單晶硅項目環(huán)評報告書

銀笛（揚州）微電子有限公司建設(shè)項目環(huán)境影響報告書PAGEPAGE46 銀笛（揚州）微電子有限公司年產(chǎn)300萬單晶硅拋光片、60萬硅外延片項目環(huán)境影響報告書（簡本）銀笛（揚州）微電子有限公司目錄TOC\o"1-2"\h\z\u1 總論 11.1 任務(wù)由來 11.2 評價目的 11.3 編制依據(jù) 21.4 評價原則 41.5 評價重點 51.6 評價因子 51.7 評價等級 51.8 評價范圍 61.9 評價工作技術(shù)路線 72 建設(shè)項目周圍地區(qū)環(huán)境概況 82.1 自然環(huán)境概況 82.2 社會環(huán)境狀況 132.3 經(jīng)濟開發(fā)區(qū)總體規(guī)劃 132.4 開發(fā)區(qū)環(huán)境功能區(qū)劃 182.5 評價標(biāo)準 182.6 建設(shè)項目環(huán)境保護目標(biāo) 203 工程分析 223.1 本項目概況 223.2 生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗 273.3 主要生產(chǎn)、公用及貯運設(shè)備 353.4 公用工程 353.5 污染源分析 374 污染防治措施 504.1 大氣污染防治措施評述 504.2 水污染防治措施評述 524.3 噪聲污染防治措施評述 564.4 固體（廢液）污染防治措施評述 564.5 非正常排放防范措施 574.6 綠化 574.7 排污口規(guī)范化設(shè)置 594.8 環(huán)保投資及“三同時” 595 清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟分析 625.1 產(chǎn)業(yè)政策相符性分析 625.2 清潔生產(chǎn) 625.3 循環(huán)經(jīng)濟 646 環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評價 656.1 大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測與評價 656.2 地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測及評價 677 環(huán)境影響預(yù)測及評價 727.1 大氣環(huán)境影響預(yù)測及評價 727.2 地表水環(huán)境影響分析 857.3 聲環(huán)境影響分析 857.4 固廢環(huán)境影響分析 878 施工期環(huán)境影響分析與防治 888.1 施工期環(huán)境影響分析 888.2 施工期環(huán)境影響防治 899 總量控制分析 929.1 總量控制要求 929.2 總量控制原則 929.3 總量控制因子 929.4 總量控制指標(biāo) 929.5 總量平衡方案 9310 環(huán)境風(fēng)險評價 9410.1 風(fēng)險評價等級的確定 9410.2 風(fēng)險識別 9510.3 源項分析 9610.4 事故防范 9710.5 結(jié)論 10111 項目廠址可行性分析 10211.1 項目選址與規(guī)劃相容性 10211.2 項目選址與評價區(qū)域的環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀的相容性分析 10211.3 本項目實施后對周圍環(huán)境的影響 10312 公眾參與 10412.1 建設(shè)項目環(huán)評公眾參與公示 10412.2 公眾意見問卷調(diào)查 10413 環(huán)境經(jīng)濟損益分析 10913.1 經(jīng)濟效益分析 10913.2 社會效益分析 10913.3 環(huán)境效益分析 10914 環(huán)境管理與監(jiān)控計劃 11114.1 環(huán)境管理 11114.2 環(huán)境監(jiān)控計劃 11214.3 排污口規(guī)范化設(shè)置 11315 結(jié)論與建議 11515.1 結(jié)論 11515.2 建議 119總論任務(wù)由來新加坡銀笛科技（控股）私人股份有限公司，經(jīng)過多年的攻關(guān)，攻克了功率場控器件用高阻厚外延和亞微米、深亞微米CMOS器件薄層外延制造技術(shù)，該成果得到了國家相關(guān)部委及高科技產(chǎn)品認定中心的認定。新加坡銀笛科技（控股）私人股份有限公司已在上海金橋出口加工區(qū)投資建設(shè)了外延片的生產(chǎn)基地，由于現(xiàn)目前國內(nèi)半導(dǎo)體材料市場嚴重供不應(yīng)求，為了滿足國內(nèi)外半導(dǎo)體市場的需求，決定在江蘇省儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)投資設(shè)立銀笛（揚州）微電子有限公司，年產(chǎn)300萬硅拋光片、60萬硅外延片，主要生產(chǎn)4~12英寸的硅拋光片以及6~8英寸的硅外延片。本項目的建設(shè)有利于加速集成電路芯片主要材料的國產(chǎn)化進程。按照《中華人民共和國環(huán)境保護法》、《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》和《建設(shè)項目環(huán)境保護管理條例》的有關(guān)規(guī)定，應(yīng)當(dāng)在工程項目可行性研究階段對該項目進行環(huán)境影響評價。為此，銀笛（揚州）微電子有限公司于2006年8月委托蘇州工業(yè)園區(qū)新東方環(huán)境保護科學(xué)研究所承擔(dān)該項目環(huán)境影響報告書的編制工作。我單位接受委托后，即認真研究該項目的有關(guān)資料，并踏勘現(xiàn)場的社會、自然環(huán)境狀況，調(diào)查、收集有關(guān)工程現(xiàn)有狀況及擬建項目資料，通過對項目所在區(qū)域的環(huán)境特征和本項目的工程特征進行深入分析，編寫了環(huán)境影響報告書。通過環(huán)境影響評價，了解建設(shè)項目周圍的環(huán)境狀況，預(yù)測建成后對周圍水氣聲環(huán)境的影響程度和范圍，并提出防治污染措施，減緩建設(shè)項目對周圍環(huán)境的影響，為建成后的環(huán)境管理提供科學(xué)依據(jù)。主要環(huán)境保護目標(biāo)本項目概況本項目名稱、建設(shè)地點、建設(shè)性質(zhì)、投資總額、環(huán)保投資項目名稱：銀笛（揚州）微電子有限公司年產(chǎn)300萬單晶硅拋光片、60萬硅外延片項目建設(shè)地點：江蘇省儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)新區(qū)建設(shè)性質(zhì)：外商投資新建投資總額：新建項目投資總額8000萬美元，其中環(huán)保投資576萬元本項目建設(shè)內(nèi)容銀笛（揚州）微電子有限公司向儀征市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)提出生產(chǎn)、辦公用房及生產(chǎn)設(shè)施的建設(shè)要求，儀征市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)按要求建造廠房及相應(yīng)的設(shè)施，然后租賃給銀笛(揚州)微電子有限公司使用。租用廠房面積約48680㎡，包括外延片生產(chǎn)廠房、拋光片生產(chǎn)廠房、綜合動力站、化學(xué)品庫、辦公樓、門衛(wèi)等。設(shè)施主要包括供水系統(tǒng)、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、變配電系統(tǒng)、應(yīng)急電源、通信信息及生命安全系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、制冷及供熱系統(tǒng)、環(huán)保設(shè)施（廢水處理站、廢氣處理設(shè)施）、消防設(shè)施、勞動保護安全設(shè)施以及室外工程等。項目主體工程與設(shè)計能力情況見表3-1，公用及輔助工程的組成見表3-2。占地面積、廠區(qū)布置占地面積：本項目總占地面積133334m2廠區(qū)布置：廠區(qū)包括生產(chǎn)用房、辦公樓、輔助生活設(shè)施、甲類化學(xué)品倉庫、倉庫、成品倉庫、氣體供應(yīng)站、綜合動力站及發(fā)展預(yù)留用地等職工人數(shù)、工作制度職工人數(shù)：公司職工總?cè)藬?shù)220人，其中技術(shù)人員160人。工作制度：預(yù)計年工作日355天，每天工作24小時，年工作時數(shù)為8520小時。生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗生產(chǎn)工藝流程一、單晶硅拋光片制作固定固定切片快速退火倒角分檔檢測研磨磨片檢測腐蝕A/B分檔檢測粗拋光RCA清洗檢測純水洗檢測包裝出貨單晶硅棒水S1W1S2W2S3純水洗氮氣氧氣磨片劑S4水W3水純水洗A：混酸B：堿液氮氣A：G7、8S11B：S12水A：W11B：W12純水洗水W13純水洗精拋光研磨劑S13精磨劑S14水W14RCA清洗W4~10S6~10G2~6圖3-1單晶硅拋光片工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖溶劑G1S5清洗W15~21S15~19G9~13水W22生產(chǎn)工藝流程具體介紹如下：固定：將單晶硅棒固定在加工臺上。切片：將單晶硅棒切成具有精確幾何尺寸的薄硅片。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。退火：雙工位熱氧化爐經(jīng)氮氣吹掃后，用紅外加熱至300~500℃倒角：將退火的硅片進行修整成圓弧形，防止硅片邊緣破裂及晶格缺陷產(chǎn)生，增加磊晶層及光阻層的平坦度。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。分檔檢測：為保證硅片的規(guī)格和質(zhì)量，對其進行檢測。此處會產(chǎn)生廢品。研磨：用磨片劑除去切片和輪磨所造的鋸痕及表面損傷層，有效改善單晶硅片的曲度、平坦度與平行度，達到一個拋光過程可以處理的規(guī)格。此過程產(chǎn)生廢磨片劑。清洗：通過有機溶劑的溶解作用，結(jié)合超聲波清洗技術(shù)去除硅片表面的有機雜質(zhì)。此工序產(chǎn)生有機廢氣和廢有機溶劑。RCA清洗：通過多道清洗去除硅片表面的顆粒物質(zhì)和金屬離子。具體工藝流程如下：SPM清洗SPM清洗純水洗DHF清洗純水洗APM清洗HPM清洗純水洗DHF清洗純水洗圖3-2RCA清洗工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖硫酸、雙氧水氫氟酸氨水、雙氧水鹽酸、雙氧水氟化氫GSW4GSW5GSW6W7W8W9W10GSGS純水洗熱水洗純水洗水水水水水水水SPM清洗：用H2SO4溶液和H2O2溶液按比例配成SPM溶液，SPM溶液具有很強的氧化能力，可將金屬氧化后溶于清洗液，并將有機污染物氧化成CO2和H2O。用SPM清洗硅片可去除硅片表面的有機污物和部分金屬。此工序會產(chǎn)生硫酸霧和廢硫酸。DHF清洗：用一定濃度的氫氟酸去除硅片表面的自然氧化膜，而附著在自然氧化膜上的金屬也被溶解到清洗液中，同時DHF抑制了氧化膜的形成。此過程產(chǎn)生氟化氫和廢氫氟酸。APM清洗： APM溶液由一定比例的NH4OH溶液、H2O2溶液組成，硅片表面由于H2O2氧化作用生成氧化膜（約6nm呈親水性），該氧化膜又被NH4OH腐蝕，腐蝕后立即又發(fā)生氧化，氧化和腐蝕反復(fù)進行，因此附著在硅片表面的顆粒和金屬也隨腐蝕層而落入清洗液內(nèi)。此處產(chǎn)生氨氣和廢氨水。HPM清洗：由HCl溶液和H2O2溶液按一定比例組成的HPM，用于去除硅表面的鈉、鐵、鎂和鋅等金屬污染物。此工序產(chǎn)生氯化氫和廢鹽酸。DHF清洗：去除上一道工序在硅表面產(chǎn)生的氧化膜。磨片檢測：檢測經(jīng)過研磨、RCA清洗后的硅片的質(zhì)量，不符合要求的則從新進行研磨和RCA清洗。腐蝕A/B：經(jīng)切片及研磨等機械加工后，晶片表面受加工應(yīng)力而形成的損傷層，通常采用化學(xué)腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕，用混酸溶液去除損傷層，產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸；腐蝕B是堿性腐蝕，用氫氧化鈉溶液去除損傷層，產(chǎn)生廢堿液。本項目一部分硅片采用腐蝕A，一部分采用腐蝕B。分檔監(jiān)測：對硅片進行損傷檢測，存在損傷的硅片重新進行腐蝕。粗拋光：使用一次研磨劑去除損傷層，一般去除量在10~20um。此處產(chǎn)生粗拋廢液。精拋光：使用精磨劑改善硅片表面的微粗糙程度，一般去除量1um以下，從而的到高平坦度硅片。產(chǎn)生精拋廢液。檢測：檢查硅片是否符合要求，如不符合則從新進行拋光或RCA清洗。檢測：查看硅片表面是否清潔，表面如不清潔則從新刷洗，直至清潔。包裝：將單晶硅拋光片進行包裝。二、硅外延片制作純水洗純水洗硅襯底材料檢測外延生長測試檢驗真空包裝外延爐石英管清洗HCl+N2、H2、SiHCl3、PH3、B2H6、N2、石英、石墨G14S20、S21混酸G17~18S23水洗純水W26圖3-3硅外延生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖圖3-4外延爐石英管清洗工序及產(chǎn)污節(jié)點圖S24水SPM清洗純水洗堿清洗純水洗硫酸、雙氧水水水氨水G15S22W23W24G16S23W25生產(chǎn)工藝流程具體介紹如下：純水洗：簡單清洗，去除硅襯底材料表面的表面雜質(zhì)。外延生長：外延爐經(jīng)氯化氫和氮氣吹掃清洗后，通入SiHCl3和H2，為了滿足硅片的電學(xué)性能，還要摻入50ppm的特種氣體PH3或B2H6，紅外加熱至1100~1200℃下，通過化學(xué)氣相沉積法在硅襯底材料上生長一層與襯底材料具有相同晶格排列的單晶硅，形成單晶硅外延片。有99%的SiHCl3、PH3、B2H6參加反應(yīng)。此工序產(chǎn)生的廢氣主要是氯化氫，還有一些沒有反應(yīng)的PH3、B2H6和SiHCl3SPM清洗：去除硅片表面的雜質(zhì)。此處產(chǎn)生硫酸霧和廢硫酸。堿洗：去除上一道工序在硅片表面形成的氧化膜。測試檢驗：測量外延層厚度和電特性參數(shù)、片內(nèi)厚度和電特性均勻度、片與片間的重復(fù)性及雜質(zhì)顆粒等是否符合相應(yīng)的指標(biāo)。此處會產(chǎn)生一些廢品。真空包裝：通過工藝真空系統(tǒng)對產(chǎn)品進行真空包裝。外延爐石英管清洗：在外延生長中會在外延爐的石英管上沉積一些雜質(zhì)。主要原輔料及能源消耗主要原輔料、能源消耗見表3-3。主要生產(chǎn)、公用及貯運設(shè)備項目主要的生產(chǎn)、公用、貯運設(shè)備見表3-5。公用工程供電項目用電由開發(fā)區(qū)110KV的變電所提供，日用電量約153600kwh。供水項目供水由開發(fā)區(qū)的給水管網(wǎng)提供，開發(fā)區(qū)內(nèi)建有日供水能力20萬噸的自來水廠二座。供熱為了滿足生產(chǎn)工藝中對熱源的需要以及解決冬天的采暖問題，本項目采用蒸汽供熱，年消耗的蒸汽10萬噸有開發(fā)區(qū)的供熱管網(wǎng)提供。純水制備項目設(shè)有一套超純水制備設(shè)施，其制備能力為110t/h，根據(jù)生產(chǎn)需要每天制備純水2099.8t/d，產(chǎn)生的濃水和反沖洗水642t/d作為清下水排放，其超純水制備工藝流程如下：自來水自來水加絮凝劑原水箱原水泵機械過濾器活性炭吸附器熱交換器5μ保安過濾Ⅰ級高壓泵器Ⅰ級RO裝置器Ⅱ級高壓泵器Ⅱ級RO裝置器真空脫氣裝置中間水箱中間水泵EDI裝置氮封純水箱純水泵拋光樹脂床TOC殺菌器器超過濾器器生產(chǎn)工藝用水水箱水泵循環(huán)冷卻系統(tǒng)器冷卻器圖3-5超純水制備工藝流程圖清洗裝置清洗裝置pH調(diào)節(jié)加阻垢劑排水項目采用雨污分流、清污分流的排水體制。廢水包括生產(chǎn)廢水1808.3t/d、生活污水49t/d和清潔排水648t/d。生產(chǎn)廢水經(jīng)過有效預(yù)處理達到接管標(biāo)準后與生活污水通過開發(fā)區(qū)管網(wǎng)排入真州污水處理廠集中處理，達標(biāo)后排入長江儀征段。清潔排水通過雨水管網(wǎng)排入附近河流。氫氣、氮氣的供應(yīng)生產(chǎn)工藝中需要的氫氣、氮氣由大宗氣體供應(yīng)商在本廠區(qū)建造配套氣站，供應(yīng)氫氣和氮氣。氫氣制備原理：通過水電解便可得到普通氫氣，經(jīng)過催化除氧，吸附干燥和過濾除塵后獲得高純氫氣；氮氣制備原理：變壓吸附制氮采用碳分子篩為吸附劑。一定的壓力下，碳分子篩對空氣中的氧的吸附遠大于氮，因此通過可編程序控制氣動閥的啟閉，A、B兩塔可以交替循環(huán)，加壓吸附、減壓脫附，完成氧氮分離，得到所需純度的氮氣。污染源強及污染物排放量分析（1）大氣污染物產(chǎn)生及排放情況項目在生產(chǎn)過程中排放的大氣污染物主要包括生產(chǎn)工藝廢氣：甲苯、異丙醇、HF、HCl、H2SO4、NOx、NH3、SiHCl3、PH3、B2H6。有組織排放廢氣項目在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有組織排放廢氣的種類與產(chǎn)生環(huán)節(jié)見表3-6。銀笛（揚州）微電子有限公司對生產(chǎn)中的工藝廢氣采取的治理措施為：甲苯廢氣采用活性碳吸附，去除效率達到80%；酸性廢氣用堿液進行噴淋吸收，去除率為≥90%；對堿性廢氣采用酸液進行噴淋吸收，去除效率為95%以上；對特種廢氣HCl、SiHCl3、PH3、B2H6廢氣采用濕式外延氣體清洗器去除，SiHCl3、HCl、B2H6的去除效率≥99%。擬建工程大氣污染物三本帳情況見表3-7。無組織排放廢氣擬建項目所用的氫氟酸采用0.5L的PVC瓶存儲；鹽酸、硝酸、硫酸、氫氧化鈉溶液采用0.5L或3L的玻璃品包裝存儲；氨水采用3L或4L的PVC瓶存儲；硅外延片制作需要的特種廢氣HCl、SiHCl3、PH3和B2H6用鋼瓶柜存儲，鋼瓶柜自帶減壓裝置、閥門盤。項目的生產(chǎn)車間設(shè)計為密閉的車間，廢氣收集效率較高，達到99%。實際物料裝運、使用、貯存和廢氣收集過程中廢氣污染物的無組織排放情況見表3-8。（2）水污染物產(chǎn)生及排放情況項目各類廢水的來源、類別及排放量詳見3-9。依據(jù)儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)環(huán)境影響評價與環(huán)境保護規(guī)劃，擬建項目所排生產(chǎn)廢水應(yīng)在廠內(nèi)處理達到污水處理廠的接管后與生活污水通過開發(fā)區(qū)的管網(wǎng)排入真州污水處理廠進行深度處理，處理達標(biāo)后統(tǒng)一排入長江儀征段。建設(shè)項目水污染物的三本帳見表3-10。（3）噪聲污染產(chǎn)生及排放情況本項目噪聲主要來源于各類機械設(shè)備，如冷凍機、廢氣塔、空壓機、鍋爐風(fēng)機、真空泵等。主要設(shè)備噪聲源產(chǎn)生情況3-11。對噪聲采取的主要防治措施為：選用技術(shù)先進低噪聲的設(shè)備、對設(shè)備進行隔聲減震、消聲吸聲等措施，使廠界噪聲達到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準》(GB12348-90)中的3類標(biāo)準的要求。（4）固體廢物產(chǎn)生及排放情況建設(shè)項目產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片表面處理產(chǎn)生的廢有機溶劑、廢活性炭、表面處理廢物（包括廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿）、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等，具體產(chǎn)生與排放處置情況見表3-17。工程中采取的固體廢物處理措施為：廢有機溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿和含氟污泥，屬于國家規(guī)定的危險廢物，委托具有相應(yīng)處理資質(zhì)的單位進行處置；廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等可由有關(guān)單位回收利用；生活垃圾等按照環(huán)衛(wèi)部門的有關(guān)要求進行處置。污染防治措施大氣污染防治措施評述大氣污染源根據(jù)工程分析，擬建項目的主要大氣污染源有：單晶硅拋光片制作產(chǎn)生的甲苯、異丙醇、HF、HCl、硫酸霧、NH3、NOx；硅外延片制作產(chǎn)生的硫酸霧、NH3、HCl、SiHCl3和微量的PH3、B2H6；外延爐的石英管清洗產(chǎn)生HF、NOx。大氣污染防治措施及可行性分析銀笛（揚州）微電子有限公司根據(jù)同類型企業(yè)廢氣治理措施的經(jīng)驗，對工程中的各種廢氣采取了技術(shù)可行、經(jīng)濟合理、可操作性較強的治理方案。廢氣處理主要工藝具體如下：（1）有機廢氣清洗工序產(chǎn)生的有機廢氣甲苯、異丙醇通過集氣罩、風(fēng)管導(dǎo)入吸附設(shè)備，利用活性炭的表面吸附力去除甲苯、異丙醇，凈化后的廢氣通過排氣筒直接排入大氣。甲苯和異丙醇的去除率可達80%以上。具體工藝流程見圖4-1。廢氣廢氣吸附設(shè)備風(fēng)管集氣罩引風(fēng)機排放圖4-1有機廢氣處理系統(tǒng)流程圖（2）酸、堿廢氣酸性或堿性廢氣通過集氣罩收集，由抽風(fēng)機將其抽至填充式廢氣洗滌塔，用稀堿液或稀酸液進行噴淋吸收處理，凈化后的廢氣通過排氣筒直接排入大氣，所產(chǎn)生的廢氣洗滌水進入廢氣洗滌循環(huán)水池，該水池中的排污水進入廢水處理系統(tǒng)進行處理。酸、堿廢氣系統(tǒng)處理能力分別為80000m3/h，15000m3/h。具體處理工藝流程見圖4-2。洗滌液洗滌液廢氣洗滌塔主風(fēng)管支風(fēng)管引風(fēng)機廢氣洗滌循環(huán)水池進入廢水處理系統(tǒng)排放圖4-2酸、堿廢氣處理系統(tǒng)流程圖洗滌塔采用氣液逆向吸收方式處理，即吸收液霧撒而下形成小水滴，氣體由塔底向上逆流而上，使氣體充分接觸。采用具疏松表面的填充濾料，較大的表面積，可使氣體、液體停留時間延長，提高吸收效率。凈化后的廢氣通過排氣筒排入大氣。酸性廢氣（HF、HCl、NOx、硫酸霧）的去除效率達到90%，堿性廢氣（NH3）的去除效率達到95%以上。（3）特種廢氣對外延生產(chǎn)工序產(chǎn)生的特種廢氣HCl、SiHCl3以及微量的PH3和B2H6經(jīng)過收集后進入濕式外延清洗器，采用5段水噴淋和水洗方式對外延尾氣進行充分的水洗和稀釋，將其中絕大部分的HCl、SiHCl3、B2H6和微量的PH3溶解于水，經(jīng)過水洗后的尾氣在設(shè)備中被大量的空氣稀釋，再通過管道向室外高空排放；廢氣洗滌水進入廢水處理設(shè)施處理。濕式外延清洗器設(shè)有手動的旋轉(zhuǎn)刮板裝置，用于清理尾氣入氣口處的附著物粘附在入氣口的管壁造成堵塞；并采用氮氣密封裝置，將入氣口清理裝置的尾氣與外界隔離，確保沒有尾氣泄漏；通過水流量表和調(diào)節(jié)閥，用于水流量調(diào)節(jié)，以滿足使用；采用不銹鋼做骨架，增加強度和仿腐蝕能力；其他均采用透明PVC材料，抗腐蝕和阻燃能力強，同時還便于觀測內(nèi)部的工作狀況；設(shè)備結(jié)構(gòu)簡潔、防爆、可靠性高。特種廢氣HCl、SiHCl3和微量B2H6的去除率達到99%，微量PH3的去除率約1%。上述各種廢氣治理措施是半導(dǎo)體、IC企業(yè)普遍采用、經(jīng)驗較成熟的方案。只要加強管理、嚴格按照廢氣治理措施進行運營，本項目中產(chǎn)生的廢氣污染物在滿足達標(biāo)排放的前提下，會盡可能的減少向周圍環(huán)境的排放量，使其對大氣環(huán)境的影響得到合理的控制與減緩。水污染防治措施評述廢水處理工藝擬建項目廢水設(shè)施建設(shè)遵循雨污分流、清污分流、分質(zhì)處理的原則。根據(jù)工程中廢水來源、廢水水質(zhì)的不同，將廢水按種類分為切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水、酸性廢水、堿性廢水、含氟廢水、含氨廢水、一般清洗水、廢氣洗滌水、生活污水和清下水（包括鍋爐排水、純水制備產(chǎn)生的濃水、空調(diào)系統(tǒng)排水）。其中生產(chǎn)工藝廢水產(chǎn)生量為1778.3t/d，廢氣洗滌水為30t/d，生活污水49t/d。擬建工程所排總量為1857.3t/d，廢水中的主要污染因子為：COD、SS、氟化物、NH3-N、TP。根據(jù)建設(shè)項目的實際情況，并結(jié)合開發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃與環(huán)境保護規(guī)劃，擬建項目對所產(chǎn)生的各種廢水采取的處理排放方案為：①含氟廢水含氟廢水來源于單晶硅拋光片的清洗工序、外延爐石英管的清洗。含氟廢水排至生產(chǎn)廢水處理站相應(yīng)的集水池。含氟廢水采用化學(xué)沉淀法進行處理。廢水先進入混凝反應(yīng)槽，在凝反應(yīng)槽內(nèi)投加H2SO4、PAC、PCM、Ca(OH)2，然后進入沉淀池進行固液分離。廢水再進入進入廢水調(diào)節(jié)池。沉淀池污泥經(jīng)污泥濃縮，用污泥泵送至污泥脫水機干化后運至指定地點填埋。②酸堿廢水酸堿廢水主要來自于各清洗工序、廢氣洗滌水，此類廢水排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)節(jié)池中。由于酸堿廢水中主要成分是無機酸、堿，故采用化學(xué)中和法處理。在反應(yīng)槽中投加NaOH（或Ca(OH)2）、H2SO4使廢水pH值調(diào)節(jié)為6-9。③切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水切片倒角用水噴淋硅粉產(chǎn)生的切片倒角廢水；研磨廢水主要來源于研磨清洗工序；拋光廢水主要來源于拋光清洗工序。此類廢水的主要成分為硅粉，先在使用點附近設(shè)沉淀池,然后排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)節(jié)池中，再用泵送入混凝反應(yīng)槽進行沉淀處理。④一般廢水一般廢水來自拋光片的最后一道清洗和外延片的第一道清洗水，此類廢水較為清潔，直接排至混合廢水調(diào)節(jié)池中，與其他廢水一起處理。⑤生活污水根據(jù)開發(fā)區(qū)的要求，建設(shè)后的生活污水經(jīng)化糞池簡單處理后，進入真州污水處理廠集中處理。經(jīng)過廢水處理設(shè)施處理過的廢水達到真州污水處理廠的接管標(biāo)準，與生活污水接入真州污水處理廠處理達到《城鎮(zhèn)污水處理廠排放標(biāo)準》（JB18198-2002）表1中一級B級標(biāo)準后，統(tǒng)一排入長江儀征段，廢水排放標(biāo)準見表4-1。廢水處理設(shè)施總排出口設(shè)有氟化物、PH值的自動監(jiān)控儀表，并設(shè)有常規(guī)化學(xué)分析儀器，定時檢測水中有害成分，監(jiān)控生產(chǎn)廢水處理效果。具體廢水工藝流程見圖4-3。含氟廢水含氟廢水廢水調(diào)節(jié)池沉淀槽混凝反應(yīng)槽HF調(diào)節(jié)池出水槽自動過濾帶酸性廢水堿性廢水一般廢水混凝反應(yīng)槽中間水槽沉淀槽Ca(OH)2、H2SO4、PAC、PAMP1P2P3P4污泥槽外運處理壓濾機達標(biāo)排放研磨廢水拋光廢水沉淀池圖4-3廢水處理工藝流程圖Na(OH)2、H2SO4、PAC、PAM污泥處理回用處理系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)產(chǎn)生的污泥自流到污泥槽進行污泥的濃縮脫水，脫水的對象是污泥中的空隙水，濃縮的目的是為了減少污泥體積。濃縮后的污泥由泵送入到廂式壓濾機，脫水的泥餅裝袋后委托處理。污泥濃縮池、貯泥罐、廂式壓濾機產(chǎn)生的濾液經(jīng)過濾液儲池收集后泵入綜合廢水調(diào)節(jié)池。真州污水處理廠概況真州污水處理廠一期工程設(shè)計規(guī)模為2.5萬t/d,主要接納生活污水和工業(yè)廢水。真州污水處理一期工程已在2005年10月建成投入試運行。真州污水處理廠服務(wù)范圍主要包括儀征主城區(qū)、汽車工業(yè)園、揚州化學(xué)工業(yè)園（管道路以東）、儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)（包括船舶工業(yè)園）等范圍。真州污水處理廠廢水處理工藝采用改良的A2/O工藝，污泥處理采用一體化帶式濃縮脫水機。工藝流程見圖4-4。真州污水處理廠尾水處理達到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準》(GB18918-2002)中的一級B標(biāo)準后排入長江儀征段。圖4-4圖4-4真州污水處理廠廢水處理工藝流程圖改良A2/O曝氣池泥餅外運回流鼓風(fēng)機房紫外線殺毒沉渣外運粗格柵進水泵房沉砂池細格柵二沉池接觸消毒出水至長江儀征段排江泵污泥泵房儲泥濃縮脫水間剩余污泥進進水其工藝主要特點如下:①污染物去除效率高,運行穩(wěn)定;②采用A2/O工藝,可將經(jīng)過一級物理處理后的污水、通過厭氧、缺氧、好氧的三個生物處理過程，將水中的BOD、COD、SS、氨氮、磷酸鹽同時去除；③污泥沉降性能好；④能較好的耐受沖擊負荷；⑤出水水質(zhì)穩(wěn)定。建設(shè)項目在污水收集范圍之內(nèi)。建設(shè)項目廢水排放量為1857.3t/d,僅為污水處理廠一期規(guī)模的14.3%，在其處理能力之內(nèi)。本項目廢水經(jīng)廠區(qū)自建廢水處理設(shè)施處理后各項污染物濃度均低于接管標(biāo)準限值。目前儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的污水管網(wǎng)正在積極建設(shè)中，計劃在建設(shè)項目投產(chǎn)前將全部完工并投入使用，本項目建設(shè)期為一年，與污水處理廠處理廢水及儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水管網(wǎng)建設(shè)能夠銜接。因此從接收水量、接管標(biāo)準、時間和管網(wǎng)布設(shè)等方面綜合考慮，本項目廢水排入真州污水處理廠是可行的。噪聲污染防治措施評述①選用低噪聲設(shè)備；②設(shè)置減振、隔振基礎(chǔ)：對有振動的設(shè)備設(shè)置減振臺、隔振基礎(chǔ)以減少噪聲產(chǎn)生和傳遞；③隔聲、吸音處理：對空壓機組、冷凍機組產(chǎn)生高噪聲的設(shè)備，設(shè)置隔音門窗，墻面采取吸音板。以減少噪聲的對外傳播。此外，采用封閉式廠房、隔聲墻壁，隔聲墻壁、隔聲窗等措施隔離噪音，利用建筑物隔聲減輕污染；同時在廠區(qū)加強綠化也可降低噪聲對裝置區(qū)外的影響。經(jīng)上述治理后可有效的減少各類噪聲源在廠區(qū)內(nèi)外的擴散，降低噪聲對環(huán)境造成的污染，廠區(qū)附近環(huán)境噪聲基本能達到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準》中的Ⅲ類標(biāo)準。固體（廢液）污染防治措施評述建設(shè)項目產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片表面處理產(chǎn)生的廢有機溶劑、廢活性炭、表面處理廢物（廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿）、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等，固體廢物產(chǎn)生總量為1961t/a。本項目根據(jù)各種固體廢物的產(chǎn)生來源、組成及性質(zhì)，對照《國家危險廢物名錄》，將固體廢物分為危險廢物和一般固體廢物。再依據(jù)其可利用情況，分別采取與之相應(yīng)的處理/處置措施。具體方案如下：（1）危險廢物:對屬于國家規(guī)定危險廢物之列的固體廢物，必須委托有資質(zhì)的處置單位進行妥善處理。其中廢有機溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿、含氟污泥屬于危險廢物，應(yīng)按照危險廢物處置的有關(guān)規(guī)定，委托具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進行無害化處理。（2）一般固體廢物：廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等具有一定再利用價值的廢物，由相應(yīng)的廢品回收部門進行收購；對員工辦公與生活中產(chǎn)生的生活垃圾，在廠內(nèi)定點收集儲存，按照當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護和衛(wèi)生管理部門的要求統(tǒng)一處置。通過上述措施，擬建項目產(chǎn)生的各種固體廢物的處置/處理率達到了100%，沒有直接外排。非正常排放防范措施（1）對廢水處理裝置進水水質(zhì)進行常規(guī)監(jiān)測，及時調(diào)整運行參數(shù)，確保穩(wěn)定達標(biāo)。（2）加強安全管理，建立崗位責(zé)任制，避免因管理不當(dāng)、操作失誤等，造成不達標(biāo)排放。（3）對水泵、閥門等定期檢修維護，防止跑、冒、滴、漏。（4）對各種化學(xué)藥品的儲存與使用，要嚴守管理制度與操作要求，嚴防泄露、著火等意外事故，消除安全隱患（5）制定定時巡檢制度，對污水、廢氣處理設(shè)施非正常情況及時發(fā)現(xiàn)、及時處理，盡量減少污染物外排。綠化綠化在防治污染保護環(huán)境方面起著特殊作用。綠色植物具有吸附塵埃、吸收CO2、NO2、SO2、凈化空氣、減弱噪聲、調(diào)節(jié)溫度濕度、改善小氣候的功能。因此，在加強“三廢”治理的同時，搞好綠化環(huán)境，美化廠容，改善勞動條件，增強職工健康，提高工作效率具有積極的作用。1：綠化原則在廠區(qū)綠化設(shè)計中，主要以喬、灌木以及草地相結(jié)合的自然式布局為主，其主要優(yōu)點為：利用多種植物在空間上的配合，可以充分吸收塵埃，吸收CO2、NO2、SO2等氣體，削減污染物的排放量，有效的減弱噪聲：充分發(fā)揮多種植物在形體、姿態(tài)、色彩等多方面美學(xué)特征，通過和諧、對比、變化、統(tǒng)一等原則，有機結(jié)合，體現(xiàn)樹木群落的整體美。喬木、灌木、草地組合遵循以下幾放面的協(xié)調(diào)與統(tǒng)一：（1）樹木的大小喬木與灌木均有大小之分，各種樹又表現(xiàn)不同的高矮尺度。喬、灌木的妥善搭配，可使樹叢具有豐富的層次感。在配置中要綜合考慮整體中各樹木的平、立面關(guān)系，不同高度的樹木做到錯落有致。（2）常綠與落葉常綠樹可以穩(wěn)定地保持廠區(qū)四季綠貌。落葉樹一般季相特色比較明顯，尤其是花木和一些入秋后葉色呈黃、橙、紅、紫等色彩的樹種，在落葉后仍具有優(yōu)美姿態(tài)。發(fā)揮常綠與落葉之所長，結(jié)合它們的高矮尺度合理組合。（3）樹木的栽植樹木栽植有孤植、對植、列植、從植和群植、林植等多種。其中以列植、從植和群植方式為主，在具體應(yīng)用中根據(jù)具體情況結(jié)合起來應(yīng)用。（4）草地的配置廠區(qū)綠化中鋪植草坪是一項重要的、具有普遍意義的綠化項目。廠區(qū)中裸露的地面（道路除外）應(yīng)全部用草皮覆蓋。2．綠化方案廠區(qū)綠化采用集中與分散相結(jié)合的方式進行。（1）廠區(qū)空地較多，采用集中綠化方式，大片空地以裝飾性草坪為主。該類草種的選擇，應(yīng)具有低矮、枝密葉細和本身生長整齊的特點，且以常綠草種作為理想。常用種類有天鵝絨芝草、野牛草、羊胡子草等。在草坪中間孤植、對植、列植、從植一些高大的喬木，主要起點綴作用，可以采用開花喬木并具有顯著色彩效果的樹種，如合歡、玉蘭、泡桐、木棉、巨紫荊等都是喬木觀花樹種；著色率較高的樹種有：紫薇、紅楓、紫葉李、楓香、三角楓、黃櫨、銀杏、柿樹、黃連木、烏桕、池杉、重陽木、石楠、白蠟等。（2）道路兩旁綠化以種植行道樹為主，考慮在道路兩側(cè)種植高大喬木。形成行列式的林蔭道。在廠區(qū)主干道兩側(cè)，還種植綠籬、灌木，形成多層次觀賞景觀。主干道可以選用棕櫚、櫸樹、香樟等為骨干，輔之以女貞、廣玉蘭等常綠喬木。中層可選用珊瑚、紫薇、月季等開花灌木，地層草坪綠化。廠外主干道種植鉆天揚、白樺、云杉。車間人行道兩側(cè)采用側(cè)柏、小葉黃楊等綠籬進行綠化，亦可設(shè)置條帶花池，種植季節(jié)性花卉。生活次干道選用香樟、合歡、梧桐等園林樹種，輔之以夾竹桃、紫薇等灌木及草本花卉等植物。（3）在辦公生活區(qū)周圍種植景觀樹，樹種選用紫穗槐、垂柳或側(cè)柏等。并布置花壇、花架，種植四時花草，沿步行小道兩側(cè)設(shè)植綠籬，花卉在整個廠區(qū)中的應(yīng)用不如樹木和草坪那樣廣泛，只是做重點裝飾的材料，但在辦公生活區(qū)布置比重應(yīng)大一些。其布置方式有規(guī)則式和自然式兩種，規(guī)劃時又分為花壇、花境、花臺等幾種方式。一般用一、二年生草花和宿根性花卉，不同花卉應(yīng)彼此參差交錯，疏密相間，并注意景觀的層次要求。（4）廠區(qū)邊界以種植高大喬木為主，上層應(yīng)以高大楊樹、槐樹、水杉等為主，中層以女貞、廣玉蘭等常綠喬木為主，輔之以梧桐、紫荊、金絲桃等，低層以結(jié)縷等草皮綠化。3.綠化面積建設(shè)項目綠化面積約占總占地面積的38.8%。排污口規(guī)范化設(shè)置（1）廢水排放口規(guī)范化設(shè)置本新建項目廢水包括生活污水和生產(chǎn)廢水，生活污水排入污水廠，生產(chǎn)廢水經(jīng)自建污水處理站處理達標(biāo)后排入污水廠。按《江蘇省排污口設(shè)置及規(guī)范化整治管理辦法》[蘇環(huán)控（97）122號]，建設(shè)項目廠區(qū)的排水體制必須實施“雨污分流”制，公司設(shè)一個廢水總排放口，一個雨水排放口。同時排污口必須進行規(guī)范化建設(shè)，便于采樣、監(jiān)測，并設(shè)置排污口標(biāo)志。（2）廢氣排氣筒（煙囪）規(guī)范化設(shè)置建設(shè)項目廢氣排放口必須進行規(guī)范化建設(shè)，按要求裝好標(biāo)志牌，廢氣排氣筒高度應(yīng)符合國家大氣污染物排放標(biāo)準的有關(guān)規(guī)定。（3）固定噪聲污染源規(guī)范化標(biāo)志牌設(shè)置固定噪聲污染源對邊界影響最大處，應(yīng)設(shè)置噪聲監(jiān)測點，根據(jù)上述原則并兼顧廠界形狀在邊界上設(shè)置噪聲監(jiān)測點同時設(shè)置標(biāo)志牌。（4）固體廢物貯存（處置）場所規(guī)范化設(shè)置露天貯存工業(yè)固體廢物的，應(yīng)當(dāng)設(shè)置專用的貯存設(shè)施或堆放場地；并根據(jù)實際情況采取苫布遮蓋或適時灑水等，以防二次揚塵污染。固體廢物貯存（處置）場所應(yīng)在醒目處設(shè)置標(biāo)志牌。環(huán)保投資及“三同時”建設(shè)項目環(huán)保投資清單見表4-2；污染治理措施“三同時”見表4-3。清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟分析產(chǎn)業(yè)政策相符性分析銀笛（揚州）微電子有限公司是新加坡銀笛科技（控股）私人股份有限公司在儀征市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)新區(qū)投資8000萬美金建立的，制作單晶硅拋光片和硅外延片，按照《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》（GB/T4757-2002），本項目屬于C4061電子元件及組件制造。本項目符合國家發(fā)改委、商務(wù)部《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》（2004年修訂）中“鼓勵外商投資產(chǎn)業(yè)目錄”制造業(yè)中第二十部分第10條“半導(dǎo)體、元器件專用材料開發(fā)、生產(chǎn)”與國家發(fā)改委、科技部、商務(wù)部《當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點領(lǐng)域指南》（2004年度）信息中的第18項“電子材料”中的相關(guān)內(nèi)容；符合省經(jīng)貿(mào)委2004年《江蘇省工商領(lǐng)域鼓勵投資的產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)品和技術(shù)導(dǎo)向目錄》中制造業(yè)類第十九項電子及通信設(shè)備制造業(yè)第3項和蘇發(fā)改投資發(fā)[2004]198號《江蘇省鼓勵投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》中制造業(yè)類第八項電子及通信設(shè)備制造業(yè)第4項的內(nèi)容；符合國家發(fā)展和改革委員會令2005年第40號《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》（2005年本）鼓勵類第二十四項：“信息產(chǎn)業(yè)”中第23條“新型電子元器件制造”的內(nèi)容。綜上所述，本項目的建設(shè)符合國家的相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策。清潔生產(chǎn)清潔生產(chǎn)是對企業(yè)提出要求，從原料、生產(chǎn)、產(chǎn)品和服務(wù)全過程，減少和節(jié)約原材料、能源，淘汰有毒材料；不斷采取改進設(shè)計工藝、采用先進的工藝技術(shù)與設(shè)備、改善管理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，減少或者避免生產(chǎn)、服務(wù)和產(chǎn)品使用過程中污染物的產(chǎn)生和排放，以減免或者消除對人類健康和環(huán)境的危害。本項目為半導(dǎo)體單晶硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)，具有特種工藝，特種原材料和特種設(shè)備的特點，為此對項目的清潔生產(chǎn)進行分析和提出存在的問題。生產(chǎn)工藝與設(shè)備a、本項目為單晶硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)。單晶硅棒經(jīng)切、磨、拋、清洗而成，在進行機械拋光的同時，用化學(xué)方法做表面處理，即消除應(yīng)力，又保證硅片表面平整度，再經(jīng)過超純清洗技術(shù)去除硅片加工過程中產(chǎn)生的表面污染；硅外延片則以每臺外延爐為單元組成生產(chǎn)流程，硅襯底材料經(jīng)過簡單清洗后進入外延爐，通過化學(xué)氣相淀積法在硅襯底材料上生長一層單晶硅的同質(zhì)外延片。生產(chǎn)工藝流程簡單，各生產(chǎn)制程配料合理，技術(shù)穩(wěn)定，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的前提下，做到了生產(chǎn)工藝的清潔性。b、特種氣體三氯硅烷、磷化氫、乙硼烷、氯化氫存于進口鋼瓶柜，氫氣、氮氣、高純氮由大宗氣體供應(yīng)商在廠區(qū)內(nèi)建站制造，這些氣體通過氣體管道、分配閥供給，使用量相對較少，不與人體和環(huán)境接觸，具有泄漏警報裝置。c、輔助材料主要是硫酸、鹽酸、硝酸、氫氟酸、混酸、雙氧水、氫氧化鈉溶液和氨水等清洗液，清洗方式采用浸漬清洗，清洗液均多次重復(fù)使用，定期更換并分類用專用容器存放，收集后委托有資質(zhì)的單位處理。d、項目選用的生產(chǎn)設(shè)備均為進口設(shè)備，計算機程序控制，使用清潔能源，氧化爐和外延爐采用電加熱的方法，濕式外延氣體清洗器、酸堿廢氣洗滌塔的凈化效率較高，成套設(shè)備及使用均通過國際或歐洲相關(guān)機構(gòu)的認證和培訓(xùn)，運行安全可靠。單位產(chǎn)品的物耗和排放項目生產(chǎn)單位產(chǎn)品的能耗、物耗和單位產(chǎn)物量見表5-1。清潔生產(chǎn)保障措施清潔生產(chǎn)是要求從原材料、生產(chǎn)工藝到產(chǎn)品服務(wù)的全過程控制，徹底改變單純的末端治理的污染防治模式，因此，必須建立完善可靠的保障體系，把清潔生產(chǎn)管理放在首要位置，才能保障保證清潔生產(chǎn)的落實，因此建議銀笛（揚州）微電子有限公司采取以下清潔生產(chǎn)保障措施：（1）成立清潔生產(chǎn)管理機構(gòu)，建立獎懲考核目標(biāo)責(zé)任制度。清潔生產(chǎn)管理機構(gòu)應(yīng)負責(zé)整個公司各個生產(chǎn)環(huán)節(jié)的清潔生產(chǎn)管理工作，制定清潔生產(chǎn)管理規(guī)程和獎懲考核目標(biāo)，把控制使用化學(xué)物品、節(jié)能、降耗納入到生產(chǎn)管理目標(biāo)中。（2）開展清潔生產(chǎn)審計工作，由公司總經(jīng)理任審計小組組長，為開展清潔生產(chǎn)審計工作奠定良好基礎(chǔ)。審計小組應(yīng)制定并實施減少能源，水和原材料使用，消除或減少產(chǎn)品和生產(chǎn)過程中有害物質(zhì)的使用，減少各種廢物排放量。（3）加強業(yè)務(wù)培訓(xùn)和宣傳教育工作，使每個職工樹立節(jié)能意識，環(huán)保意識，保障清潔生產(chǎn)的目的順利實施。循環(huán)經(jīng)濟循環(huán)經(jīng)濟主要遵循“減量化、再利用、資源化”三大原則，本項目以科技進步為動力，以清潔審查為載體，以提高資源能源的利用效率、減少廢物排放為主要目的，努力構(gòu)建全新的循環(huán)經(jīng)濟發(fā)展體系。（1）本項目對生產(chǎn)中排放的廢氣采取分類的收集方式，確保負壓操作，對酸、堿廢氣采用填充洗滌塔處理；特種廢氣采用專用的濕式外延氣體清洗器處理，在保證各污染物達標(biāo)排放的前提下，盡量降低向周圍環(huán)境排放的污染物總量。（2）在清洗方式上采用淋洗、噴洗的方法，酸、堿廢氣的噴淋液多次重復(fù)利用，循環(huán)冷卻系統(tǒng)的水循環(huán)利用，大大節(jié)約新鮮水用量。（3）本項目使用的硫酸、鹽酸、氫氟酸、硝酸、雙氧水、氨水和氫氧化鈉溶液等清洗液重復(fù)利用。（4）項目產(chǎn)生的危險廢物全部委托處理，普通固廢最大限度的利用，各種固體廢物取向明確。以上措施可有效的降低生產(chǎn)成本，減少廢水污染物及固體廢物的產(chǎn)生量，“變廢為寶”，從源頭上削減污染物的產(chǎn)生，亦可減少后續(xù)污染治理費用，符合循環(huán)經(jīng)濟的要求。綜上所述，建設(shè)項目符合清潔生產(chǎn)以及循環(huán)經(jīng)濟的要求。環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評價大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測與評價大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀（1）監(jiān)測布點、監(jiān)測項目在以建設(shè)項目所在地為中心的評價范圍內(nèi)，按環(huán)境功能區(qū)與主導(dǎo)風(fēng)向相結(jié)合的布點原則，共布設(shè)3個大氣監(jiān)測點，監(jiān)測點位、監(jiān)測項目及所屬功能區(qū)見表1。具體位置見附圖2-2。監(jiān)測點編號點位名稱方位距離m監(jiān)測項目所在環(huán)境功能G1建設(shè)項目所在地——二類區(qū)G2蒲心村南100二類區(qū)G3園區(qū)管委會西偏北1700二類區(qū)（2）監(jiān)測結(jié)果通過監(jiān)測結(jié)果的統(tǒng)計分析，可得知各監(jiān)測點PM10、NO2、SO2、氟化物、氨、氯化氫小時濃度值和日平均濃度值都沒有出現(xiàn)超標(biāo)現(xiàn)象；硫酸霧、異丙醇、甲苯均未檢出，G3（園區(qū)管委會）監(jiān)測點的氟化物也未檢出。地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測及評價地表水環(huán)境質(zhì)量（1）斷面和監(jiān)測點布設(shè)斷面監(jiān)測點布設(shè)為：長江斷面為每斷面布設(shè)3個測點，分別離北岸50m、100m、250m。取樣位置為水下0.5m。（2）水質(zhì)現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果長江儀征段水質(zhì)尚可，長江（Ⅰ～Ⅲ斷面）評價江段各斷面除SS外其余各監(jiān)測指標(biāo)：pH、COD、氨氮、氟化物標(biāo)準指數(shù)Pij均小于1，均達到了《地表水環(huán)境質(zhì)量》（GB3838-2002）Ⅲ類水質(zhì)標(biāo)準限值，能滿足地表水Ⅲ類水體功能要求。環(huán)境噪聲現(xiàn)狀評價（1）監(jiān)測布點在廠界周圍共布設(shè)8個測點。具體布點見附圖3-1。（2）監(jiān)測結(jié)果監(jiān)測結(jié)果與標(biāo)準值比照評價表明，目前周圍聲環(huán)境質(zhì)量較好，各測點晝夜監(jiān)測值均達標(biāo)。環(huán)境影響預(yù)測及評價大氣環(huán)境影響預(yù)測有風(fēng)氣象條件下，正常工況和非正常工況下各污染物（NO2、NH3、氟化物、氯化氫）排放對周圍環(huán)境的影響很小。在各類穩(wěn)定度下顆粒物、氯化氫、氨、氮氧化物、氟化物的最大落地濃度均小于標(biāo)準限值。靜小風(fēng)氣象條件下，正常工況和非正常工況下各污染物（煙塵、NO2、NH3、氟化物、氯化氫）排放對周圍環(huán)境的影響雖然大于有風(fēng)氣象條件，但各穩(wěn)定度下NO2、NH3、氟化物、氯化氫的最大落地濃度均小于標(biāo)準限值，對周圍環(huán)境影響較小。無組織排放的氟化氫、氯化氫、硫酸霧、氨氣、氮氧化物的廠界濃度達標(biāo)。無組織排放的衛(wèi)生防護距離為100米。地表水環(huán)境影響預(yù)測正常排放：建設(shè)項目廢水經(jīng)預(yù)處理后排入真州污水處理廠處理，最終達標(biāo)排入長江儀征段，在正常情況下，不會對長江儀征段水質(zhì)產(chǎn)生大的影響。事故排放：由于事故時廢水均進入事故池，不會排入水體，因此不會對地表水環(huán)境產(chǎn)生不利影響。聲環(huán)境影響預(yù)測建設(shè)項目廠界各預(yù)測點的晝間、夜間噪聲預(yù)測值均可達到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準》中相應(yīng)標(biāo)準的要求。因此待項目建成后，其周圍噪聲能夠達到標(biāo)準要求。固廢環(huán)境影響分析建設(shè)項目產(chǎn)生的固廢（液）均得到妥善處置，不向環(huán)境排放，因此不會對環(huán)境產(chǎn)生有害影響?？偭靠刂品治隹偭靠刂埔蜃痈鶕?jù)《江蘇省排放污染物總量控制暫行規(guī)定》的要求，結(jié)合建設(shè)工程的具體特征，確定本項目的總量控制因子為：大氣污染總量控制因子：NOx、甲苯、異丙醇、硫酸霧、氯化氫、氟化氫、氨氣、三氯硅烷、磷化氫、乙硼烷；廢水總量控制因子：COD、SS、NH3-N、TP、氟化物；固體廢物總量控制因子：工業(yè)固體廢物?？偭靠刂浦笜?biāo)根據(jù)工程分析核算結(jié)果，結(jié)合總量控制的基本原則和要求，該項目廢水污染物排放的總量進行統(tǒng)一申報。污染物排入污水廠的量、環(huán)境的總量及其控制指標(biāo)建議值，具體數(shù)值列于表10-1?？偭科胶夥桨副卷椖繛樾陆椖?，污染物總量控制首先考慮落實個項目污染治理措施，實現(xiàn)污染物達標(biāo)排放，然后在技術(shù)經(jīng)濟合理條件下，盡可能減少污染物對周圍環(huán)境的排放量。項目排放的污染物總量應(yīng)向當(dāng)?shù)丨h(huán)保主管部門申請，有環(huán)保部門在區(qū)域內(nèi)進行調(diào)劑，確保區(qū)域內(nèi)的污染物排放總量平衡。根據(jù)儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的規(guī)劃情況，COD、SS、NH3-N、TP 納入真州污水處理廠排放總量之中，氟化物和大氣污染排放指標(biāo)向當(dāng)?shù)丨h(huán)保部門申請，在區(qū)域內(nèi)平衡調(diào)劑。銀笛（揚州）微電子有限公司將接受環(huán)保部門的污染物排放總量的分配與監(jiān)控。環(huán)境風(fēng)險評價風(fēng)險評價結(jié)論本項目使用的特種廢氣PH3、B2H6、HCl其實用量很少，存儲量也很少，采用特總氣體柜存儲；對于氫氟酸、硫酸、鹽酸、硝酸、混酸、氨水和氫氧化鈉溶液采用合理的存儲方式存放于化學(xué)品倉庫中。根據(jù)相關(guān)導(dǎo)則判定，本項目不夠成重大危險源，進行二級評價。本項目的風(fēng)險類型可能是火災(zāi)、爆炸、泄露，此類事故發(fā)生的風(fēng)險值遠小于化工企業(yè)風(fēng)險統(tǒng)計值，因此本項目的風(fēng)險是可接受的。事故防范事故防范措施（1）合理布置總平面和工藝布局，主體建筑劃分為辦公區(qū)、拋光生產(chǎn)區(qū)、外延生產(chǎn)區(qū)、綜合動力站、倉庫和輔助生活設(shè)施。廠區(qū)設(shè)置環(huán)行通道，建筑物間距滿足規(guī)劃要求，保持充分緩沖空間和人物隔離距離。（2）易爆區(qū)域的防范對具有爆炸危險的區(qū)域（氣體交接區(qū)、為期處理間等）設(shè)有防暴與泄爆面積和安全的泄爆方向；內(nèi)墻采用250毫米厚的鋼筋砼墻防爆墻體；內(nèi)門均做防爆門，入口處設(shè)有急救措施，地面采用不發(fā)火地面，氣體交接間、為期處理間設(shè)有事故排風(fēng)系統(tǒng)，且采用防爆排風(fēng)機。（3）化學(xué)藥品的防范集中使用化學(xué)液的拋光片、外延片清洗間需設(shè)緊急噴淋洗眼器及安全沖淋裝置。使用點設(shè)有局部排風(fēng)，保證室內(nèi)良好的工作環(huán)境，化學(xué)藥品設(shè)專人保管。執(zhí)行國家關(guān)于化學(xué)危險品運輸、儲存、使用制度和操作規(guī)程的規(guī)定，配備現(xiàn)場急救設(shè)備、藥品，從事生產(chǎn)人員均培訓(xùn)持證上崗。（4）特種氣體的防范特種氣體輸送管道及管件的安裝、使用遵守國家壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定，配備泄漏顯示報警和防爆裝置，（5）用電安全所有電氣設(shè)備的金屬外殼、金屬底座、電纜金屬包裝層、電纜保護鋼管以及所有金屬支架均與接地裝置連接，以保證安全。（6）火災(zāi)的防范設(shè)有一套完整的火災(zāi)報警、消防聯(lián)動控制系統(tǒng)及消防滅火系統(tǒng)是重大的安全措施。事故應(yīng)急預(yù)案（1）應(yīng)急預(yù)案運作描述本應(yīng)急預(yù)案是針對公司可能發(fā)生事故，加以規(guī)劃其應(yīng)變架構(gòu)工作。故在事故發(fā)生時，企業(yè)根據(jù)發(fā)生的環(huán)境風(fēng)險事故類型，依照事故風(fēng)險等級劃分的內(nèi)容判定可能產(chǎn)生的事故風(fēng)險程度等級，并由現(xiàn)場指揮員視事件發(fā)生狀況啟動相應(yīng)的應(yīng)急等級，應(yīng)變?nèi)藛T應(yīng)立即依照計劃展開應(yīng)變救災(zāi)工作。（2）第一級應(yīng)變時，以現(xiàn)場主管為應(yīng)變指揮人員，負責(zé)第一級應(yīng)變計劃進行應(yīng)急搶救工作。（3）第二和第三級應(yīng)變時，由現(xiàn)場指揮員視事件發(fā)生狀況激活相應(yīng)的應(yīng)急等級。若為第二等級災(zāi)害，則發(fā)布全廠室內(nèi)、外廣播，執(zhí)行第二級應(yīng)變計劃，通知所有應(yīng)變組織，由廠務(wù)處最高主管或其代理人擔(dān)任廠內(nèi)應(yīng)急現(xiàn)場指揮員。當(dāng)應(yīng)急領(lǐng)導(dǎo)指揮部總指揮到達現(xiàn)場時，指揮工作則由其接管，此時廠內(nèi)應(yīng)變組織及廠外支持單位，應(yīng)立即采取必要應(yīng)變行動。（4）若事故有可能波及廠外，則啟動第三級應(yīng)變計劃。第三級應(yīng)變應(yīng)由消防大隊、安監(jiān)局等當(dāng)?shù)刂鞴懿块T統(tǒng)籌指揮，廠內(nèi)應(yīng)急總指揮協(xié)助指揮。事故應(yīng)急措施（1）緊急關(guān)斷、緊急停車生產(chǎn)裝置、管線如發(fā)生意外狀況時，緊急將閥門關(guān)閉，防止泄漏源持續(xù)泄漏。緊急停車的命令由現(xiàn)場指揮員下達，操作班人員執(zhí)行停止生產(chǎn)作業(yè)，保安人員負責(zé)災(zāi)區(qū)四周戒備和非應(yīng)變?nèi)藛T引導(dǎo)。（2）危險化學(xué)品、燃料的火災(zāi)/爆炸應(yīng)急措施對廠區(qū)內(nèi)的初期火