- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2008-10-30 頒布
- 2009-06-01 實(shí)施
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文檔簡介
犐犆犛17.180
犌04
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
犌犅/犜22462—2008
鋼表面納米、亞微米尺度薄膜
元素深度分布的定量測定
輝光放電原子發(fā)射光譜法
犖犪狀狅,犛狌犫犿犻犮狉狅狀狊犮犪犾犲犳犻犾犿狅狀狊狋犲犲犾—犙狌犪狀狋犻狋犪狋犻狏犲犱犲狆狋犺狆狉狅犳犻犾犲
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20081030發(fā)布20090601實(shí)施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局
發(fā)布
中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
書
犌犅/犜22462—2008
目次
前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ
1范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
2規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
3術(shù)語和定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
4原理!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
5儀器!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!2
5.1概述!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!2
5.2儀器性能要求!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!2
6樣品制備!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!3
7分析步驟!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!3
7.1譜線的選擇!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!3
7.2優(yōu)化輝光放電原子發(fā)射光譜儀的放電參數(shù)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!3
7.3工作曲線!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!5
7.4工作曲線的確認(rèn)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!7
7.5漂移校正!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!8
7.6樣品分析!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!8
8分析結(jié)果的表示!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!8
8.1定量深度剖析的表示!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!8
8.2膜厚和鍍層質(zhì)量(單位面積)的測定!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!9
9精密度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!9
10試驗(yàn)報(bào)告!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!9
附錄A(資料性附錄)推薦的元素特征譜線波長!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!10
附錄B(資料性附錄)常見的氧化物密度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!11
附錄C(規(guī)范性附錄)共同實(shí)驗(yàn)附加資料!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!12
Ⅰ
書
犌犅/犜22462—2008
前言
本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A、附錄B均為資料性附錄,附錄C為規(guī)范性附錄。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC38)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位:寶山鋼鐵股份有限公司、中國科學(xué)院物理研究所、中國科學(xué)院化學(xué)研究所、冶
金工業(yè)信息標(biāo)準(zhǔn)研究院。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:張毅、陳英穎、沈電洪、劉芬、何曉蕾、鄔君飛、欒燕。
Ⅲ
犌犅/犜22462—2008
鋼表面納米、亞微米尺度薄膜
元素深度分布的定量測定
輝光放電原子發(fā)射光譜法
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)采用輝光放電原子發(fā)射光譜法用于定量測定鋼表面納米、亞微米尺度薄膜(金屬鍍膜和氧化
膜)中膜厚、鍍層質(zhì)量(單位面積)和薄膜中的元素深度分布。
本方法適用于測定3nm~1000nm厚度的鋼表面薄膜,適用的元素包括:鐵、鉻、鎳、銅、鈦、錳、鋁、
碳、磷、氧、氮和硅。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有
的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版本均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研
究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB/T6379.1測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度(正確度與精密度)第1部分:總則與定義
GB/T6379.2測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度(正確度與精密度)第2部分:確定標(biāo)準(zhǔn)測量方法重復(fù)
性和再現(xiàn)性的基本方法
GB/T19502表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜方法通則
GB/T20066鋼和鐵化學(xué)成分測定用試樣的取樣和制樣方法
GB/T22461—2008表面化學(xué)分析詞匯(ISO18115:2001,IDT)
ISO57253測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度(正確度與精確度)———第3部分:標(biāo)準(zhǔn)測量方法精密度的
中間度量(Accuracy(truenessan
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