JJG 508-2004四探針電阻率測(cè)試儀

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG508—2004

四探針電阻率測(cè)試儀

ResistivityMeasuringInstrumentswithFourProbeArrayMethod

-

2004-09-21發(fā)布2005-03-21實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJG508—2004

四探針電阻率測(cè)試儀檢定規(guī)程

??

??????????????

?JJG508—2004?

??

VerificationReulationofResistivit??

?????????????

gy?

代替JJG508—1987

MeasuringInstrumentswith??

Four-ProbeArrayMethod

本規(guī)程經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

20040921,

年月日起施行

20050321。

歸口單位:全國(guó)無線電計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

主要起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

參加起草單位:廣州半導(dǎo)體材料研究所

本規(guī)程委托全國(guó)無線電計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJG508—2004

本規(guī)程主要起草人:

魯效明中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人:

謝鴻波廣州半導(dǎo)體材料研究所

()

JJG508—2004

目錄

范圍……………………

1(1)

概述……………………

2(1)

計(jì)量性能要求…………

3(1)

對(duì)電阻率測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo)的要求…………………

3.1(1)

絕緣電阻的測(cè)量和絕緣強(qiáng)度的試驗(yàn)………………

3.2(2)

通用技術(shù)要求…………

4(3)

電阻率測(cè)試儀的外觀………………

4.1(3)

電阻率測(cè)試儀工作正常性的檢查…………………

4.2(3)

計(jì)量器具控制…………

5(3)

檢定條件……………

5.1(3)

檢定項(xiàng)目……………

5.2(5)

檢定方法……………

5.3(5)

檢定結(jié)果的處理……………………

5.4(8)

檢定周期……………

5.5(8)

附錄探針壓痕檢定記錄及計(jì)算方法………………

A(9)

附錄用電阻率標(biāo)準(zhǔn)樣片整體方法檢定電阻率測(cè)試儀的記錄格式………………

B(10)

附錄用標(biāo)準(zhǔn)樣片檢定電阻率測(cè)試儀各修正系數(shù)表………………

C(11)

附錄分部件檢定四探針電阻率測(cè)試儀檢定結(jié)果的處理…………

D(12)

附錄四探針電阻率測(cè)試儀檢定證書及檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁(yè)格式………………

E(14)

JJG508—2004

四探針電阻率測(cè)試儀檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于接觸式測(cè)量范圍在-33的四探針電阻率測(cè)試儀的

,10Ω·cm~10Ω·cm

首次檢定后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)對(duì)某些多功能的四探針電阻率測(cè)試儀或只能測(cè)量方

,。

塊電阻四探針測(cè)試儀也同樣適用方塊電阻的測(cè)量范圍在-24

。10Ω/□~10Ω/□。

本規(guī)程不適用于二探針三探針六探針及方型四探針電阻率測(cè)試儀的檢定

、、。

2概述

四探針電阻率測(cè)試儀以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀是用來測(cè)量半導(dǎo)體材料及工藝硅

(),

片的電阻率或擴(kuò)散層及外延層以及絕緣襯底鍍膜層方塊電阻的測(cè)量?jī)x器它主要由

,,。

電氣部分和探頭等部分組成自動(dòng)式測(cè)試儀還包括計(jì)算機(jī)及接口等部分電氣部分一般

。,

包括可調(diào)穩(wěn)流源轉(zhuǎn)換器數(shù)字顯示器換向開關(guān)等儀器和部件探頭部分一般包

、A/D、、。

括探頭夾具探頭和樣品臺(tái)其原理圖及方框圖如圖和圖所示

、,12。

圖標(biāo)準(zhǔn)樣片檢定電阻率測(cè)試儀的原理圖

1

換向開關(guān)R標(biāo)準(zhǔn)電阻探針接線無熱電勢(shì)開關(guān)R被檢標(biāo)準(zhǔn)樣片

K1—;N—;D—;K2—;X—

圖標(biāo)準(zhǔn)樣片檢定電阻率測(cè)試儀的方框圖

2

3計(jì)量性能要求

對(duì)電阻率測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo)的要求

3.1

各種型號(hào)的電阻率測(cè)試儀的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合出廠技術(shù)說明書的要求級(jí)

3.1.1