GB/T 14851-2009電子工業(yè)用氣體磷化氫

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１４８５１—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３

電子工業(yè)用氣體磷化氫

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犘犺狅狊狆犺犻狀犲

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜１４８５１—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３《電子工業(yè)用氣體磷化氫》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３相比主要變化如下：

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加電子工業(yè)用磷化氫采樣安全要求（本版的４．１．２）；

———增加尾氣處理的要求（本版的４．３）；

———修改砷化氫、氮、氧（氬）組分的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．２、４．５、４．６，本版的４．３）；

———?jiǎng)h去氫的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．４）；

———修改二氧化碳、總烴含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．３，本版的４．５、４．６）；

———增加一氧化碳的分析方法（見(jiàn)４．５）；

———增加標(biāo)準(zhǔn)樣品的規(guī)定（見(jiàn)４．７）；

———修改水分的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．７，本版的４．８）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———?jiǎng)h去ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的附錄Ａ；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測(cè)定電子工業(yè)用磷化氫中的砷化氫、氮、氧

（氬）組分的方法寫(xiě)入該附錄（見(jiàn)附錄Ａ）。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院、大連光明化工研究院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３。

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜１４８５１—２００９

電子工業(yè)用氣體磷化氫

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用磷化氫的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫

產(chǎn)品。它主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。

分子式：ＰＨ３。

相對(duì)分子質(zhì)量：３３．９９７５８（按２００５年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法

ＧＢ１１６４０鋁合金無(wú)縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

３技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體磷化氫的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

－２

磷化氫（ＰＨ３）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．９９９７９９．９９９９９．９９

－６

砷化氫（ＡｓＨ３）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．１２１０

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜１３５０

－６

氧（氬）（Ｏ２／Ａｒ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．５１５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．５０．５１

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．５１１０

總烴（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．２１４

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜１１１

雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６≤３１０１００

金屬離子