GB/T 22572-2008表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜用多δ層參考物質(zhì)評估深度分辨參數(shù)的方法

犐犆犛７１．０４０．４０

犌０４

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２２５７２—２００８／犐犛犗２０３４１：２００３

表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜

用多δ層參考物質(zhì)

評估深度分辨參數(shù)的方法

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（ＩＳＯ２０３４１：２００３，ＩＤＴ）

２００８１２１１發(fā)布２００９１００１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜

用多δ層參考物質(zhì)

評估深度分辨參數(shù)的方法

ＧＢ／Ｔ２２５７２—２００８／ＩＳＯ２０３４１：２００３

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２００９年３月第一版２００９年３月第一次印刷

書號：１５５０６６·１３５７６２

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書

犌犅／犜２２５７２—２００８／犐犛犗２０３４１：２００３

前言

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ＩＳＯ２０３４１：２００３《表面化學(xué)分析———二次離子質(zhì)譜———用多δ層參考物質(zhì)評估深

度分辨參數(shù)的方法》。

為便于使用，本標(biāo)準(zhǔn)對ＩＳＯ２０３４１：２００３做了下列編輯性修改：

———刪除了原國際標(biāo)準(zhǔn)的前言部分；

———將本國際標(biāo)準(zhǔn)改為本標(biāo)準(zhǔn)。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：馬農(nóng)農(nóng)、何友琴、何秀坤。

Ⅰ

書

犌犅／犜２２５７２—２００８／犐犛犗２０３４１：２００３

引言

深度分辨是二次離子質(zhì)譜（ＳＩＭＳ）深度剖析的一個重要參數(shù)。然而，在ＳＩＭＳ分析中，影響濺射深

度剖析結(jié)果的因素很多，包括離子束誘導(dǎo)的混合和偏析、電荷驅(qū)動的擴(kuò)散、基體效應(yīng)、弧坑形狀和表面微

形貌等。只有了解并盡量降低以上因素的影響，才能得到最佳的深度分辨。

獲取最佳的深度分辨通常要求特定的分析條件，包括超低的一次離子束能量、掠入射、旋轉(zhuǎn)樣品、低

溫冷卻樣品等，所有這些條件在常規(guī)的ＳＩＭＳ分析中都很難滿足。此外，對每一種樣品所要求的最佳分

析參數(shù)可能很不相同。進(jìn)而，各種儀器因素，如弧坑的形狀、離子束的同一性、弧坑邊沿效應(yīng)的消除、質(zhì)

量干擾、記憶效應(yīng)、殘氣效應(yīng)等，也會影響深度分辨的各個方面。

因此，在常規(guī)的ＳＩＭＳ分析條件下，難以直接評估深度分辨。本標(biāo)準(zhǔn)闡述了前沿衰變長度、后沿衰

變長度和高斯展寬的概念，提出了每個參數(shù)的測量步驟。多δ層參考物質(zhì)就可用于評估在常規(guī)ＳＩＭＳ

分析條件下的深度分辨參數(shù)。

Ⅱ

犌犅／犜２２５７２—２００８／犐犛犗２０３４１：２００３

表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜

用多δ層參考物質(zhì)

評估深度分辨參數(shù)的方法

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)說明了在ＳＩＭＳ深度剖析中，用多δ層參考物質(zhì)評估前沿衰變長度、后沿衰變長度和高

斯展寬三個深度分辨參數(shù)的步驟。

由于樣品表面的物理和化學(xué)態(tài)受一次入射離子影響而不穩(wěn)定，本標(biāo)準(zhǔn)不適用于近表面區(qū)域的δ層。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ２２４６１表面化學(xué)分析詞匯（ＧＢ／Ｔ２２４６１—２００８，ＩＳＯ１８１１５：２００１，ＩＤＴ）

３符號

犃Ｌ，犃Ｔ比例因子。

犅，犆比例系數(shù)。

犐（狕）隨深度的二次離子強(qiáng)度。

狕深度。

狕０表觀峰的深度。

λＬ