半導(dǎo)體制造廠緊急應(yīng)變程序

半導(dǎo)體制造廠緊急應(yīng)變程序第1頁(yè)/共26頁(yè)各緊急應(yīng)變小組職責(zé)緊急應(yīng)變救災(zāi)處理流程緊急應(yīng)變疏散流程緊急應(yīng)變程序第2頁(yè)/共26頁(yè)緊急應(yīng)變組織1.若數(shù)種意外事故同時(shí)發(fā)生,則依火災(zāi)氣體外泄化學(xué)品泄漏電力中斷次序，以較前者認(rèn)定事故指揮官。2.虛線框內(nèi)表一、二級(jí)意外事故的最大應(yīng)變組織；全圖表示三、四級(jí)意外事故的最大應(yīng)變組織。(健康中心)急救小組(保安人員)(FAC)(財(cái)務(wù)處)(工安單位)二級(jí)以下意外事件財(cái)務(wù)人員計(jì)劃人員事故指揮官ERC救災(zāi)小組廠務(wù)小組疏散小組管制小組公關(guān)人員總負(fù)責(zé)人(FAB區(qū)域:MFG部經(jīng)理)(權(quán)責(zé)單位及支持單位工程人員)(工安環(huán)保單位及相關(guān)單位)(指揮官直屬主管)(事故責(zé)任區(qū)單位主管)三、四級(jí)意外事件第3頁(yè)/共26頁(yè)各組別職責(zé)事故指揮官：負(fù)責(zé)指揮災(zāi)害現(xiàn)場(chǎng)之應(yīng)變處理，包括了解意外狀況、擬定及執(zhí)行適當(dāng)?shù)膽?yīng)變計(jì)劃、召集并指揮緊急應(yīng)變小組、分派任務(wù)以控制意外事故。ERC：ERC的作用是三個(gè)中心：監(jiān)控中心、應(yīng)變中心、聯(lián)絡(luò)中心。負(fù)責(zé)全廠區(qū)安全狀況的監(jiān)控、意外事件第一時(shí)間處理、緊急應(yīng)變資料及器材的保存與提供、相關(guān)訊息的收集與宣布等等。第4頁(yè)/共26頁(yè)各組別職責(zé)計(jì)劃人員：在救災(zāi)過(guò)程中擔(dān)任咨詢者，提供涉及到其領(lǐng)域的建議。由工安人員及相關(guān)部門擔(dān)任。救災(zāi)組的劃分：按救災(zāi)職責(zé)分為搶救組、搜尋組、支援組。各小組的體職責(zé)為：搶救組：負(fù)責(zé)現(xiàn)場(chǎng)的救災(zāi)活動(dòng)，從災(zāi)情控制一直到現(xiàn)場(chǎng)恢復(fù)；

搜尋組：負(fù)責(zé)現(xiàn)場(chǎng)受難人員的搜尋及搶救；

支援組：協(xié)助上述二組準(zhǔn)備器材、防護(hù)具、管制暖熱區(qū)人員進(jìn)出、協(xié)助卸裝、進(jìn)行除污等工作。廠務(wù)組：由廠務(wù)設(shè)施人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)處理廠務(wù)設(shè)施參與救災(zāi)。第5頁(yè)/共26頁(yè)各組別職責(zé)總負(fù)責(zé)人：三、四級(jí)意外事件時(shí)，由發(fā)生事故責(zé)任區(qū)域之高階主管擔(dān)任,于緊急應(yīng)變時(shí)負(fù)責(zé)綜理全廠之緊急事故處理重大決定，以及重要應(yīng)變行動(dòng)之指示。公關(guān)人員：三/四級(jí)事件時(shí)由公關(guān)部人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)對(duì)外消息的發(fā)布及謠言的澄清。財(cái)務(wù)人員：三/四級(jí)事件時(shí)由財(cái)務(wù)處人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)財(cái)產(chǎn)的損失評(píng)估及與保險(xiǎn)公司的理賠。急救組：三/四級(jí)事件時(shí)由醫(yī)護(hù)人員及制造部線上主管組成，負(fù)責(zé)對(duì)受傷人員的急救并聯(lián)絡(luò)救護(hù)單位。管制組：三/四級(jí)事件時(shí)由警衛(wèi)人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)暖冷區(qū)人員進(jìn)出的管制。第6頁(yè)/共26頁(yè)火災(zāi)報(bào)警器偵知目擊者告知火警訊號(hào)是是否為誤動(dòng)作？或已撲滅火災(zāi)？人為激活ERC通知廠務(wù)中控室及消防值班，要求消防工程師于事件發(fā)生部門ERT人員負(fù)責(zé)檢查發(fā)生源，同時(shí)廣播現(xiàn)場(chǎng)人員查找原因ERC廣播解除否ERC通知廠務(wù)中控室及消防值班，要求消防工程師以及發(fā)生區(qū)域人員負(fù)責(zé)第一時(shí)間控制火勢(shì)任何最先發(fā)現(xiàn)者，有義務(wù)在第一時(shí)間內(nèi)盡力控制火勢(shì)，同時(shí)立即通知ERCX各類意外事件處理程序-火災(zāi)第7頁(yè)/共26頁(yè)ERC廣播該區(qū)所有人員第一時(shí)間控制火勢(shì)，并召集ERT成員至指定地點(diǎn)等待事故指揮官進(jìn)一步指示。ERC通知相關(guān)課經(jīng)理級(jí)以上主管至指定地點(diǎn)擔(dān)任事故指揮官成立應(yīng)變指揮中心急救小組救災(zāi)小組ERT廠務(wù)小組緊急應(yīng)變中心疏散小組管制小組X各類意外事件處理程序-火災(zāi)第8頁(yè)/共26頁(yè)確認(rèn)災(zāi)區(qū)人員均已疏散手提式滅火器滅火火勢(shì)易于控制搶救組人員大火或爆炸與消防隊(duì)共同成立指揮中心協(xié)助消防隊(duì)滅火完成滅火搶救財(cái)物與復(fù)工事宜事故調(diào)查搜尋組人員準(zhǔn)備消防衣、SCBA、收集滅火器等否是結(jié)束救災(zāi)小組ERT災(zāi)區(qū)管制支援組人員協(xié)助進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)之救災(zāi)人員著防護(hù)裝備協(xié)助出災(zāi)害現(xiàn)場(chǎng)人員除污與卸裝各類意外事件處理程序-火災(zāi)第9頁(yè)/共26頁(yè)各類意外事件處理程序-氣體泄漏氣體外泄警報(bào)是否是否由氣體偵測(cè)器偵知由人員發(fā)現(xiàn)如異味任何最先發(fā)現(xiàn)者，有義務(wù)在第一時(shí)間內(nèi)通知ERC參照SMIC無(wú)塵室異味處理流程處理氣體偵測(cè)器偵知狀況解除可根據(jù)壓力、現(xiàn)場(chǎng)讀值、trendchart等訊息成立緊急應(yīng)變指揮中心“C”是第10頁(yè)/共26頁(yè)協(xié)助進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)之救災(zāi)人員著防護(hù)裝備急救小組救災(zāi)組緊急應(yīng)變中心廠務(wù)組疏散組控制空調(diào)、Exhaust及Scrubber等安全系統(tǒng)加大熱區(qū)相鄰暖區(qū)所有之建筑物空調(diào)系統(tǒng)之風(fēng)壓“C”持續(xù)監(jiān)控環(huán)境狀況救護(hù)傷患引導(dǎo)廠內(nèi)人員至安全地點(diǎn)支援組人搜尋人員搶救人員確認(rèn)已關(guān)閉上游供應(yīng)源并pumpdown相關(guān)gasline確認(rèn)災(zāi)區(qū)人員均已疏散準(zhǔn)備個(gè)人防護(hù)具、SCBA及手提式氣體偵測(cè)器災(zāi)區(qū)管制確認(rèn)防火門及防氣體擴(kuò)散設(shè)施已關(guān)閉是否有MDA供使用是否使用另外同種氣體偵測(cè)器（一個(gè)或2個(gè)）測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境與Exhaust，確認(rèn)還有殘留濃度使用手提式偵測(cè)器測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境及使用同種氣體偵測(cè)器（一個(gè)或兩個(gè)）測(cè)試Exhaust確認(rèn)還存有殘留濃度“D”“E”各類意外事件處理程序-氣體泄漏第11頁(yè)/共26頁(yè)“D”環(huán)境點(diǎn)讀值是否為零否進(jìn)行持續(xù)抽風(fēng)換氣是ERC解除警報(bào)事故調(diào)查，管路測(cè)漏，尋找出泄漏點(diǎn)進(jìn)行系統(tǒng)恢復(fù)和維修（須管路測(cè)漏達(dá)標(biāo)）采取根除同類事故再發(fā)生措施并實(shí)施“E”管制ERT人員之SCBA讀值和進(jìn)出的時(shí)間災(zāi)區(qū)人員管制協(xié)助出災(zāi)害現(xiàn)場(chǎng)人員除污與卸裝各類意外事件處理程序-氣體泄漏第12頁(yè)/共26頁(yè)Scrubberexhaust各類意外事件處理程序-氣體泄漏現(xiàn)場(chǎng)處理程序確認(rèn)關(guān)閉上游供應(yīng)源,如：關(guān)閉GC，關(guān)閉VMB之手動(dòng)閥及氣動(dòng)閥。使用Detector現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn):至少偵測(cè)機(jī)臺(tái)周圍的三處讀值管路測(cè)漏，同時(shí)立即隔離泄漏源:1、EEpumpdowngasline2、check環(huán)境點(diǎn)是否還是持續(xù)有讀值3、加大熱區(qū)相鄰暖區(qū)所有之建筑物空調(diào)系統(tǒng)之風(fēng)壓使用portabledetector確定是否有真實(shí)泄露。Step-3Step-4Step-1Step-2EquipmentFacilityGasCabinetEquipmentpumpD3(Environmentdetector):SiH4,PH3,CO,AsH3CLF3,DCS,Cl2,F2/Ar/NeD2(Tooldetector)D1(VMBdetector)PneumaticvalveManualvalveGasPanel第13頁(yè)/共26頁(yè)疏散組第14頁(yè)/共26頁(yè)疏散的目的★避免意外事故所產(chǎn)生之危害因子影響到事故區(qū)內(nèi)或周遭利害相關(guān)者之安全與健康第15頁(yè)/共26頁(yè)疏散組成員疏散組組長(zhǎng)：發(fā)生緊急意外事件時(shí)，整個(gè)疏散活動(dòng)的協(xié)調(diào)指揮者，負(fù)責(zé)整個(gè)疏散活動(dòng)的指揮協(xié)調(diào)，待各部門協(xié)調(diào)人將人員清點(diǎn)結(jié)果回報(bào)后，再整合向指揮官回報(bào)人員清點(diǎn)結(jié)果。疏散組協(xié)調(diào)人：各部門疏散活動(dòng)的協(xié)調(diào)負(fù)責(zé)人，負(fù)責(zé)該部門的疏散活動(dòng)的協(xié)調(diào)，并進(jìn)行人員清點(diǎn)，將清點(diǎn)結(jié)果及時(shí)回報(bào)疏散組組長(zhǎng)。第16頁(yè)/共26頁(yè)疏散組組長(zhǎng)人選1.單個(gè)單位疏散時(shí)，由該單位最高主管擔(dān)任疏散組長(zhǎng)，該單位下轄各部門主管擔(dān)任疏散協(xié)調(diào)人。2.若只涉及FAB1、FAB2、FAB3B單個(gè)廠內(nèi)多部門的人員疏散，則分別由FAB1、FAB2、FAB3B制造部主管擔(dān)任疏散組組長(zhǎng)；各部門的最高主管或其代理人該部門的疏散協(xié)調(diào)人。3.若涉及到多廠或單位的疏散，2005年由FAB2MFG(每年輪流擔(dān)任）主管擔(dān)任疏散組組長(zhǎng)，其他廠或單位的最高主管擔(dān)任疏散協(xié)調(diào)人。第17頁(yè)/共26頁(yè)意外事故疏散時(shí)機(jī)--火災(zāi)火災(zāi)：1.小范圍冒煙起火或單一機(jī)臺(tái)起火（二級(jí)狀況）：事故現(xiàn)場(chǎng)人員立即進(jìn)行滅火，熱區(qū)內(nèi)事故區(qū)域以外非救災(zāi)人員依ERC廣播疏散到相應(yīng)建筑物內(nèi)指定安全區(qū)域位置。2.發(fā)生大面積火災(zāi)（三級(jí)以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開(kāi)建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第18頁(yè)/共26頁(yè)意外事故疏散時(shí)機(jī)--氣體警報(bào)氣體警報(bào)：1.氣體警報(bào)達(dá)到第二階段（二級(jí)狀況）：發(fā)生意外事件區(qū)域人員依ERC廣播立即疏散到相應(yīng)建筑物指定安全區(qū)域位置。2.有害氣體管路松脫或斷掉，造成大量泄漏（三級(jí)以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開(kāi)建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第19頁(yè)/共26頁(yè)意外事故疏散時(shí)機(jī)--化學(xué)品泄漏化學(xué)品泄漏：1.非易燃性化學(xué)品大量泄漏或強(qiáng)烈異味導(dǎo)致人員不能忍受（二級(jí)狀況）

：發(fā)生意外事件區(qū)域人員依ERC廣播立即疏散到相應(yīng)建筑物指定安全區(qū)域位置。

2.易燃性化學(xué)品管路松脫或斷掉（三級(jí)以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開(kāi)建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第20頁(yè)/共26頁(yè)意外事故疏散時(shí)機(jī)--其它意外事件其它意外事件（二級(jí)狀況）：1.達(dá)到震度為四級(jí)的地震2.停電超過(guò)3秒鐘以上3.氣體偵測(cè)系統(tǒng)或Exhaust系統(tǒng)運(yùn)作停止，1分鐘內(nèi)沒(méi)有恢復(fù)系統(tǒng)運(yùn)作

發(fā)生意外事件區(qū)域人員依ERC廣播立即疏散到相應(yīng)建筑物指定安全區(qū)域位置。

4.達(dá)到震度為五級(jí)以上地震（三級(jí)以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開(kāi)建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第21頁(yè)/共26頁(yè)FAB1FAB2AluminumlineCopperlineO/S13FERC