標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 13840-1992 晶片承載器》是中國一項關(guān)于晶片承載器的國家標(biāo)準(zhǔn)，發(fā)布于1992年。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了晶片承載器的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存要求，旨在統(tǒng)一和提升國內(nèi)晶片承載器的質(zhì)量與技術(shù)水平，確保其在半導(dǎo)體制造過程中的穩(wěn)定性和可靠性。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容覆蓋以下幾個關(guān)鍵方面：

  1. 術(shù)語和定義：首先明確了晶片承載器的基本概念及其組成部分的定義，幫助讀者理解后續(xù)技術(shù)要求的具體含義。

  2. 分類：根據(jù)晶片承載器的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、應(yīng)用等特點進(jìn)行分類，便于不同場景下選用合適的產(chǎn)品。

  3. 技術(shù)要求：

    • 尺寸與外形：規(guī)定了承載器的尺寸公差、形狀及表面光潔度要求，確保與生產(chǎn)設(shè)備的兼容性。
    • 材料：對承載器所用材料的物理、化學(xué)性能提出要求，如耐溫性、抗腐蝕性等，以滿足半導(dǎo)體制造過程中的嚴(yán)苛條件。
    • 機(jī)械強度：要求承載器具備足夠的機(jī)械強度以承受搬運、裝載及生產(chǎn)過程中的應(yīng)力，防止變形或損壞。
    • 清潔度：設(shè)定嚴(yán)格的清潔度標(biāo)準(zhǔn)，避免雜質(zhì)污染晶片，影響芯片的成品率和性能。

  4. 試驗方法：詳細(xì)說明了各項技術(shù)指標(biāo)的檢測和驗證方法，包括但不限于尺寸測量、材料性能測試、負(fù)載試驗等，確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性。

  5. 檢驗規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序、抽樣方案及合格判定準(zhǔn)則，為質(zhì)量控制提供依據(jù)。

  6. 標(biāo)志、包裝、運輸和貯存：要求晶片承載器在出廠時需有清晰的標(biāo)識信息，同時對其包裝材料、方式以及運輸、貯存條件做出具體規(guī)定，以保護(hù)產(chǎn)品在流轉(zhuǎn)過程中的完好無損。


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  • 廢止
  • 已被廢除、停止使用，并不再更新
  • 1992-12-28 頒布
  • 1993-08-01 實施
?正版授權(quán)
GB/T 13840-1992晶片承載器_第1頁
GB/T 13840-1992晶片承載器_第2頁
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文檔簡介

DDG621.382.032.9L97中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T13840-92晶片承載器WaferCarriers1992-12-28發(fā)布1993-08-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T13840-92載片Wafercarriers1.主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了品片承載器的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求和試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝標(biāo)志。本標(biāo)準(zhǔn)適用于晶片直徑為75、100、125、150mm通用型塑料和金屬晶片承載器,以及晶片直徑為125mm自動輸送型塑料和金屬晶片承載器.2引用標(biāo)準(zhǔn)GB191包裝儲運圖示標(biāo)志GB1173鑄造鋁合金技術(shù)條件GB2828逐批檢查計數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB2829周期檢查計數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的檢查）GB12670聚丙烯樹脂3術(shù)語品片承載器3.1ewafercarrier在品片生產(chǎn)工藝過程中各工序間裝載晶片的器具。3.2通用型generaltype用于手工及半自動傳遞、清洗品片的承載器型式。3.3自動輸送型autotransporttype用于自動化生產(chǎn)線工序間自動輸送品片的承載器型式。3.4傳遞品片承載器wafer-passingcarrier用于生產(chǎn)工藝過程中對晶片進(jìn)行加工和測試、工序間傳遞品片的一種品片承載器。3.5清洗晶片承載器wafer-cleaningcarrier用于生產(chǎn)工藝過程中對晶片進(jìn)行清洗的一種品片承載器。3.6晶片轉(zhuǎn)移wafertransfer把晶片從一個品片承載器移置到另一個品片承載器的動作稱為晶片轉(zhuǎn)移。！產(chǎn)品分類4.1品種、型式、規(guī)格4.1.1晶片承載器分為塑料品片承載器和金屬晶片承載器4.1.2晶片承載器分為通用型和自動輸送型，通用型按用途又分為傳遞用和清洗用兩種，4.1.3通用型晶片承載器按承載晶片直徑分為75、100、125、150mm四種規(guī)格;自動輸送型品片承載器承載品片直徑

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