GB/T 35158-2017俄歇電子能譜儀檢定方法

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T35158—2017

俄歇電子能譜儀檢定方法

VerificationmethodforAugerelectronspectrometers

2017-12-29發(fā)布2018-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T35158—2017

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

縮略語(yǔ)和符號(hào)

3……………1

縮略語(yǔ)

3.1………………1

符號(hào)

3.2…………………1

方法原理與系統(tǒng)構(gòu)成

4……………………4

方法原理

4.1……………4

系統(tǒng)構(gòu)成

4.2……………4

計(jì)量單位與技術(shù)指標(biāo)

5……………………4

計(jì)量單位

5.1……………4

技術(shù)指標(biāo)

5.2……………5

檢定環(huán)境

6…………………6

外觀要求

6.1……………6

安裝場(chǎng)所要求

6.2………………………6

電源

6.3…………………6

環(huán)境溫度與濕度

6.4……………………6

檢定項(xiàng)目與方法

7…………………………6

能量標(biāo)檢定

7.1…………………………6

強(qiáng)度標(biāo)檢定

7.2…………………………24

橫向分辨率檢定

7.3……………………31

離子槍檢定

7.4…………………………40

荷電控制與校正檢定

7.5………………50

報(bào)告檢定結(jié)果

8……………55

檢定周期

9…………………55

參考文獻(xiàn)

……………………56

Ⅰ

GB/T35158—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位廈門(mén)大學(xué)清華大學(xué)

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)起草人姚文清岑丹霞張?jiān)雒餍旖▌⒎彝跛?/p>

:、、、、、。

Ⅲ

GB/T35158—2017

引言

俄歇電子能譜儀廣泛用于材料的實(shí)驗(yàn)性和常規(guī)性表面與界面分析為納米尺度的表面分析

(AES),

儀器我國(guó)目前有多家公司幾十臺(tái)不同型號(hào)的該類儀器由于沒(méi)有合適的檢定方法的綜合性國(guó)家標(biāo)

。。

準(zhǔn)儀器的能量標(biāo)強(qiáng)度標(biāo)濺射速率橫向分辨率等各項(xiàng)性能標(biāo)準(zhǔn)不統(tǒng)一因此需要制定檢定方法的國(guó)

,、,、,

家標(biāo)準(zhǔn)以實(shí)現(xiàn)獲取的譜圖數(shù)據(jù)的科學(xué)性和可比性這對(duì)于促進(jìn)我國(guó)光電信息能源及新材料等相關(guān)領(lǐng)

,,、

域的科技與產(chǎn)業(yè)的發(fā)展很有意義

。

Ⅳ

GB/T35158—2017

俄歇電子能譜儀檢定方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜儀的檢定方法

(Augerelectronspectrometer)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于激發(fā)源為電子束且?guī)в袨R射清潔用離子槍的俄歇電子能譜儀

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

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