中國光掩模玻璃基板行業(yè)需求現(xiàn)狀分析

中國光掩模玻璃基板行業(yè)需求現(xiàn)狀分析一、光掩模玻璃基板行業(yè)概況光學(xué)掩模板，又稱光掩模板或光罩等，在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版。光掩模基版（基板）是制作微細光掩模圖形的感光性空白板，比如光掩模鉻版基板，是光掩模板基體材料上鍍鉻所得到的感光性空白板，再通過光刻制版等工序就可以獲得所需光掩模板。光掩膜板分類如下：光掩模玻璃基板根據(jù)玻璃組分，分為合成石英掩模基板、硼硅玻璃掩模基板和蘇打玻璃（鈉鈣玻璃）掩?；宓?。成石英掩模基板，是指合成石英錠，經(jīng)熱改型、冷加工等加工后制作石英空白光掩?；?，也稱作石英白板。硼硅玻璃光掩?；澹侵冈谂鸸璨ＡгA(chǔ)上，經(jīng)過加工后制作硼硅玻璃空白掩模基板。蘇打玻璃基板，是指在鈉鈣玻璃原片基礎(chǔ)上，經(jīng)過加工后制作鈉鈣玻璃空白掩模基板。二、中國光掩模玻璃基板行業(yè)市場現(xiàn)狀分析我國的光掩模制作始于60年代中期，比國外晚5～6年。近年來我國光掩模玻璃基板需求增長穩(wěn)定，據(jù)統(tǒng)計，2019年我國光掩模玻璃基板需求量為9.98萬平方米，同比增長10.9%，占全球總需求的36.8%。其中集成電路（IC）領(lǐng)域需求量4.678萬平方米，同比增長16.42%，占總需求量的46.87%；平面顯示（FPD）領(lǐng)域需求量4.767萬平方米，同比增長8.33%，占總需求量的47.77%；其他領(lǐng)域需求量0.535萬平方米，同比減少8.11%，占總需求量的5.36%。從各基板產(chǎn)品需求量來看，其中光掩模石英玻璃基板需求4.221萬平方米，同比增長23.86%，占總需求量的42.29%；光掩模蘇打玻璃基板需求量4.991萬平方米，同比增長5.86%，占總需求量的50.01%；其他光掩模玻璃基板需求量0.767萬平方米，同比減少12.58%，占總需求量的7.69%。三、光掩模玻璃基板相關(guān)標準目前我國與光掩模玻璃基板有關(guān)標準有15項，其中國家標準8項，國家軍用標準1項，行業(yè)標準6項：四、中國光掩模玻璃基板行業(yè)發(fā)展趨勢1、國家主要法律法規(guī)政策引導(dǎo)和推動行業(yè)發(fā)展為提升我國平板顯示和半導(dǎo)體芯片等行業(yè)配套材料的國產(chǎn)化率，改善產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，促進行業(yè)持續(xù)、健康發(fā)展，國家相關(guān)部門出臺了一系列法律法規(guī)及政策，為光掩模玻璃基板行業(yè)持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展提供了有力保障。2、光掩模玻璃基板產(chǎn)品尺寸趨向大型化（1）大直徑是硅片未來發(fā)展方向隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展和市場需求的變化，大尺寸硅片占比將逐漸提升。在圓形硅片上制造矩形的硅片會使硅片邊緣處的一些區(qū)域無法被利用，從而帶來部分浪費，隨著晶圓尺寸的增大，損失比就會減小。目前8英寸（1英寸=25.4mm）硅片主要用于生產(chǎn)功率半導(dǎo)體和微控制器，邏輯芯片和存儲芯片則需要12英寸硅片。（2）顯示面板的大屏化發(fā)展決定了光掩模玻璃基板產(chǎn)品尺寸趨向大型化顯示屏世代線代數(shù)是按照生產(chǎn)顯示屏使用的基板尺寸來界定的，基板尺寸越大，其世代線越高，而越高的世代線經(jīng)切割后所能產(chǎn)生的屏幕尺寸就越大。粗略區(qū)分，G1～G4代線主要針對筆記本電腦，G4～G5代主要針對電腦顯示屏幕，G6代線以上的生產(chǎn)線主要為電視屏幕所用。而隨著基板的大型化，為了提高生產(chǎn)效率需要更大的曝光面積，光掩模玻璃基板的尺寸也隨之增加。3、應(yīng)加大力度消除發(fā)展短板（1）我國光掩模玻璃基板產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力有待提高光掩模板主要由玻璃基板與遮光膜兩部分組成，其中玻璃基板成本占整體材料成本的90%。目前被用來制作光掩模板基本的材料包括合成石英、硼硅玻璃和蘇打玻璃等，其中合成石英最為化學(xué)穩(wěn)定，具有高硬度、低膨脹系數(shù)和透光性強等優(yōu)勢，被廣泛運用到具有較高精度要求的產(chǎn)品生產(chǎn)中?？紤]到成本和純度要求，目前廠商使用的主要材料為合成石英基板。我國僅有湖北菲利華石英玻璃股份有限公司、江蘇太平洋石英股份有限公司以及中國建筑材料科學(xué)研究總院等少數(shù)幾家企業(yè)具有生產(chǎn)光掩模石英基板初級產(chǎn)品能力。（2）光掩模玻璃基板產(chǎn)業(yè)鏈短板明顯據(jù)統(tǒng)計，2018年我國TFTLCD及AMOLED光掩模板的國產(chǎn)化率為9.70%，其中AMOLED/LTPS等高精度光掩模板的國產(chǎn)化率僅為2.50%。對于光掩模石英玻璃基板來說，由于產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)問題，其國產(chǎn)化能力幾乎為零。目前國內(nèi)光掩模玻璃基板產(chǎn)業(yè)鏈沒有打通，光掩模石英玻璃基板產(chǎn)品仍需在日、韓精加工（精磨、鍍膜）后，才能返回國內(nèi)光掩模板廠商進行光刻，雖然一些公司已與日、韓以及國內(nèi)掩模版廠商建立了良好的合作關(guān)系，但仍然在一定程度上制約光掩模玻璃基板的發(fā)展。總之，隨著半導(dǎo)體集成電路（IC