GB/T 16879-1997掩模曝光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示準(zhǔn)則

IcS31.020L97中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CB/T16879一1997掩模暖光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示淮則Cuidelinesforprecisionandaccuracyexpressionformaskwritingeguipment1997-06-20發(fā)布1998-03-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16879-1997次前言1范圍2引用標(biāo)準(zhǔn)·3精密度和準(zhǔn)確度的定義、表示方式、測(cè)量方法和要求4說明事項(xiàng)

GB/T16879-1997本標(biāo)準(zhǔn)等同采用1994年SEMI標(biāo)準(zhǔn)版本“微型構(gòu)圖"部分中的SEMIP21—92《掩模暖光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示準(zhǔn)則》（Guidelinesforprecisionandaccuracyexpressionformaskwritingequipment）。SEMI標(biāo)準(zhǔn)是國(guó)際上公認(rèn)的一套半導(dǎo)體設(shè)備和材料國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。SEMIP21一92《掩模瞬光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示準(zhǔn)則》是其中的一項(xiàng),它將與已經(jīng)轉(zhuǎn)化的SEMIP1-92《硬面光掩?；濉贰EMIP2一86《硬面光掩模用鉻薄膜》、SEMIP3-90《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子抗蝕劑》、SEMIP4-92《圓形石英玻璃光掩模基板》、SEMIP6-88(光拖模定位標(biāo)記規(guī)范》及SEMIP19-92《用于集成電路制造技術(shù)的檢測(cè)圖形單元規(guī)范》和SEMIP22-93《光拖模缺陷分類和尺寸定義的指南》兩項(xiàng)SEMI標(biāo)準(zhǔn)形成一個(gè)微型構(gòu)圖標(biāo)準(zhǔn)系列。本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)P21—92《掩模暖光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示準(zhǔn)則》制定的。在技術(shù)內(nèi)容上等同地采用了該國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)的格式和結(jié)構(gòu)按國(guó)標(biāo)GB/T1.1一1993第一單元第一部分的規(guī)定編制。本標(biāo)準(zhǔn)從1998年3月1日實(shí)施。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)院提出。本標(biāo)準(zhǔn)由電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國(guó)科學(xué)院微電子中心。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：陳寶欽、陳森錦、摩溫初。

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)掩模瞬光系統(tǒng)精密度和準(zhǔn)確度的表示淮GB/T16879-1997Guidelincsforprecisionandaccuracyexpressionformaskwritingequipment1范圍本準(zhǔn)則規(guī)定了在表示掩模噪光設(shè)備的精密度和準(zhǔn)確度時(shí)應(yīng)逍循的一般要求。掩模瞬光設(shè)備的圖形噪光精密度和準(zhǔn)確度是通過測(cè)量制成的掩模來評(píng)估的，掩模制造過程中的工藝條件對(duì)它有很大影響。所以，噪光條件應(yīng)經(jīng)廠家和用戶雙方同意。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)，所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。SJ/T10152—91集成電路主要工藝設(shè)備術(shù)語SJ/T10584—94微電子學(xué)光掩酸技術(shù)術(shù)語精密度和準(zhǔn)確度的定義、表示方式、測(cè)量方法和要求3.1最小圖形minimunpattern3.1.1定義指最小的線條和透亮的圖形，以及可以區(qū)分的最小圖形。3.1.2表示方式掃描電子顯微鏡（SEM）照片3.1.3測(cè)址光刻膠圖形或鉻膜圖形的SEM照片。3.2圖形尺寸的精密度和準(zhǔn)確度pattcrndimensionprecisionandaceuracy3.2.1定義指制成的掩模圖形關(guān)鍵尺寸(CD)相對(duì)于設(shè)計(jì)值的偏差和變化量，3.2.2表示方式實(shí)測(cè)圖形尺寸的平均值相對(duì)于設(shè)計(jì)值的偏差(</:Pm)及其實(shí)測(cè)值變化量(3o:Pm）應(yīng)當(dāng)明確說明被測(cè)的區(qū)域和抽樣點(diǎn)的數(shù)量。3.2.3測(cè)最方法（a）光學(xué)CD測(cè)