YS/T 980-2014高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T980—2014

高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Determinationofimpuritiesofhighpuritygalliumoxide—

Inductivelycoupledplasma-massspectrmetry

2014-10-14發(fā)布2015-04-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T980—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位峨嵋半導(dǎo)體材料研究所南京中鍺科技股份有限公司廣東先導(dǎo)稀材股份有限

:、、

公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉愛華孫平種娜鄭孝桃楊海燕朱贊芳陳劼劉心君

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T980—2014

高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純?nèi)趸壷须s質(zhì)元素含量的測定方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于高純?nèi)趸壷锈c鎂鈣鈦釩鉻錳鐵鎳鈷銅鋅錫鉛銦含量的測定

、、、、、、、、、、、、、、。

各元素測定范圍為-6-5

(1×10)%~(4×10)%。

2方法提要

試料經(jīng)混酸溶解制備成待測溶液后用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀進行測定獲得待測元

,(ICP-MS),

素質(zhì)量數(shù)信號以雜質(zhì)元素質(zhì)量數(shù)的信號強度為縱坐標(biāo)雜質(zhì)元素濃度為橫坐標(biāo)繪制標(biāo)準(zhǔn)加入法工作

。,

曲線進而計算所測樣品中待測元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)推薦采用附錄所列測量元素的同位素質(zhì)量數(shù)

,。A。

3試劑和材料

除非另有說明在分析中所使用的水均為去離子水電阻率

,,≥18.0MΩ/cm。

31硝酸總雜質(zhì)含量質(zhì)量分?jǐn)?shù)為

.,≤1ng/mL,70%。

32鹽酸總雜質(zhì)含量質(zhì)量分?jǐn)?shù)為

.,≤10ng/mL,65%。

33標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液

.

331混合標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液由含待測元素組成的混合標(biāo)準(zhǔn)溶液規(guī)格濃度

..:(:GSB04-1767—2004),

為

1000μg/mL。

332鈦標(biāo)準(zhǔn)溶液由國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為硝酸

..(1000g/mL)(:GF5310),2%

溶液μ

。

333釩標(biāo)準(zhǔn)溶液由國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為硝酸

..(1000g/mL)(:GF5311),2%

溶液μ

。

334錫標(biāo)準(zhǔn)溶液由國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為

..(1000g/mL)(:GSB04-1753—2004),

鹽酸溶液μ

3%。

34混合標(biāo)準(zhǔn)溶液的配置分別移取的混合標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液鈦標(biāo)準(zhǔn)溶液釩標(biāo)

.:0.01mL(3.3.1)、(3.3.2)、

準(zhǔn)溶液錫標(biāo)準(zhǔn)溶液于的容量瓶稀釋至刻度此時混合標(biāo)準(zhǔn)溶液各待測雜質(zhì)元

(3.3.3)、(3.3.4)100mL,,

素的濃度為

0.1μg/mL。

35氬氣純度

.:>99.999%。

4儀器

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀經(jīng)過優(yōu)化儀器工作條件得出儀器工作參數(shù)參見附錄

:,,B。

5分析步驟