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GB/T 33140-2016集成電路用磷銅陽極_第1頁
GB/T 33140-2016集成電路用磷銅陽極_第2頁
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文檔簡介

ICS7715030

H62..

中華人民共和國國家標準

GB/T33140—2016

集成電路用磷銅陽極

Phosphorizedcopperanodeusedforintegratedcircuit

2016-10-13發(fā)布2017-09-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T33140—2016

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出

。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料有限公司寧波江豐電子材料股份有限公司

:、。

本標準主要起草人高巖何金江姚力軍曾浩劉書芹王學澤李勇軍徐學禮趙玉林劉志杰

:、、、、、、、、、、

熊曉東陳明劉秀袁海軍

、、、。

Ⅰ

GB/T33140—2016

集成電路用磷銅陽極

1范圍

本標準規(guī)定了集成電路用磷銅陽極以下簡稱磷銅陽極的要求試驗方法檢驗規(guī)則及標志包

(:)、、、

裝運輸貯存質量證明書和訂貨單或合同內容

、、、()。

本標準適用于集成電路用的各類磷銅陽極產品

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產品幾何技術規(guī)范光滑工件尺寸的檢驗

GB/T3177(GPS)

銅及銅合金化學分析方法第部分磷含量的測定

GB/T5121.22:

銅及銅合金化學分析方法第部分碳硫含量的測定

GB/T5121.44:、

銅及銅合金化學分析方法第部分鉻鐵錳鈷鎳鋅砷硒銀鎘錫

GB/T5121.2828:、、、、、、、、、、、

銻碲鉛鉍量的測定電感耦合等離子體質譜法

、、、

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

銅及銅合金平均晶粒度測定方法

YS/T347

高純銅化學分析方法痕量雜質元素含量的測定輝光放電質譜法

YS/T922

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

磷銅陽極phosphorizedcopperanode

在集成電路中采用電化學電鍍工藝制備高純銅金屬鍍層的陽極

。

4要求

41產品分類

.

411磷銅陽極按形狀分為圓形矩形和異形如三角形環(huán)形等示意圖見圖

..、(、),1。

a圓形b矩形c環(huán)形

)))

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