GB/T 29732-2021表面化學(xué)分析中等分辨俄歇電子能譜儀元素分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)

ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T29732—2021/ISO179732016

:

代替GB/T29732—2013

表面化學(xué)分析中等分辨俄歇電子能譜儀

元素分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)

Surfacechemicalanalysis—Mediumresolutionaugerelectronspectrometers—

Calibrationofenergyscalesforelementalanalysis

ISO179732016IDT

(:,)

2021-12-31發(fā)布2022-07-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T29732—2021/ISO179732016

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………1

方法概述

5…………………2

能量標(biāo)校準(zhǔn)步驟

6…………………………3

準(zhǔn)備參考物質(zhì)

6.1………………………3

安裝樣品

6.2……………3

清潔樣品

6.3……………3

選擇能量校準(zhǔn)的譜儀設(shè)置

6.4…………4

儀器操作

6.5……………4

參考峰的測量

6.6………………………5

確定參考峰的實(shí)測動能

6.7……………6

確定儀器動能能量標(biāo)的校準(zhǔn)范圍

6.8…………………6

下一次校準(zhǔn)

6.9…………………………8

參考文獻(xiàn)

………………………9

Ⅰ

GB/T29732—2021/ISO179732016

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替表面化學(xué)分析中等分辨率俄歇電子能譜儀元素分析用能量

GB/T29732—2013《

標(biāo)校準(zhǔn)與相比除編輯性修改外主要技術(shù)變化為

》,GB/T29732—2013,,:

將文件中的分辨率更改為分辨

———“”“”。

本文件等同采用表面化學(xué)分析中等分辨俄歇電子能譜儀元素分析用能量標(biāo)

ISO17973:2016《

校準(zhǔn)

》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位清華大學(xué)中國石油大學(xué)北京

:、()。

本文件主要起草人姚文清楊立平徐同廣王雅君段建霞李展平

:、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2013GB/T29732—2013;

本次為第一次修訂

———。

Ⅲ

GB/T29732—2021/ISO179732016

:

引言

俄歇電子能譜廣泛用于材料的表面分析通過與俄歇電子峰能量和形狀比對識別樣品所

(AES)。,

含除氫和氦以外的不同元素通常能量標(biāo)的校準(zhǔn)不確定度達(dá)到時就可確定峰的歸屬本文件僅適

。3eV,

用于此準(zhǔn)確度水平的分析更高準(zhǔn)確度水平分析可參考

(ISO17974)。

本文件中指定動能能量標(biāo)的校準(zhǔn)方法用的是純銅和純鋁或純金等參考物質(zhì)因?yàn)槿毕輰υ摐?zhǔn)確

()。

度水平的影響不明顯所以文件中不包含對儀器缺陷的測試

,。

傳統(tǒng)上俄歇電子動能參考真空能級這種參考值仍被諸多分析者使用然而真空能級不易確定不

,。,

同儀器會相差以上盡管使用真空能級作為參考通常不會導(dǎo)致元素歸屬的模糊但會導(dǎo)致與

0.5eV。,,

化學(xué)態(tài)有關(guān)的高分辨測量的不確定度因此設(shè)計俄歇電子能譜和射線光電子能譜儀器時動能是以

。X,

費(fèi)米能級為參考比以真空能級做參考高根據(jù)本文件使用者能夠自由地選擇適于其工作的參

,4.5eV。,

考能級

。

Ⅳ

GB/T29732—2021/ISO179732016

:

表面化學(xué)分析中等分辨俄歇電子能譜儀

元素分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)

1范圍

本文件規(guī)定了俄歇電子能譜儀動能能量標(biāo)不確定度為時的校準(zhǔn)方法用于識別表面常規(guī)元

3eV,

素另外本文件還規(guī)定了一種用于確定校準(zhǔn)周期的方法

。,。

本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于微分模式調(diào)制幅度的峰值為

0.5%,

配有惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法具有或更高束能電子槍的譜儀

2eV,,4keV。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

表面化學(xué)分析詞匯

ISO18115(Surfacechemicalanalysis—Vocabulary)

注表面化學(xué)分析詞匯

:GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

ISO18115。

4符號和縮略語

下列符號和縮略語適用于本文件

。

俄歇電子能譜

AES

a測得的能量標(biāo)誤差

b測得的零點(diǎn)偏移誤差以電子伏特為單位

,(eV)

E校準(zhǔn)E后的動能結(jié)果以為單位

corrmeas,eV

E測得的動能以為單位

meas,eV

En