利用晶體生長計(jì)算軟件FEMAG進(jìn)行晶體生長計(jì)算仿真的結(jié)果圖

晶體生長計(jì)算軟件FEMAG

之

仿真結(jié)果圖一覽當(dāng)前1頁，總共27頁。

FEMAG軟件概況

FEMAG軟件是世界上第一款商業(yè)的材料晶體生長數(shù)值模擬軟件，由比利時(shí)新魯汶大學(xué)教授Dr.

Fran?ois

Dupret于20世紀(jì)80年代中期領(lǐng)導(dǎo)開發(fā)。Dr.

Fran?ois

Dupret是第二屆晶體生長模型國際研討會(huì)主席、EUROTHERM相變熱力學(xué)研討會(huì)聯(lián)合主席、機(jī)械工程學(xué)位委員會(huì)主席，曾擔(dān)任國際晶體生長（Journal

of

Crystal

Growth）期刊主編。FEMAG軟件擁有國際上最先進(jìn)、最高效、最全面的晶體生長工藝模擬技術(shù)和多物理場(chǎng)耦合仿真功能，可模擬的晶體生長工藝包括提拉法（柴氏法，Cz法）、泡生法（Ky法）、區(qū)熔法（FZ法）、坩堝下降法（垂直布里茲曼法，VB法）、物理氣相傳輸法（PVT法）等，廣泛應(yīng)用于集成電路、太陽能光伏、半導(dǎo)體、藍(lán)寶石等領(lǐng)域。ON

Semiconductor（安森美半導(dǎo)體）、美國Kayex、Siltronic（世創(chuàng)電子材料）、AXT（美國晶體技術(shù)集團(tuán)）、韓國Nexolon、LG、韓國漢陽大學(xué)、Norut（挪威北方研究所）、日本SUMCO集團(tuán)、Gritek（有研新材料）、天津環(huán)歐半導(dǎo)體材料、中環(huán)股份、北京有色金屬研究總院、清華大學(xué)等企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)，均是FEMAG軟件的用戶。當(dāng)前2頁，總共27頁。FEMAG軟件產(chǎn)品目前，F(xiàn)EMAG軟件包括以下六款產(chǎn)品：FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶體生長模擬軟件FEMAGCZ/OX——FEMAG提拉/泡生法晶體生長模擬軟件FEMAG/FZ——FEMAG區(qū)熔法晶體生長模擬軟件FEMAG/DS——FEMAG三維定向凝固模擬軟件FEMAG/VB——FEMAGVB/VGF法晶體生長模擬軟件FEMAG/PVT——FEMAG物理氣相傳輸法晶體生長模擬軟件當(dāng)前3頁，總共27頁。應(yīng)用領(lǐng)域FEMAG軟件已在以下行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用：半導(dǎo)體用單晶硅生產(chǎn)與研發(fā)太陽能光伏用單晶硅、多晶硅錠生產(chǎn)與研發(fā)集成電路級(jí)單晶硅生產(chǎn)與研發(fā)航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片單晶高溫合金生產(chǎn)與研發(fā)LED光電技術(shù)用氧化物晶體和藍(lán)寶石晶體生產(chǎn)與研發(fā)晶體生長熔爐設(shè)計(jì)與生產(chǎn)當(dāng)前4頁，總共27頁。

FEMAG-CZ軟件

FEMAG直拉法模擬軟件（FEMAG-CZ）用于模擬直拉法工藝（包括Cz,MCz,VCz,泡生法）。FEMAG-CZ直拉法模擬軟件用于新的熱場(chǎng)設(shè)計(jì)，并研發(fā)新的方法以滿足新的商業(yè)需求點(diǎn)，比如：大直徑晶錠生長無缺陷硅晶錠生長提高成品率氧含量控制降低碳含量晶錠半徑和沿軸向的電阻率差異減小CCZ工藝仿真磁場(chǎng)設(shè)計(jì)藍(lán)寶石生長工藝設(shè)計(jì)當(dāng)前5頁，總共27頁。FEMAG-CZ直拉法模擬軟件當(dāng)前6頁，總共27頁。FEMAG3D熔體流動(dòng)模擬結(jié)果當(dāng)前7頁，總共27頁。

FEMAG動(dòng)態(tài)模擬

當(dāng)前8頁，總共27頁。直拉法晶體生長中的填隙原子和空位的動(dòng)態(tài)預(yù)測(cè)當(dāng)前9頁，總共27頁。

直拉法晶體硅生長中的OSF

（氧化誘生層錯(cuò)）預(yù)測(cè)

當(dāng)前10頁，總共27頁。

直拉法晶體生長的三維應(yīng)力分布

當(dāng)前11頁，總共27頁。

硅晶體直拉法生長氧含量預(yù)測(cè)

當(dāng)前12頁，總共27頁。

直拉法硅晶體生長硼濃度

分布預(yù)測(cè)

當(dāng)前13頁，總共27頁。

連續(xù)提拉法（CCZ）溫度預(yù)測(cè)

當(dāng)前14頁，總共27頁。

連續(xù)提拉法（CCZ）熔體自由表面上部的氬氣流場(chǎng)分布

當(dāng)前15頁，總共27頁。

在橫向磁場(chǎng)作用下的三維熔體流動(dòng)

當(dāng)前16頁，總共27頁。

在橫向磁場(chǎng)作用下的三維等溫線分布

當(dāng)前17頁，總共27頁。FEMAG-FZ軟件FEMAG區(qū)熔法軟件（FEMAG-FZ）用于模擬區(qū)熔法生長工藝（FZ,PFZ）FEMAG區(qū)熔法軟件專注于設(shè)計(jì)新的熱場(chǎng)，并研發(fā)新的方法以滿足新的商業(yè)需求點(diǎn)，比如：無缺陷晶錠生長提高成品率節(jié)省R&D成本當(dāng)前18頁，總共27頁。

FEMAG-FZ區(qū)熔法模擬軟件

區(qū)熔法工藝的等溫線預(yù)測(cè)當(dāng)前19頁，總共27頁。

FEMAG預(yù)測(cè)區(qū)熔法生長晶體缺陷

當(dāng)前20頁，總共27頁。

模擬晶體轉(zhuǎn)速對(duì)熔體流動(dòng)的影響

當(dāng)前21頁，總共27頁。FEMAG-DS軟件FEMAG定向凝固模擬軟件（FEMAG-DS）適用于鑄錠定向凝固過程工藝（DS,HEM,VB,VGF）FEMAG定向凝固模擬軟件用于設(shè)計(jì)新的熱場(chǎng)，并研發(fā)新的方法以滿足新的商業(yè)需求點(diǎn)，比如：晶體微結(jié)構(gòu)優(yōu)化擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模當(dāng)前22頁，總共27頁。

定向凝固工藝中的三維熔體流動(dòng)，速度剖面和界面預(yù)測(cè)

當(dāng)前23頁，總共27頁。

定向凝固鑄錠爐

當(dāng)前24頁，總共27頁。

定向凝固工藝等溫線和界面形狀的二維仿真圖

當(dāng)前25頁，總共27頁。

為晶粒生長研究所進(jìn)行的定向凝固速度分布預(yù)測(cè)

當(dāng)前26頁，總共27頁。參考所有仿真圖片來自文字的翻譯原文來自更多