GB/T 26571-2011特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

ICS7104010

G08..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26571—2011

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

Specificationfortheshelflifeofaspecialtygas

2011-06-16發(fā)布2011-11-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T26571—2011

前言

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC203/SC1)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位西南化工研究設(shè)計(jì)院

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人周鵬云

:。

Ⅰ

GB/T26571—2011

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了各種特種氣體至少應(yīng)達(dá)到的儲(chǔ)存期

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于采用適當(dāng)容器充裝經(jīng)分析后儲(chǔ)存?zhèn)溆玫奶胤N氣體也適用于由特種氣體生產(chǎn)廠和供

,,

應(yīng)商提供的氣體在本標(biāo)準(zhǔn)中儲(chǔ)存期是從質(zhì)量的角度來考慮的本標(biāo)準(zhǔn)不涉及與延長儲(chǔ)存有關(guān)的安

。,。

全問題

。

2術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)

。

21

.

剩余量residuallevel

留在容器中的以質(zhì)量或壓力計(jì)的剩余產(chǎn)品量該量應(yīng)盡量少以最大限度降低上次充填氣體中高

。,

含量雜質(zhì)對(duì)制作工藝的影響

。

22

.

儲(chǔ)存期shelflife

從分析完成的時(shí)間起供應(yīng)商保證氣體質(zhì)量的期限在這個(gè)期限內(nèi)應(yīng)保證準(zhǔn)確分析過的雜質(zhì)含量

,。,

保持或低于某一特定等級(jí)氣體規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)上限

。

23

.

液干liquiddry

液化氣體中所有的液相用完

。

3要求

31影響特種氣體儲(chǔ)存期的因素

.

311氣體的熱穩(wěn)定性

..。

312容器和閥門的質(zhì)量

..

材料選擇

———;

氣密性

———。

313氣體與不同物質(zhì)的共存穩(wěn)定性

..

氣體和雜質(zhì)

———;

氣體和包裝材料

———。

314充裝和分析操作

..。

315運(yùn)輸和儲(chǔ)存條件

..。

316容器中產(chǎn)品的量

..。

317閥門的氣密性是決定氣體儲(chǔ)存期的關(guān)鍵因素特別是對(duì)于低壓氣體為有效提高氣體與不同物

..,。

質(zhì)的共存穩(wěn)定性首先應(yīng)將氣體純化到一定程度使所含雜質(zhì)不再隨時(shí)間而變化同時(shí)還應(yīng)選擇合適的

,,,

包裝材料充裝前對(duì)容器內(nèi)表面進(jìn)行化學(xué)物理或鈍化處理也可以有效減少反應(yīng)隨時(shí)間的延續(xù)而產(chǎn)