(gòu)Compart的100%股權(quán)，并成為其第一大股東，目前持股30%。收購(gòu)?fù)瓿珊驝ompart有望快速導(dǎo)入國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的供應(yīng)鏈，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)相關(guān)供應(yīng)鏈的空白領(lǐng)域。CompartSystems主要產(chǎn)品包括BTP（BuiltToPrint）組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，產(chǎn)品用于集成電路制造工藝中氧化/擴(kuò)散、蝕刻和沉積等設(shè)備所需的精確氣體輸送系統(tǒng)，是全球少數(shù)可完成該領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司。2021年上半年，CompartSystems的相關(guān)產(chǎn)業(yè)也打入國(guó)內(nèi)集成電路設(shè)備公司供應(yīng)鏈。2017-2019年，CompartSystems實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入0.96/0.82/0.75億美元，其中公司2018、2019年凈利潤(rùn)為負(fù)，2020年公司轉(zhuǎn)虧為盈。2021年浙江鐠芯營(yíng)業(yè)收入9.20