標(biāo)準(zhǔn)解讀
《YS/T 936-2013 集成電路器件用鎳釩合金靶材》是一項(xiàng)中國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),專門針對(duì)用于集成電路制造過(guò)程中作為濺射源材料的鎳釩合金靶材制定了技術(shù)要求。該標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了鎳釩合金靶材的基本化學(xué)成分、物理性能指標(biāo)、尺寸及外觀質(zhì)量等方面的規(guī)定,確保這類材料能夠滿足集成電路生產(chǎn)工藝的需求。
在化學(xué)成分方面,標(biāo)準(zhǔn)明確了鎳和釩兩種主要元素的比例范圍,并對(duì)可能存在的雜質(zhì)元素設(shè)定了最大允許含量,以保證靶材純度達(dá)到半導(dǎo)體工業(yè)的要求。物理性能上,則規(guī)定了密度、電阻率等關(guān)鍵參數(shù)的具體數(shù)值或范圍,這些性能直接影響到薄膜沉積的質(zhì)量與均勻性。
此外,對(duì)于靶材的幾何尺寸及其公差也有詳細(xì)說(shuō)明,包括但不限于直徑、厚度以及平面度等,這些都是為了確保其能夠適配不同類型的濺射設(shè)備并獲得良好的使用效果。同時(shí),還對(duì)外觀缺陷如裂紋、氣孔等進(jìn)行了限制,避免因這些問(wèn)題影響最終產(chǎn)品的性能。
如需獲取更多詳盡信息,請(qǐng)直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。
....
查看全部
- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2013-10-17 頒布
- 2014-03-01 實(shí)施
文檔簡(jiǎn)介
ICS7715040
H62..
中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
YS/T936—2013
集成電路器件用鎳釩合金靶材
Sputteringnickelvanadiumalloytargetusedinintegratedcircuitdevice
2013-10-17發(fā)布2014-03-01實(shí)施
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布
YS/T936—2013
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員歸口
(SAC/TC243)。
本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位有研億金新材料股份有限公司
:。
本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位北京有色金屬研究總院寧波江豐電子材料股份有限公司中國(guó)有色金屬工
:、、
業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所
。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人董亭義何金江劉紅賓張濤姚力軍王學(xué)澤向磊徐學(xué)禮朱曉光丁照崇
:、、、、、、、、、、
呂超雷繼峰熊曉東張殿凱李娜
、、、、。
Ⅰ
YS/T936—2013
集成電路器件用鎳釩合金靶材
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路器件用鎳釩合金濺射靶材的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸
、、、、、
貯存質(zhì)量證明書及合同或訂貨單內(nèi)容
、。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜制造用的各類鎳釩合金濺射靶材
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值
GB/T1031(GPS)
金屬平均晶粒度測(cè)定法
GB/T6394
金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則
GB/T14265、、、
變形金屬超聲檢驗(yàn)方法
GJB1580A
濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法
YS/T837-
3術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件
。
31
.
靶材target
濺射沉積技術(shù)中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽(yáng)離子撞擊下以分子原子或離子的形式
。、
脫離陰極而在陽(yáng)極表面沉積
。
32
.
靶坯targetblank
陰極上用作目標(biāo)材料的部分
。
33
.
背板backingplate
用來(lái)支撐或固定靶坯的部分靶材與背板可以通過(guò)焊接如釬焊電子束焊擴(kuò)散焊等機(jī)械復(fù)合
。(、、)、、
粘接等方式連接
。
4要求
41產(chǎn)品分類
.
411按照結(jié)構(gòu)形式分為單體和復(fù)合兩種
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個(gè)人學(xué)習(xí)、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴(yán)禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等,侵權(quán)必究。
- 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本(可閱讀打?。?,因數(shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務(wù)。
- 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁(yè),非文檔質(zhì)量問(wèn)題。
最新文檔
- 中考政治總復(fù)習(xí)第四單元自然界的水教材知識(shí)梳理
- 內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗2024-2025學(xué)年七年級(jí)上學(xué)期期中生物學(xué)試題(原卷版)-A4
- 2023年微型燈泡項(xiàng)目融資計(jì)劃書
- 養(yǎng)老院老人衣物洗滌保養(yǎng)制度
- 養(yǎng)老院老人康復(fù)理療師職業(yè)道德制度
- 《食管癌查房》課件
- 《保險(xiǎn)學(xué)邏輯體系》課件
- 2024年度汽車融資租賃與全面裝潢升級(jí)及售后服務(wù)合同3篇
- 《鼻出血搶救流程》課件
- 2024年文化旅游景區(qū)停車場(chǎng)車位租賃及旅游服務(wù)合同3篇
- 校園廢品回收前景分析報(bào)告
- 廣東省廣州市三校2023-2024學(xué)年高一上學(xué)期期末聯(lián)考數(shù)學(xué)試題(解析版)
- 山東省菏澤市2023-2024學(xué)年九年級(jí)上學(xué)期期末數(shù)學(xué)試題
- 臍帶脫垂培訓(xùn)演示課件
- 幼兒園課程體系介紹
- 集合與常用邏輯用語(yǔ)-大單元作業(yè)設(shè)計(jì)
- 機(jī)械安全-機(jī)械電氣設(shè)備-通用技術(shù)條件
- 肌肉能量技術(shù)及相關(guān)理論
- 英語(yǔ)師范專業(yè)職業(yè)生涯規(guī)劃書
- 23秋國(guó)家開放大學(xué)《企業(yè)法務(wù)》形考任務(wù)1-4參考答案
- JB4000(A)說(shuō)明書參考資料
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論