標準解讀
《GB/T 31092-2014 藍寶石單晶晶錠》是一項國家標準,主要針對藍寶石單晶晶錠的生產(chǎn)、檢測以及質(zhì)量控制等方面進行了規(guī)定。該標準適用于通過各種方法生長的藍寶石單晶體,包括但不限于泡生法(Czochralski method)、導模法(EFG, Edge-defined Film-fed Growth)等技術(shù)所制備的產(chǎn)品。
根據(jù)此標準,藍寶石單晶晶錠的質(zhì)量評價指標主要包括外觀質(zhì)量、幾何尺寸偏差、位錯密度等多個方面。其中,對于外觀的要求非常嚴格,不允許存在裂紋、氣泡等缺陷;幾何尺寸則需符合特定范圍內(nèi)的公差要求;而位錯密度作為衡量晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)完整性的重要參數(shù)之一,在本標準中也給出了具體的限定值。
此外,《GB/T 31092-2014 藍寶石單晶晶錠》還詳細描述了相關(guān)的測試方法與條件,比如使用X射線衍射儀測定晶向偏移角,采用光學顯微鏡或掃描電子顯微鏡觀察并計算位錯密度等。這些規(guī)范化的測量手段有助于保證不同廠家之間數(shù)據(jù)的一致性和可比性。
最后,標準內(nèi)還列出了包裝、標志、運輸及貯存的相關(guān)指導原則,旨在確保產(chǎn)品從出廠到最終用戶手中的整個過程中都能保持良好狀態(tài)。
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....
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文檔簡介
ICS29045
H83.
中華人民共和國國家標準
GB/T31092—2014
藍寶石單晶晶錠
Monocrystallinesapphireingot
2014-12-22發(fā)布2015-09-01實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
GB/T31092—2014
目次
前言
…………………………Ⅲ
范圍
1………………………1
規(guī)范性引用文件
2…………………………1
術(shù)語和定義
3………………1
要求
4………………………1
檢驗方法
5…………………3
檢驗規(guī)則
6…………………4
標志包裝運輸貯存和質(zhì)量證明書
7、、、……………………5
訂貨單或合同內(nèi)容
8()……………………6
附錄規(guī)范性附錄總雜質(zhì)含量的測定方法
A()…………7
附錄規(guī)范性附錄位錯密度測試方法
B()………………9
附錄規(guī)范性附錄雙晶搖擺曲線的半峰寬值的檢測方法
C()…………12
附錄規(guī)范性附錄局部光散射體氣泡包裹物及散射顆粒檢測方法
D()、、……………15
附錄規(guī)范性附錄鑲嵌孿晶的檢測方法
E()、…………18
附錄規(guī)范性附錄透光率檢測方法
F()…………………20
Ⅰ
GB/T31092—2014
前言
本標準按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別這些專利的責任
。。
本標準由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會和全國半導體設(shè)備和材料標準
(SAC/TC203)
化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口
(SAC/TC203/SC2)。
本標準起草單位協(xié)鑫光電科技江蘇有限公司中國科學院上海光學精密機械研究所常州億晶
:()、、
光電科技有限公司江蘇吉星新材料有限公司新疆紫晶光電技術(shù)有限公司
、、。
本標準主要起草人劉逸楓魏明德徐養(yǎng)毅杭寅吳劍波蔡金榮趙新儉
:、、、、、、。
Ⅲ
GB/T31092—2014
藍寶石單晶晶錠
1范圍
本標準規(guī)定了藍寶石單晶晶錠的要求檢驗方法檢驗規(guī)則及標志包裝運輸貯存和質(zhì)量證明書
、、、、、、
訂貨單或合同內(nèi)容
()。
本標準適用于藍寶石單晶晶錠產(chǎn)品可用于制造氮化鎵外延薄膜及其他用途的藍寶石單晶襯底材
,
料以下簡稱晶錠
()。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法
GB/T1554
半導體單晶晶向測定方法
GB/T1555
計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃
GB/T2828.11:(AQL)
半導體材料術(shù)語
GB/T14264
3術(shù)語和定義
界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件
GB/T14264。
31
.
藍寶石sapphire
可以用來外延生長的有確定晶向的人工生長單晶氧化鋁材料
,。
32
.
藍寶石晶錠sapphireingot
依特定軸向生長的晶體通過機械加工后能滿足切片的藍寶石棒材
,。
33
.
總長度totallength
晶錠測量的實際幾何長度
。
34
.
有效長度effectivelength
晶錠實際長度中去除晶錠內(nèi)部缺陷后的幾何長度
,。
4要求
41化學組成
.
晶錠為高純的α其總雜質(zhì)含量應(yīng)小于
-Al2O3,
溫馨提示
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