GB/T 22461-2008表面化學分析詞匯

犐犆犛０１．０４０．７１，７１．０４０．４０

犌０４

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

表面化學分析詞匯

犛狌狉犳犪犮犲犮犺犲犿犻犮犪犾犪狀犪犾狔狊犻狊—犞狅犮犪犫狌犾犪狉狔

（ＩＳＯ１８１１５：２００１，ＩＤＴ）

２００８１０３０發(fā)布２００９０６０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅰ

引言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅱ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２縮略語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３格式!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

４表面分析方法的定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５表面分析詞匯的定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

附錄Ａ（資料性附錄）術語補充說明!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４２

參考文獻!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４４

中文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４５

英文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５０

書

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

前言

本標準等同采用ＩＳＯ１８１１５：２００１《表面化學分析———詞匯》。

本標準的附錄Ａ是資料性附錄。

本標準由全國微束標準化技術委員會提出。

本標準由全國微束標準化技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ３８）歸口。

本標準負責起草單位：北京大學、清華大學。

本標準主要起草人：黃惠忠、曹立禮。

Ⅰ

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

引言

表面化學分析是一個重要的領域，涉及來自不同領域和有不同背景人們間的相互交流。從事表面

化學分析的人們可能是材料科學家、化學家或物理學家，具有從事實驗或理論研究的背景。使用表面化

學數(shù)據(jù)的人們不僅僅是上述人員，也可以是其他學科的人員。

用現(xiàn)有的表面化學分析技術，可以獲得來自接近于表面區(qū)域（一般在２０ｎｍ內(nèi)）的成分信息。隨著

表面層的去除，用該技術可得到成分深度信息。本標準中包含表面分析技術的范疇，已從電子能譜和

質(zhì)譜擴展到光譜和Ｘ射線分析。上述技術的概念源自核物理和輻射科學以至物理化學和光學等廣泛

領域。

廣泛的學術領域和不同國家獨特的用法導致了對專用詞匯不同的解釋，從而會用不同的詞匯描述

相同的概念。為了避免由此產(chǎn)生的誤解和便于信息的交流，有必要明確概念，采用正確的詞匯以確定其

定義。

Ⅱ

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

表面化學分析詞匯

１范圍

本標準定義的詞匯適用于表面化學分析。

２縮略語

ＡＥＳＡｕｇｅｒｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ俄歇電子能譜

ＣＤＰｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｌｄｅｐｔｈｐｒｏｆｉｌｅ成分深度剖析

ＣＭＡｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｍｉｒｒｏｒａｎａｌｙｓｅｒ筒鏡型能量分析器

ｅＶｅｌｅｃｔｒｏｎｖｏｌｔ電子伏

ＥＥＬＳｅｌｅｔｒｏｎｅｎｅｒｇｙｌｏｓｓｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ電子能量損失譜

ＥＩＡｅｎｅｒｇｅｔｉｃｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓ荷能離子分析

ＥＰＭＡｅｌｅｃｔｒｏｎｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏａｎａｌｙｓｉｓ電子探針顯微分析

ＥＳＣＡｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙｆｏｒｃｈｅｍｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓ化學分析用電子能譜

ＦＡＢＭＳｆａｓｔａｔｏｍｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔｍａｓｓｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ快原子轟擊質(zhì)譜

ＦＷＨＭｆｕｌｌｗｉｄｔｈａｔｈａｌｆｍａｘｉｍｕｍ半高峰寬

ＧＤＳｇｌｏｗｄｉｓｃｈａｒｇｅｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ輝光放電譜

ＧＤＯＥＳｇｌｏｗｄｉｓｃｈａｒｇｅｏｐｔｉｃａｌｅｍｉｓｓｉｏｎｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ輝光放電發(fā)射光譜

ＧＤＭＳｇｌｏｗｄｉｓｃｈａｒｇｅｍａｓｓｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ輝光放電質(zhì)譜

ＨＥＩＳＳｈｉｇｈｅｎｅｒｇｙｉｏｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ高能離子散射譜

ＨＳＡｈｅｍｉｓｐｈｅｒｉｃａｌｓｅｃｔｏｒａｎａｌｙｓｅｒ半球型能量分析器

ＩＢＡｉｏｎｂｅａｍａｎａｌｙｓｉｓ離子束分析

ＬＥＩＳＳｌｏｗｅｎｅｒｇｙｉｏｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ低能離子散射譜

ＭＥＩＳＳｍｅｄｉｕｍｅｎｅｒｇｙｉｏｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ中能離子散射譜

ＰＴＰｐｅａｋｔｏｐｅａｋ峰峰值

ＲＢＳＲｕｔｈｅｒｆｏｒｄｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ盧瑟福背散射譜

ＲＦＡｒｅｔａｒｄｉｎｇｆｉｅｌｄａｎａｌｙｓｅｒ減速場分析器

ＳＡＭｓｃａｎｎｉｎｇＡｕｇｅｒｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ掃描俄歇顯微鏡

ＳＤＰｓｐｕｔｔｅｒｄｅｐｔｈｐｒｏｆｉｌｅ濺射深度剖析

ＳＥＭ