純水標準操作程序

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日期修訂內容/摘要頁次修訂人純水系統(tǒng)操作規(guī)程

1.目的

使運行人員把握純水制備系統(tǒng)的正常運行操作2.范圍

適用于水源水泵房純水原水泵的啟停操作及主廠房C區(qū)純水站內的純水制備系統(tǒng)3.權責

3.1運行監(jiān)管單位應嚴格按系統(tǒng)流程進行操作，確鑿填寫運行記錄，隨時保證系統(tǒng)可持續(xù)并維持

穩(wěn)定的供水品質和壓力

3.2使用單位應保證正確使用超純水，嚴禁擅自將超純水作其它用途、擅自增加用水點4.名詞定義

4.1原水：未經處理的自然水（地表、地下水）

4.2多介質過濾器：主要是去除水中可見的懸浮物和固體顆粒。多介質過濾器的濾材尋常用石英

砂、無煙煤

4.3活性炭過濾器：主要去除余氯、有機物，濾材尋常用石英砂、活性炭4.4SDI:污泥堵塞指數，主要判斷反滲透進水膠體和顆粒污染程度的技術指標4.5余氯：指游離性質余氯，反滲透進水條件的指標之一

4.6反滲透(RO)：是一種借助于選擇透過（半透過）性膜的功能，以壓力作為推動力的膜分開技

術,為滲透的逆過程，在高壓作用下，使水分子通過RO膜流出純水，而分子量較大的陰陽離子被濃縮在膜內通過濃水管排出

4.7反滲透產水：產品水，在反滲透系統(tǒng)運行過程中，透過RO膜進入RO水箱的那一部分水4.8反滲透濃水：在反滲透系統(tǒng)運行中，未透過反滲透膜而被排出的,被濃縮的一部分水4.9電導率：表示水導電的能力(即水中帶電離子含量的多少)，單位：μs/cm4.10脫鹽率：表示的是反滲透系統(tǒng)對原水鹽份的祛除能力4.11回收率：表示原水透過反滲透膜所得到的產品水的量

4.12EDI：即電再生離子交換除鹽工藝；是電滲析除鹽技術與離子交換除鹽技術的有機結合及工

藝技術發(fā)展而產生的一種更新的純水除鹽工藝；該工藝主要被用來取代傳統(tǒng)的電滲析和混合

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離子交換除鹽工藝，從而使系統(tǒng)在無需酸、堿再生的狀況下，可連續(xù)制取高純水

4.13TOC：意為總有機碳，其含量大小象征水中有機物污染程度。TOC值高意味水中有機物含量

也高

4.14混床：由強酸性陰離子交換樹脂同強堿性陽離子交換樹脂按1.5：1的比例均勻混合而成，

一次性使用，不可再生。專門用于電子行業(yè)制造工藝用超純水

4.15DIW：去離子水，尋常使用電阻率衡量其指標，數值越大越好（單位：MΩ.cm）5作業(yè)程序

5.1開機準備

5.1.1檢查水源水泵房純水系統(tǒng)原水泵就地控制柜電源是否送電

5.1.2檢查純水站控制室主控制柜是否送電，電壓應大于380V-400V以上

5.1.3檢查壓縮空氣是否供應穩(wěn)定，開關是否開啟，減壓閥前壓力應保持大于0.8MPa以上5.1.4檢查PAC加藥裝置是否完好，藥劑是否配制5.1.5檢查NaCLO加藥裝置是否完好，藥劑是否配制5.1.6檢查NaHSO3加藥裝置是否完好，藥劑是否配制5.1.7檢查阻垢劑加藥裝置是否完好，藥劑是否配制5.1.8檢查NaOH加藥裝置是否完好，藥劑是否配制

5.1.9檢查原水池液位狀況，液位應持續(xù)保持在中液位以上可保證純水制備系統(tǒng)的正常運行5.1.10檢查中間水箱液位是否在中液位以下，預處理系統(tǒng)當中間水箱低于中液位以下，方可

開啟進入運行狀態(tài)

5.1.11檢查反滲透水箱液位是否在中液位以下，反滲透系統(tǒng)當反滲透水箱低于中液位以下，

方可開啟進入制水狀態(tài)、氮封水箱的液位狀況

5.1.12檢查氮封水箱液位是否在中液位以下，EDI系統(tǒng)當氮封水箱低于中液位以下，方可開

啟進入制水狀態(tài)

5.2開機操作

5.2.1開機操作（預處理）

5.2.1.1在純水站內將預處理系統(tǒng)將PAC裝置計量泵JY-DI-P004加藥泵開啟，PAC加藥

濃度為3-10PPM，配藥濃度：1%，即每100L溶液，參與PAC化學純以上純度試

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劑3.3Kg。加藥泵的沖程與速度之積等于60%左右

5.2.1.2在純水站內將預處理系統(tǒng)將NaCLO裝置計量泵JY-DI-P005加藥泵開啟，NaCLO

加藥濃度為1-3PPM，配藥濃度：0.5%，即每100L溶液，參與NaCLO化學純以上純度試劑5Kg。加藥泵的沖程與速度之積等于50%左右

5.2.1.3將多介質壓縮空氣JY-DI-V0029閥打至全開，壓力應大于0.2MPa以上5.2.1.4將水源水泵房1#、2#原水池兩端吸水口主管閥門打至全開5.2.1.5將水源水泵房原水JY-DI-V0001進水閥打至全開

5.2.1.6將水泵房1#原水泵JY-DI-V0002進水閥和2#原水泵JY-DI-V0003進水閥打至全開5.2.1.7將水泵房1#原水泵JY-DI-V0004出水閥和2#原水泵JY-DI-V0005出水閥打至全開5.2.1.8在水源水泵房的原水泵就地控制泵上將預處理系統(tǒng)1#原水JY-DI-P001給水泵和預

處理系統(tǒng)2#原水JY-DI-P002給水泵打至自動狀態(tài)

5.2.1.9將預處理系統(tǒng)1#多介質過濾器（編號：JY-DI-F006）的JY-DI-V0011進水閥和預

處理系統(tǒng)2#多介質過濾器（編號：JY-DI-F007）的JY-DI-V0020進水閥打至全開

5.2.1.10將預處理系統(tǒng)1#多介質過濾器（編號：JY-DI-F006）的JY-DI-V0019出水閥和

預處理系統(tǒng)2#多介質過濾器（編號：JY-DI-F007）的JY-DI-V0028出水閥打至全開

5.2.1.11將預處理系統(tǒng)1#活性炭過濾器（編號：JY-DI-F008）的JY-DI-V0032進水閥和

預處理系統(tǒng)2#活性炭過濾器（編號：JY-DI-F009）的JY-DI-V0040進水閥打至全開

5.2.1.12將預處理系統(tǒng)1#活性炭過濾器（編號：JY-DI-F008）的JY-DI-V0039出水閥和

預處理系統(tǒng)2#活性炭過濾器（編號：JY-DI-F009）的JY-DI-V0047出水閥打至全開

5.2.1.13將1#中間水箱的JY-DI-V0048進水閥和2#中間水箱的JY-DI-V0049進水閥打至

全開

5.2.1.14將預處理系統(tǒng)JY-DI-P003反洗泵的JY-DI-V0006進水閥和JY-DI-V0007打至全

開

5.2.1.15將預處理系統(tǒng)1#多介質過濾器（編號：JY-DI-F006）的JY-DI-V0030反洗進氣閥

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和預處理系統(tǒng)2#多介質過濾器（編號：JY-DI-F007）的JY-DI-V0031反洗進水閥打至半開

5.2.1.16在純水站控制室內的控制柜上將預處理系統(tǒng)反洗水泵打至自動狀態(tài)，此時若中間

水箱液位低于中液位以下，預處理系統(tǒng)將會自動啟動往中間水箱補水

5.2.1.17檢測ORP值，若ORP值小于200mv時，可將6.2.2中的預處理系統(tǒng)將NaCLO

裝置計量泵JY-DI-P005加藥泵關閉，若ORP值大于200mv時應開啟加藥泵

5.2.1.18當預處理系統(tǒng)1#多介質過濾器（編號：JY-DI-F006）和預處理系統(tǒng)2#多介質過

濾器（編號：JY-DI-F007）的運行周期運行到監(jiān)控界面所設定的40hr時，控制柜中的PLC則會自動向其中一臺多介質過濾器的就地MF控制柜和反洗水泵發(fā)出信號進行反洗，設定的整個反洗時間為44min，具體反洗步驟如下：

5.2.1.18第一步為排水階段，開啟1#多介質4號JY-DI-V0015氣動閥、1#多介質5號

JY-DI-V0016氣動閥和1#多介質7號JY-DI-V0018氣動閥或2#多介質4號JY-DI-V0024氣動閥、2#多介質5號JY-DI-V0025氣動閥和2#多介質7號JY-DI-V0027氣動閥排放一定的水，讓空氣擦洗時有足夠的膨脹空間，該步驟時間設定為4min

5.2.1.19其次步為空氣擦洗階段，開啟1#多介質4號JY-DI-V0015氣動閥和1#多介質6

號JY-DI-V0017氣動閥或2#多介質4號JY-DI-V0024氣動閥和2#多介質6號JY-DI-V0026氣動閥讓砂相互磨擦，去除砂表面雜物。空氣壓力應≤0.15Mpa，該步驟時間設定為10min

5.2.1.20第三步為沉降緩沖階段，開啟1#多介質4號JY-DI-V0015氣動閥和1#多介質7

號JY-DI-V0018氣動閥或2#多介質4號JY-DI-V0024氣動閥和2#多介質7號JY-DI-V0027氣動閥，空氣擦洗時，濾料膨脹后，過濾器需靜止幾分鐘，讓濾料均勻有序緩慢的下降下來，該步驟時間設定為3min

5.2.1.21第四步為反洗階段，開啟1#多介質4號JY-DI-V0015氣動閥和1#多介質3號

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