GB/T 40868-2021納米尺度科研生產受控環(huán)境規(guī)劃與設計

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標準

GB/T40868—2021

納米尺度科研生產受控環(huán)境規(guī)劃與設計

Planninganddesignofcontrolledenvironmentsforresearchand

productionatthenanometerscale

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T40868—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

概述

4………………………2

規(guī)劃

5………………………2

設計

6………………………3

附錄資料性噪聲評價曲線與限值

A()…………………6

附錄資料性防微振設計

B()……………9

附錄資料性納米材料風險控制

C()……………………12

參考文獻

……………………14

GB/T40868—2021

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位江蘇蘇凈科技有限公司中國電子工程設計院有限公司中天道成蘇州潔凈技

:、、()

術有限公司蘇州市計量測試院蘇州嘉合潔凈科技有限公司中國標準化協會國家納米科學中心南

、、、、、

京天加環(huán)境科技有限公司美埃中國環(huán)境凈化有限公司中電投工程研究檢測評定中心有限公司杭

、()、、

州市標準化研究院吳江市華宇凈化設備有限公司常州祥明智能動力股份有限公司北京恒泰建業(yè)工

、、、

程項目管理有限公司蘇州蘇信環(huán)境科技有限公司賀氏蘇州特殊材料有限公司

、、()。

本文件主要起草人王堯蔡杰姜皓遐蔣乃軍楊子強王其祥王大千姜偉康陳霖新張利群

:、、、、、、、、、、

朱蘭邴紹同石小雷高正周炬吳小泉葉偉強翟傳明張敏楊興宇董玉平郝胤博惠旅峰

、、、、、、、、、、、、、

肖軼群

。

Ⅰ

GB/T40868—2021

引言

納米尺度受控環(huán)境涉及多學科交叉且非常復雜其設計很難參照現有的設計資料設計建造技術

,,,、

難度高投資大建設周期長適宜的規(guī)劃設計有助于項目順利進行

、,,。

本文件總結歸納已建納米尺度受控環(huán)境的經驗提示規(guī)劃設計可能遇到的特殊問題以及項目進

,、,

程中的潛在障礙為項目規(guī)劃決策提供指南給出的相關技術要求和限值方便業(yè)主與設計團隊間的技

,。,

術協商和探討

。

本文件未詳細規(guī)定環(huán)境條件具體科研生產需求以及具體工藝設備儀器決定其環(huán)境條件

,、。

本文件并非普遍適用于所有納米技術設施的具體項目或細節(jié)設施各不相同使用時宜將本文件

。,

的一般性要求加以完善以適應具體設施的運行要求

,。

Ⅱ

GB/T40868—2021

納米尺度科研生產受控環(huán)境規(guī)劃與設計

1范圍

本文件給出了納米尺度科研生產受控環(huán)境的規(guī)劃與選址勘察設計要求等

、。

本文件適用于納米尺度科研生產受控環(huán)境的規(guī)劃與設計

。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒有規(guī)范性引用文件

。

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

納米尺度nanometerscalenanoscale

;

處于之間的尺寸范圍

1nm~100nm。

來源有修改

[:GB/T30544.1—2014,2.1,]

32

.

粒子particle

有明確物理邊界的微小物質

。

33

.

納米顆粒nanoparticle

三個維度的外部尺寸都在納米尺度的納米物體其最長軸和最短軸的長度沒有明顯差別

,。

來源

[:GB/T30544.4—2019,2.4]

34

.

污染物contaminant

對產品和工藝有不良影響的粒子非粒子分子或生物體

、、。

來源

[:GB/T25915.6—2010,2.41]

35

.

空氣化學污染物