標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 28632-2012 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在為使用俄歇電子能譜（AES）及X射線光電子能譜（XPS）技術(shù)進行材料表面分析時提供橫向分辨率的測量方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于需要精確了解樣品表面局部區(qū)域元素分布情況的研究與應(yīng)用場合。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，首先定義了橫向分辨率的概念，它指的是在給定條件下，能夠從兩個相鄰但不同成分或狀態(tài)的區(qū)域之間區(qū)分出信號差異的能力。對于AES和XPS來說，這意味著能夠在多小的空間尺度上準(zhǔn)確地區(qū)分出兩種物質(zhì)之間的邊界。

為了實現(xiàn)對橫向分辨率的有效測量，《GB/T 28632-2012》推薦了幾種測試方法，包括但不限于使用具有已知幾何形狀特征的標(biāo)準(zhǔn)樣品作為參考物；通過改變探測器相對于樣品的位置來掃描并記錄信號強度變化等。此外，還強調(diào)了實驗條件如入射束能量、角度等因素的選擇對于獲得準(zhǔn)確結(jié)果的重要性，并給出了相應(yīng)建議值范圍。

該標(biāo)準(zhǔn)也詳細(xì)說明了如何處理收集到的數(shù)據(jù)以計算出最終的橫向分辨率值。這通常涉及到將原始數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成易于理解的形式，比如圖形化表示，并基于特定算法識別出代表不同材料邊界的點。最后，根據(jù)這些信息確定系統(tǒng)的實際分辨能力。


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....

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  • 2012-07-31 頒布
  • 2013-02-01 實施
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GB/T 28632-2012表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率測定_第1頁
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文檔簡介

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜橫向分辨率測定

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

photoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution

(ISO18516:2006,IDT)

2012-07-31發(fā)布2013-02-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語定義符號和縮略語………………

3、、1

一般信息…………………

42

直邊法測量橫向分辨率…………………

53

柵格法測量橫向分辨率…………………

68

金島法測量橫向分辨率…………………

710

附錄資料性附錄帶聚焦射線束斑的儀器橫向分辨率測定……………

A()XXPS14

附錄資料性附錄二次電子線掃描譜橫向分辨率測定……………

B()16

附錄資料性附錄俄歇電子線掃描譜橫向分辨率測定……………

C()17

參考文獻……………………

19

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)采用翻譯法等同采用表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子能

ISO18516:2006《X

譜橫向分辨率測定

》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海市計量測試技術(shù)研究院納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人徐建陸敏吳立敏朱麗娜辛立輝何丹農(nóng)張冰

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜橫向分辨率測定

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三種條件下測量俄歇電子能譜儀和射線光電子能譜儀橫向分辨率的方法直邊

X。

法適用于橫向分辨率預(yù)期值大于的儀器柵格法適合于橫向分辨率預(yù)期值大于小于

1μm。20nm,

的儀器金島法則適用于橫向分辨率預(yù)期值小于的儀器

1μm。50nm。

附錄附錄和附錄給出了測量橫向分辨率的帶圖的實例

A、BC。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3術(shù)語定義符號和縮略語

、、

31術(shù)語和定義

.

界定的以及下列術(shù)語和定義均適用本文件

GB/T22461—2008。

311

..

橫向分辨率resolutionlateral

,

在樣品表面平面內(nèi)或在與成像光軸成直角的平面內(nèi)能可信地區(qū)分確定成分改變時所測試的距離

,。

注1應(yīng)說明平面的選取

:。

注2實際中橫向分辨率可以認(rèn)識為樣品上非常小的發(fā)射點發(fā)出的強度分布的半高寬或沿著樣

:,:(i)(FWHM)(ii)

品上與要分辨性質(zhì)有關(guān)的信號且含有意義明確的臺階函數(shù)部分進行線掃描時強度在和兩點之間

,12%88%

的距離對高斯型強度分布而言這兩個值是相等的對其他分布而言選擇其他參數(shù)也許更合適對臺階

,,。,。

函數(shù)在線掃描譜中常應(yīng)用強度在和兩點之間的距離或和兩點之間的距離對高斯分布

,20%80%16%84%。

函數(shù)后一對給出寬度

,2σ。

定義

GB/T22461—2008,5.255

注3對本標(biāo)準(zhǔn)而言首選樣品的平面測量

:,。

32符號和縮略語

.

俄歇電子能譜

AES———;

d入射在樣品表面上電子束軸對稱束徑

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