單晶爐維護(hù)與修理

單晶爐維修和養(yǎng)護(hù)規(guī)程一、坩堝軸驅(qū)動部件的維修：坩堝軸驅(qū)動部件是設(shè)備的核心部件，要求各種精度都比較高，要增強(qiáng)保護(hù)，坩堝軸是多晶硅料的支撐軸，其精度高，工藝復(fù)雜，應(yīng)要點保護(hù)。1、要經(jīng)常檢查其冷卻水的狀況，省得因冷卻水不充分而被燒壞，拆下后需垂吊放置；2、坩堝軸驅(qū)動裝置的導(dǎo)柱及直線運動軸承是要點的導(dǎo)向元件，應(yīng)妥當(dāng)保護(hù)，導(dǎo)柱須保持干凈，禁止灰塵、雜物附著，如期涂抹油脂，以防繡蝕。直線軸承出廠時已作充分潤滑，必需時每隔一年加注鋰基潤滑脂一次，加油時，松開油蓋，提起油封，推出軸承，認(rèn)真沖刷后方可注入新油（見附圖9），發(fā)現(xiàn)導(dǎo)柱與軸承間有研損時，應(yīng)將軸承微轉(zhuǎn)一角度，使?jié)L珠避開研損印跡，以保證平衡運轉(zhuǎn)。導(dǎo)柱與軸承是配套裝置的，請勿裝錯；3、滾珠絲桿精美桿付、渦輪、齒輪等傳動部件，應(yīng)經(jīng)常保持干凈、潤滑，禁止灰塵等臟物污染，省得部件損壞和失靈；4、坩堝軸快速起落傳動渦輪，每兩個月打開潤滑孔在渦輪齒面上潤鋰基潤滑脂一次，請準(zhǔn)時除去漣漪管中的雜物；二、諧波減速器的維修（見附圖M11）諧波減速器是由波發(fā)生器所產(chǎn)生的機(jī)械波，經(jīng)過柔性齒輪變形，進(jìn)而產(chǎn)生齒間相對位移而達(dá)到傳動目的的一種大減速比減速機(jī)構(gòu)，使用中一般不加油，不用拆卸，在必需時，拆后裝置務(wù)必然個部件沖刷干凈，其軸承內(nèi)應(yīng)涂201潤滑脂，齒面應(yīng)加7011特鐘脂；三、籽晶提拉部件的維修（見附圖M17，M18）11、籽晶提拉部件是單晶爐的要點部件，卷輪箱是核心部分，上邊設(shè)有察看孔，用來察看內(nèi)部卷輪及軟軸鋼絲繩的工作狀況，卷輪箱左端聯(lián)有超限位箱，用來保護(hù)卷輪箱不會因其超程而被損壞，卷輪箱的右端由雙級減速器傳達(dá)轉(zhuǎn)知距，減速箱內(nèi)的渦輪渦桿傳動件，每三個月加注適合潤滑油；2、不銹鋼絲軟軸定額承載150Kg，每次開爐后，應(yīng)檢查承重頭部鋼絲繩可否燒損，若有燒損應(yīng)將燒損部分實時去掉，外層編織層拉緊并打個節(jié)扣（有條件的可用氬弧焊封頭），一根鋼絲繩可供幾次修整使用，但每次修整后，都應(yīng)核實所剩鋼絲繩長度可否能知足使用要求，不然應(yīng)更換新的軟軸鋼絲繩；3、卷輪箱內(nèi)的調(diào)整螺母（銅螺母）不得隨意拆動，省得影響軟軸的對中，若是一定要拆卸時，裝時必然要認(rèn)真調(diào)整，最后保證軟軸讀中，軟軸鋼絲繩在保留、使用、維修安裝中禁止造成任何死彎現(xiàn)象，不然在運轉(zhuǎn)中會引起抖動；四、水冷系統(tǒng)的維修每次裝爐前要檢查各水道可否通暢，要點部位的水溫巡檢傳感器安裝可否正常，拉單晶時，當(dāng)水壓報警時要實時辦理，若有漏水時要實時采納舉措，當(dāng)發(fā)現(xiàn)結(jié)垢時，應(yīng)先用醋酸進(jìn)行除垢，爾后用清水沖刷，最后用壓縮空氣吹盡余物；五、隔斷閥的維修每次裝爐前都要檢查閥口密封圈可否圓滿，檢查隔斷閥操作可否輕松、無卡滯，如發(fā)現(xiàn)問題應(yīng)實時除去；六、管道的維修2真空管道是聯(lián)接主機(jī)與真空泵的通道，真空管道可否圓滿工作直接影響著設(shè)備的正常工作，所以，也應(yīng)重視這方面的保護(hù)，除塵器中的過濾網(wǎng)每2-3爐清理一次，抽氣管道每1爐清理一次，管道的溫升直接影響著泵的壽命、抽氣速率及密封圈的壽命，應(yīng)經(jīng)常檢查管道的冷卻水，保證通暢；單晶爐常有故障現(xiàn)象、原由及除去方法故障現(xiàn)象產(chǎn)生原由除去方法1、真空密封室密封不良1、對真空室進(jìn)行分段查驗確立漏點，2、球閥處密封松動或損壞進(jìn)行除去；（磁流體密封處加注磁液）真空抽不到指標(biāo)3、真空泵有故障2、調(diào)整球閥或更換密封圈；3、參閱真空泵說明書；1、絲桿、螺母有污物，潤滑不1、沖刷絲桿絲母，加潤滑油；良；2、調(diào)整電磁離合器，控制縫隙至2、電磁閥離合器工作不良；0.4-0.6;2堝升不穩(wěn)3、齒輪帶松動或齒合不良；3、調(diào)整齒行帶，使其合理齒合；4、給定電位器接觸不良；4、更換電位器；5、測速電機(jī)有問題；5、檢查測速機(jī)刷頭或更換電機(jī)；6、電機(jī)抖動，放大倍數(shù)過大；1、坩堝軸有卡滯現(xiàn)象；1、清理波穩(wěn)管中的雜物；2、楔形帶有松動；2、調(diào)整楔形帶張力；3堝轉(zhuǎn)不穩(wěn)3、測速機(jī)有問題；3、檢查測速機(jī)刷頭或更換電機(jī)；4、坩堝軸定位軸承工作不良；4、沖刷潤滑軸承或更換軸承；5、同第二項中的第4、6條5、同第二項中的第4、6條；31、卷絲輪與牽引套聯(lián)接松動；1、緊固2、鋼絲繩有毛刺或拆痕；2、更換軟軸鋼絲繩籽晶軸起落不3、減速機(jī)潤滑不良3、沖刷潤滑4穩(wěn)，有抖動現(xiàn)象4、電刷環(huán)接觸不良4、清理、調(diào)整電刷環(huán)組件5、同第二項中的第二步、6條5、同第二項中的第二步、6條6、計算機(jī)控速輸出不穩(wěn)6、更換計算機(jī)1、測速電機(jī)有問題1、檢查測速機(jī)電刷頭，或更換電機(jī)2、楔形帶松動2、調(diào)整楔形帶張力籽晶軸轉(zhuǎn)動不穩(wěn)3、支軸承工作不良3、沖刷潤滑軸承或更換軸承4、同第二項中的第二步、64、同第二項中的第二步、66飛車1、測速機(jī)電壓開路1、查電刷環(huán)及線路1、12A8控制器零點偏正；1、調(diào)控制器零點偷轉(zhuǎn)2、計算機(jī)控速有輸出；2、將計算機(jī)控速輸出OP回零1、給定無輸出；1、檢查給定電源（印刷板）8不轉(zhuǎn)2、計算機(jī)有負(fù)信號輸出（晶升）2、將計算機(jī)OP回零3、滑環(huán)開路；3、維修滑環(huán)組件1、軟軸對中性差；1、調(diào)整對中；2、籽晶提拉部件動平衡差；2、調(diào)整配重使之達(dá)到平衡；9重錘左右搖動3、阻尼套松動或損壞；3、調(diào)整更換阻尼套；4、外界振動影響；4、除去外界振動影響；5、與限位桿干涉；5、調(diào)整限位桿；10液面抖動1、按第9項各條檢查調(diào)整；1、按相關(guān)方法辦理；42、按第2、3、4項中各條調(diào)整2、按相關(guān)方法辦理；3熱系統(tǒng)（托桿、堝托等）與坩3、調(diào)整各聯(lián)接使之緊固；堝桿聯(lián)接松動；4、檢查清理抽氣管道；4、兩抽氣口抽氣不勻；5、除去外界振動的影響；5、外界震動影響；1、按第9項各條檢查調(diào)整1、按相關(guān)方法辦理；等徑過程中出現(xiàn)112、主機(jī)水平誤差過大；2、調(diào)整主機(jī)水平；晶體扭曲現(xiàn)象3、液面溫度偏低，拉速過快；3、加大溫校量；1、電刷環(huán)組件接觸不良；1、清理、調(diào)整電刷環(huán)組件；計長顯示禁止2、計算機(jī)有問題；2、換計算機(jī)；1、測速電機(jī)接觸不良產(chǎn)生臨時拉晶過程中速度飛車現(xiàn)象（尖刺向上）；13記錄曲線出現(xiàn)尖檢修調(diào)整刷頭使之接觸優(yōu)異2、力矩機(jī)電刷接觸不良，產(chǎn)生刺臨時泊車現(xiàn)象；1、計算機(jī)控溫輸出（OP）較1、將計算機(jī)OP輸出降至800字；大；2、檢查接通側(cè)取光；14歐陸顯示斷歐2、側(cè)取光斷路；3、查接口板；3、溫度記錄儀接口板故障；15非故障報警傳感器有問題檢查傳感器同步少一相1、換交流接觸器；加熱過程中電流1、交流接觸器頭接觸不良；2、換同步變壓器；忽然降落2、同步變壓器斷頭；5加熱電壓加至1、可控硅斷路；1、換可控硅；1730V忽然回零2、脈寬電容特點差；2、換電容；1、加熱器打火；2、氬氣不純拉?。?、加熱電極與爐體間絕緣性1、清理爐內(nèi)個處；過流差；2、換相應(yīng)絕緣件4、高溫加熱后，雜質(zhì)揮發(fā)過多，拉晶過程中打火單晶爐部件拆裝一、坩堝軸的拆裝（參閱附圖M10）拆卸坩堝軸時，應(yīng)先松開水套與水套固定座的聯(lián)接螺釘，去掉軸擋圈，卸掉水套固定座，爾后松開圓螺母，卸掉帶輪，將磁流體密封部件整體取下，最后將坩堝軸上邊整體抽出，裝入時逆操作，只要注意軸承的潤滑采納真空脂潤滑，水套座內(nèi)的潤滑可用一般潤滑即可；二、電極的拆裝（見附圖M12）因為電極資料為無氧銅，所以裝時應(yīng)特別小心，切勿重?fù)?，拆裝電極時，第一卸掉水冷電纜及銅夾子，爾后拆下水嘴座，松開壓緊螺母，移去上部石英護(hù)套，將電極從上部抽出即可，裝置時，可進(jìn)行逆操作即可；三、卷絲輪的拆裝卷絲輪軸的旋轉(zhuǎn)密封采納的是磁流體密封，拆裝卷絲輪時應(yīng)盡可能不要打開磁流密封組件，1、拆去電機(jī)及減速箱（拆時做上相對地址記號，復(fù)位時按記號找正）；62、拆下軟軸網(wǎng)絲繩壓輪；3、卸掉重錘及軟軸鋼絲繩；4、拆下卷輪箱左端限位箱；5、拆下左端蓋及限位桿；6、拆下拖動限位桿的拖動圓盤；7、松開右端蓋與卷輪箱的聯(lián)接螺釘；8、將右端蓋與卷絲輪一起從右