GB/T 5275.7-2014氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體第7部分：熱式質(zhì)量流量控制器

ICS7104040

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T52757—2014/ISO6145-72009

.:

氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合

氣體第7部分熱式質(zhì)量流量控制器

:

Gasanalysis—Preparationofcalibrationgasmixturesusingdynamicvolumetric

methods—Part7Thermalmass-flowcontrollers

:

(ISO6145-7:2009,IDT)

2014-07-08發(fā)布2014-12-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合

氣體第7部分熱式質(zhì)量流量控制器

:

GB/T5275.7—2014/ISO6145-7:2009

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20151

*

書號

:155066·1-50447

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T52757—2014/ISO6145-72009

.:

前言

氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體分為以下幾部分

GB/T5275《》:

第部分校準(zhǔn)方法

———1:;

第部分容積泵

———2:;

第部分連續(xù)注射法

———4:;

第部分毛細(xì)管校準(zhǔn)器

———5:;

第部分臨界銳孔

———6:;

第部分熱式質(zhì)量流量控制器

———7:;

第部分?jǐn)U散法

———8:;

第部分飽和法

———9:;

第部分滲透法

———10:;

第部分電化學(xué)發(fā)生法

———11:。

本部分為的第部分

GB/T52757。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體第

ISO6145-7:2009《

部分熱式質(zhì)量流量控制器

7:》。

與本部分中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對應(yīng)關(guān)系的我國文件如下

:

氣體分析校準(zhǔn)混合氣體組成的測定和校驗(yàn)比較法

———GB/T10628—2008(ISO6143:2001,

IDT);

氣體分析詞匯

———GB/T14850—2008(ISO7504:2001,IDT)。

本部分由中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本部分由全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC206)。

本部分起草單位中國計(jì)量科學(xué)研究院西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

:、。

本部分主要起草人胡樹國陳雅麗

:、。

Ⅰ

GB/T52757—2014/ISO6145-72009

.:

氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合

氣體第7部分熱式質(zhì)量流量控制器

:

1范圍

的本部分詳細(xì)闡述了使用市售熱式質(zhì)量流量控制器利用純氣或混合氣連續(xù)制備含兩

GB/T5275

種或多種組分的校準(zhǔn)混合氣體的方法

。

使用本方法制備校準(zhǔn)混合氣體所能達(dá)到的最好水平如下相對測量擴(kuò)展不確定度由合成標(biāo)準(zhǔn)不確

:(

定度乘以包含因子k得到U不大于

=2)2%。

如使用預(yù)混合氣體代替純氣可制備摩爾分?jǐn)?shù)低于-6的混合氣體質(zhì)量流量的測量不是絕對

,10。

的質(zhì)量流量控制器需要單獨(dú)校準(zhǔn)

,。

這種制備方法的優(yōu)點(diǎn)是可連續(xù)制備大量混合氣體并且只要使用適當(dāng)數(shù)量的熱式質(zhì)量流量控制器

,,

就可像制備二元混合氣體一樣方便地制備多組分混合氣體

。

注氣體混合系統(tǒng)以熱式質(zhì)量流量控制器為基礎(chǔ)有些還包括商品化的計(jì)算機(jī)和自動(dòng)控制裝置

:,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

氣體分析校準(zhǔn)用混合氣體組成的測定和校驗(yàn)比較法

ISO6143(Gasanalysis—Comparison

methodsfordeterminingandcheckingthecompositionofcalibrationgasmixtures)

氣體分析校準(zhǔn)用混合氣體的制備動(dòng)態(tài)體積法第部分校準(zhǔn)方法

GB/T5275.1—20141:

(ISO6145-1:2003,IDT)

氣體分析詞匯

ISO7504(Gasanalysis—Vocabulary)

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

ISO7504。

4原理

本部分描述了使用市售熱式質(zhì)量流量控制器利用純氣或混合氣連續(xù)制備兩種或多種組分的校準(zhǔn)混

合氣體的方法將流量控制器的設(shè)定值調(diào)節(jié)至預(yù)設(shè)值可以連續(xù)