GB/T 8758-2006砷化鎵外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法

ICS77.040.01H17中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T8758—2006代替GB/T8758-1988砷化家外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法Measuringthicknessofepitaxiallayersofgalliumarsenidebyinfraredinterference2006-07-18發(fā)布2006-11-01實(shí)施中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局愛(ài)布中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)神化鑲外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法GB/T8758-2006中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行北京西城區(qū)復(fù)興門外三里河北街16號(hào)郵政編碼：100045電話：010)51299090、685220062006年10月第一版書(shū)號(hào)：155066·1-28139版權(quán)專有侵權(quán)必究舉報(bào)電話：（010)68522006

GB/T8758—2006本標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)GB/T8758—1988《砷化鏢外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法》的修訂。本標(biāo)準(zhǔn)自實(shí)施之日起代替GB/T8758-1988本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T8758—1988相比主要變動(dòng)如下-原標(biāo)準(zhǔn)表述儀器要求的3.1.3條使用了波數(shù)表示法,為了和其他條款的表述一致,改為波長(zhǎng)表示法。原標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,為測(cè)定儀器的波長(zhǎng)精度和重復(fù)性，要測(cè)量聚苯乙烯膜的吸收帶十次。但未規(guī)定是按固定周期還是在每次測(cè)量前做這項(xiàng)工作，也沒(méi)有規(guī)定如果在這十次測(cè)量結(jié)果中出現(xiàn)一次或幾次不符合要求時(shí)應(yīng)如何處理,不便于實(shí)際操作。修改后規(guī)定為每次打開(kāi)儀器按儀器說(shuō)明書(shū)的要求預(yù)熱一定時(shí)間后，在正式測(cè)量前進(jìn)行一次測(cè)量聚苯乙烯膜的吸收帶的校準(zhǔn)，本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：北京有色金屬研究總院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：王彤涵。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：-GB/T8758-1988。

GB/T8758-2006砷化家外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法范圍本標(biāo)準(zhǔn)適用于砷化鏢外延片外延層厚度的測(cè)量.測(cè)量厚度大于2m。要求襯底材料的電阻率小于0.02·cm.外延層的電阻率大于0.1·cm.2原理襯底材料與外延層的光學(xué)常數(shù)差別較大.當(dāng)紅外光入射到外延片表面時(shí).在反射光譜中產(chǎn)生干涉條紋。根據(jù)干涉條紋的極大值或極小值的波長(zhǎng)位置、襯底材料和外延層的光學(xué)常數(shù)以及光束的入射角，可計(jì)算出外延層的厚度儀器3.1雙雙光束紅外分光光度計(jì)或傅立葉紅外光譜儀，波長(zhǎng)范圍為2.5m～50m.或波數(shù)范圍為4000cm-1～200cm-!。3.2儀器的波長(zhǎng)和波長(zhǎng)重復(fù)性誤差不大于0.05gm。在10m處光譜分辨率為0.02m或更好。3.3儀器應(yīng)配有反射附件，入射角不大于30°。儀器應(yīng)配有黑體材料制成的多種孔徑的光闌。樣品4.1用于測(cè)量的樣品應(yīng)具有良好的光學(xué)表面，不應(yīng)有大面積的鈍化層.4.2襯底和外延層的導(dǎo)電類型及襯底的電阻率應(yīng)是已知的。5測(cè)量過(guò)程5.1儀器校準(zhǔn)5.1.1打開(kāi)儀器,按說(shuō)明書(shū)的要求進(jìn)行預(yù)熱。測(cè)量厚度為300m～500m的聚苯乙烯膜的吸收光譜，核對(duì)3.303m吸收帶，其結(jié)果應(yīng)滿足3.2的要求。5.1.2安裝反射附件后測(cè)量100%線，其峰谷值差應(yīng)小于8%5.2選擇掃描速度安裝反射附件。選擇襯底和外延層電阻率分別為0.008·cm和0.12㎡·cm并且在波長(zhǎng)大于25m處仍能觀察到極值的外延片，使用最慢的掃描速度記錄大于25m處的極小值的波長(zhǎng)位置。逐步提高掃描速度,觀察極小值波長(zhǎng)位置的變化，允許使用的最快掃描速度與最慢掃描速度得到的相應(yīng)極小值波長(zhǎng)之差應(yīng)小于±0.12m.5.3測(cè)量5.3.1把待測(cè)樣品放置于反射附件的窗口上,測(cè)量點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)窗口,記錄反射光譜。掃描速度滿足5.2的要求。5.3.2在低于極大值或高于極小值滿刻度的約3%處作水平線，該線與反射光譜線兩焦點(diǎn)的中點(diǎn)位置即為極值的波長(zhǎng)位置。5.