MEMS在醫(yī)學中的應用與發(fā)展

MEMSMEMS在醫(yī)學中的應用與發(fā)展MEMS在醫(yī)學中的應用與發(fā)展李曉云 機電學院2120140162序言20世紀最有影響力的技術之一[1]。近半個世紀MEMS制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，并集約了當今科學技術發(fā)展的許多尖端成果。發(fā)展綜述生活和軍事國防帶來了深遠影響[3]。它已成為以美國、日本、德國為代表的許多發(fā)達國家研究的熱點。1988108所大學開始微電子機械系統的主要項目研究，19892005001995年財年的計劃中，將微電子機械系統視為直接關系國防與經濟發(fā)展的高技1993年就微機械對未來航天系統的潛在影響進行了調查和評估[4]90MEMS技術和產品。美國軍事研究機構國防高級研究計劃局)是MEMSHI-MEMSMEMSMEMS發(fā)MEMS2007年開始已要求所有汽車采用輪胎壓力監(jiān)測系統(TPMS)和電子穩(wěn)定控制器(ESC)等，加大MEMSMEMSMEMS產品生產的晶圓IC同步，呈現大口徑化、智能化，與人體神經元和大腦信息互IC芯片、計算機軟件、數據采集和處理技術等多位一體化發(fā)展的趨位快速滲透和發(fā)展。目前美國主要的MEMS(TI)、模擬器件(ADI)、飛思卡爾、樓氏電子(Knowles)SiTimeIMTSiliconMicrostructures(SMI)、GEInfrastructureSensing等。大部分半導體制造公司同時MEMSMEMS環(huán)境識別、分子級化學成份識別、模擬動物及人的五官和四肢能力等方向發(fā)展。2011年世界10MEMS4(1名)(第2名)(8名)ADI(9名)2011年，美國MEMS企業(yè)的總銷售額約為41.29億美元，占世界MEMS市場銷售額份額為40.5%[5]。ILG得了令人注目的成績[4]。25家大公司參與微機械工藝制造技術[4]。日本政2007MEMSMEMS相關開發(fā)。2007年夏季，日本文部科學省科學技術及學術政策局推出“尖端融合領域革新創(chuàng)造基地的形成”計劃課題——“微系統融合研究開發(fā)”啟動了產學合作項目。112007年夏季共同啟動了產學合作MEMS領域前沿的研究小組與擁有具體應用對象的企業(yè)合作，使各種MEMS2009年日本在經濟產業(yè)省的主導JMEC(JapanMEMSEnhancementConsortium)MEMS設在日本產業(yè)綜合研究所、MEMSMEMSDENSO、(Omron)Matsushita(Oki)(Murata)MEMS公司的最新技術發(fā)展動向主要有：智能視覺傳MEMS器件、智能汽車感應系統等。如：日本不僅使用機器肺臟與聲帶，還增加了機動靈活的舌頭、柔軟的上腭、嘴唇和牙齒，能夠更加清晰地讀出日本字母發(fā)音等，能模仿人類的聲音。201110MEMS公司中，4(5名)、松下(6名)、電裝(7名)、愛普生(10名)。2011MEMS產業(yè)的20.289MEMS20.1%[5]。在醫(yī)學中的應用與發(fā)展趨勢[6]。生物體本身就是一個精細的復雜系統，它形成的生物信息處理的優(yōu)異特性微電子技術[7]。實現生物醫(yī)學電子設備的集成化和微型化是生物醫(yī)學電子電子系統、生物芯片等方面，微電子技術的發(fā)展實現其微型化[8]；2)按照目前借鑒生物醫(yī)學的最新成果，在很大程度上能促進微電子技術的發(fā)展[9]。生物醫(yī)學傳感器式傳感器，熱電式傳感器，光電傳感器以及生物傳感器等[10]。制更加精確即達到分子和原子水平，從而把生物醫(yī)學帶入一個嶄新時代。[12]：充分利用CMOS工藝傳感器的研制和設計；2)充分汲取了有機物的優(yōu)點利用有機物和免疫傳感器以及微生物傳感器等。3)多傳感器的集成技術、融合與智能化技術，4)納米技術與微電子機械技術這些植入式電子系統得植入式電子系統得到飛速的發(fā)展[13]。植入式天線的設計技術。主要是解決效率與天線微型化之間的矛盾；2)RF射頻電路的設計技術。低功耗植入式集成電路植入式系統的微弱信號的提取技術。生物信號都是微弱一些前沿的數字信號處理技7)生物芯片80年代提出的，最初指的是分子電子器件。試圖把生物活性分子或有機功能分子進行組裝，構建一個微功能的單元以實現信息的獲取、[14]。上世紀90DNA/RNA[17]等芯片。生物芯片的[8]。MEMS21世紀微電子領域的一個熱點[18]。其中生物微機電系統(Bo-iMEMS)MEMS，其中最明顯MEMS可以靈敏、準確、低成本和微MEMS的微加工技術和微電子技術在固體芯片[19]。目前比較先進的生物芯片是蛋白質芯片生物傳感器[20]參考文獻[1]王淑華.MEMS傳感器現狀及應用[J].微納電子技術，2011，08：516-522.[2]趙正平.典型MEMS和可穿戴傳感技術的新發(fā)展[J].微納電子技術，2015，01：1-13.丁雯彬MEMS(英文)[A].RFID產業(yè)聯盟.2012傳感世界暨物聯網應用峰會、中國健康物聯網（上海）[C].中國電子器材總公司、中國RFID2012：1.[J].1994.[5][5]郭毅然.美日歐競相發(fā)展MEMS產業(yè)[N].中國電子報，2012-06-12010..生物傳感器在現代醫(yī)學模式中的應用[J].代電子技術，2013，20:131-135.曹相民.光電子信息工程專業(yè)的現狀及發(fā)展前景[J].產業(yè)與科技論壇，2015，03:86-87.路明,趙則祥,王長路. 我國微機械技術發(fā)展概述[J]. 中原工學院報,2010,06:64-67+75.劉英明.[J].數字技術與應用，2011，03:77+79.李國峰.[D].2011.王曉華，趙倩.生物微傳感器系統技術的發(fā)展及應用[J].學報，2013，05:477-481.張勇,張劍,熊國宏. 淺論MEMS 技術發(fā)展趨勢與應用[J]. 科技息,2010,35:123.UWB進展[J].現代電子技術，2014，10:132-136+140.楊永生MEMS[J].08:6-9..MEMS述[J].廣西科學院學報，2010，04:528-531.駱健.靜態(tài)腔室PCR 芯片的設計制造與實驗研究[D].上海交通學,2014.楊曉博.多通道集成毛細管電泳芯片檢測系統的研究[D].學,2014.薛斐CHIKVSINVJEV