JJF 1663-2017激光測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1663—2017

激光測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforLaserMicrometers

2017-11-20發(fā)布2018-02-20實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJF1663—2017

激光測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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CalibrationSecificationfor?JJF1663—2017?

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LaserMicrometers

歸口單位全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位工信部電子第五研究所賽寶計(jì)量檢測(cè)中心

:

佛山賽寶信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司

陜西省計(jì)量科學(xué)研究院

參加單位江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院

:

青海省計(jì)量檢定測(cè)試所

中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

本規(guī)范委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1663—2017

本規(guī)范主要起草人

:

李江云工信部電子第五研究所賽寶計(jì)量檢測(cè)中心

()

李升春佛山賽寶信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司

()

常青工信部電子第五研究所賽寶計(jì)量檢測(cè)中心

()

張輝陜西省計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

王曉飛江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院

()

趙勇青海省計(jì)量檢定測(cè)試所

()

崔建軍中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJF1663—2017

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計(jì)量特性

4………………(2)

重復(fù)性

4.1………………(2)

漂移

4.2…………………(2)

示值誤差

4.3……………(2)

校準(zhǔn)條件

5………………(2)

環(huán)境條件

5.1……………(2)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備

5.2…………(2)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

6…………………(2)

校準(zhǔn)前準(zhǔn)備

6.1…………(2)

重復(fù)性

6.2………………(3)

漂移

6.3…………………(3)

示值誤差

6.4……………(3)

校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)

7………………………(4)

復(fù)校時(shí)間間隔

8…………(4)

附錄激光測(cè)微儀示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定

A………………(5)

附錄校準(zhǔn)證書信息及內(nèi)頁(yè)格式

B……………………(7)

Ⅰ

JJF1663—2017

引言

本規(guī)范是針對(duì)三角法測(cè)量的激光測(cè)微儀校準(zhǔn)制定的計(jì)量技術(shù)規(guī)范

。

本規(guī)范的編寫是以國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則

JJF1071—2010《》、JJF1001—

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義測(cè)量不確定度評(píng)定與表示為基礎(chǔ)

2011《》、JJF1059.1—2012《》

和依據(jù)新制定的計(jì)量技術(shù)規(guī)范

。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF1663—2017

激光測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于采用光學(xué)三角法測(cè)量的激光測(cè)微儀的校準(zhǔn)

。

2引用文件

測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定

JJF1094—2002

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3概述

激光測(cè)微儀以下簡(jiǎn)稱測(cè)微儀是一種利用光學(xué)三角法測(cè)量原理測(cè)量物體位移

(),

尺寸變化的測(cè)量?jī)x器主要由激光光源透鏡光學(xué)陣列接收部件信號(hào)轉(zhuǎn)換電路

(),、、、

等組成由激光光源發(fā)出的激光束垂直照射到被測(cè)物體表面形成光斑然后從另一角

。,,

度對(duì)物體表面的激光光斑進(jìn)行成像由接收部件對(duì)其進(jìn)行瞄準(zhǔn)并記憶當(dāng)被測(cè)物表面位

,。

置沿激光軸線方向產(chǎn)生位移后光學(xué)陣列接收部件感受到光斑的位置變化將變化量換

,,

算成位移變化L再通過信號(hào)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)顯示出位移量其工作原理見