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半導(dǎo)體器件物理之物理電流電壓特性第1頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一正向和反向偏置下的能帶圖、電勢(shì)分布和載流子濃度分布2第2頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一熱平衡時(shí),波耳茲曼關(guān)系:本征能級(jí)電勢(shì)費(fèi)米能級(jí)電勢(shì)熱平衡時(shí)3第3頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一外加電壓,結(jié)兩側(cè)的少數(shù)載流子密度變化,電子和空穴的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)正向偏置反向偏置4第4頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一根據(jù)電流密度方程:同理:電子和空穴的電流密度正比于各自的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)梯度熱平衡狀態(tài):5第5頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一正向和反向偏置下的能帶圖、電勢(shì)分布。6第6頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一結(jié)上的靜電勢(shì)差:P型一側(cè)耗盡區(qū)邊界x=-xp的電子濃度:n型一側(cè)耗盡區(qū)邊界x=xn的空穴濃度:理想電流電壓方程最重要的邊界條件。PN結(jié)邊界處的非平衡少數(shù)載流子濃度:正向偏壓時(shí),邊界的少數(shù)載流子濃度比平衡時(shí)要大,反向偏壓時(shí)要小.7第7頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一正向和反向偏置下的能帶圖和載流子濃度分布8第8頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一根據(jù)連續(xù)性方程,靜態(tài)時(shí),對(duì)N區(qū):凈復(fù)合率利用電中性(nn-nn0)~(pn-pn0),結(jié)合愛(ài)因斯坦關(guān)系:乘以ppn乘以nnn+9第9頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一其中:小注入假設(shè):n型區(qū)比較10第10頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一無(wú)電場(chǎng)的中性區(qū),進(jìn)一步簡(jiǎn)化:x=xn:邊界條件:x=-xp:同理11第11頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一正向偏置狀態(tài):載流子分布和電流密度分布12第12頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一反向偏置狀態(tài):載流子分布和電流密度分布13第13頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一總電流:肖克萊方程,理想二極管定律理想的電流-電壓特性(a)線性坐標(biāo),(b)半對(duì)數(shù)坐標(biāo)14第14頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一溫度對(duì)飽和電流密度的影響:p+-n單邊突變結(jié):施主濃度ND,都與溫度有關(guān)與指數(shù)項(xiàng)相比,前面一項(xiàng)與溫度的關(guān)系并不重要.反向,|JR|~JS,電流按照關(guān)系隨溫度增加;正向,電流大致按變化.15第15頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一3。電流-電壓特性產(chǎn)生-復(fù)合過(guò)程

表面效應(yīng)—表面離子電荷耗盡層內(nèi)載流子的產(chǎn)生和復(fù)合大注入串聯(lián)電阻效應(yīng)大的反向電場(chǎng),結(jié)的擊穿偏離理想情形反向偏置下耗盡區(qū)主要的復(fù)合-產(chǎn)生過(guò)程載流子發(fā)射過(guò)程

產(chǎn)生與復(fù)合過(guò)程對(duì)電流-電壓特性的影響:正向偏置下耗盡區(qū)主要的復(fù)合-產(chǎn)生過(guò)程載流子俘獲過(guò)程

產(chǎn)生-復(fù)合速率16第16頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一電子-空穴對(duì)的產(chǎn)生率:有效壽命pn<ninn<ni

反向偏置下載流子發(fā)射耗盡區(qū)內(nèi)的產(chǎn)生電流:耗盡層寬度只有能級(jí)Et靠近本征費(fèi)米能級(jí)的產(chǎn)生中心,對(duì)產(chǎn)生率有顯著貢獻(xiàn)17第17頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一突變結(jié):若有效壽命隨溫度緩變,則產(chǎn)生電流與ni有同樣的溫度關(guān)系,線性緩變結(jié):總的反向電流=中性區(qū)的擴(kuò)散電流+耗盡區(qū)的產(chǎn)生電流:室溫下:若ni很大(例如Ge),擴(kuò)散電流為主反向電流符合理想情況若ni很?。ɡ鏢i),產(chǎn)生電流占優(yōu)勢(shì)高溫下:擴(kuò)散電流為主在給定溫度下,產(chǎn)生電流正比于耗盡層寬度,耗盡層寬度又與外加反向偏壓有關(guān):18第18頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一實(shí)際Si二極管的電流-電壓特性產(chǎn)生-復(fù)合電流區(qū)擴(kuò)散電流區(qū)大注入?yún)^(qū)串聯(lián)電阻效應(yīng)產(chǎn)生-復(fù)合與表面效應(yīng)等引起的反向漏電流19第19頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一正向偏置下:俘獲過(guò)程

擴(kuò)散電流+復(fù)合電流Jrec若Ei=Et,n=p=將代入復(fù)合率20第20頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一當(dāng)電子與空穴的濃度和(n+p)為最小值時(shí),復(fù)合率U在耗盡區(qū)達(dá)到最大:即Ei恰好位于EFn和EFp的中間:21第21頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一V>3kT/q時(shí),有:總的正向電流:實(shí)驗(yàn)結(jié)果一般可用經(jīng)驗(yàn)公式:復(fù)合電流占優(yōu)勢(shì):n=2,擴(kuò)散電流占優(yōu)勢(shì):n=1,兩種電流相當(dāng):1<n<2.

復(fù)合電流:理想系數(shù)22第22頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一實(shí)際Si二極管的電流-電壓特性產(chǎn)生-復(fù)合電流區(qū)擴(kuò)散電流區(qū)大注入?yún)^(qū)串聯(lián)電阻效應(yīng)產(chǎn)生=復(fù)合與表面效應(yīng)等引起的反向漏電流23第23頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一正向偏置,大電流密度少數(shù)載流子密度與多數(shù)載流子密度可以比擬,在注入?yún)^(qū)產(chǎn)生電場(chǎng)和載流子的漂移運(yùn)動(dòng)。3。電流-電壓特性大注入條件

p+-n結(jié)正向大注入效應(yīng)P區(qū)n區(qū)載流子密度X=0n(x)p(x)EX=x’24第24頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一必須同時(shí)考慮電子和空穴的漂移和擴(kuò)散電流分量??昭娏髅芏龋捍藚^(qū)間的電子電流密度:可以求出漂移電場(chǎng):大注入使擴(kuò)散系數(shù)加倍25第25頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一N區(qū)有電場(chǎng),則結(jié)區(qū)以外的區(qū)域產(chǎn)生壓降,使得加在結(jié)上的電壓降低。結(jié)區(qū)壓降N區(qū)壓降大注入時(shí),結(jié)上的壓降與外電壓和n區(qū)少子濃度有關(guān)。26第26頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一由于在結(jié)區(qū)以外的壓降,大注入使電流-電壓關(guān)系改變,由原來(lái)的exp(qV/kT),變成exp(qV/2kT)27第27頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一工作在不同電流密度下Sip+-n結(jié)的載流子濃度,本征費(fèi)米能級(jí),準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)電流密度:10A/cm2103A/cm2104A/cm2p+-n結(jié)28第28頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一在大注入時(shí),還要考慮與準(zhǔn)中性區(qū)和歐姆接觸的電阻相聯(lián)系的串聯(lián)電阻效應(yīng)為減少PN結(jié)的體電阻,采用外延方法,可大大降低串聯(lián)電阻效應(yīng).串聯(lián)電阻效應(yīng)串聯(lián)電阻使得中性區(qū)上的壓降IR降低了耗盡區(qū)的偏壓.理想電流降低一個(gè)因子,使電流隨電壓的上升而變慢。當(dāng)電流足夠大時(shí),外加電壓的增加主要降在串聯(lián)電阻上,電流-電壓近似線性關(guān)系。29第29頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一4。擴(kuò)散電容反向偏置耗盡層電容占據(jù)了結(jié)電容的大部分,正向偏置中性區(qū)少數(shù)載流子密度的再分布對(duì)結(jié)電容有貢獻(xiàn)----擴(kuò)散電容。正向偏置+一小的交流信號(hào):總電壓:

總電流:

電壓和電流密度的小信號(hào)振幅可得到耗盡區(qū)邊界的電子和空穴密度隨時(shí)間的變化。

將總電壓代入如下方程,30第30頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一耗盡區(qū)邊界的空穴密度小信號(hào)交流分量:

若V1<<kT/q=VT耗盡區(qū)邊界的電子密度也類似:

直流分量交流分量耗盡區(qū)邊界的空穴密度:

31第31頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一將pn代入連續(xù)性方程,或:考慮到G=0,32第32頁(yè),共35頁(yè),2023年,2月20日,星期一邊界條件:N型中性區(qū)寬度>>LP,可得到N型中性區(qū)空穴的交流分量:x=xn處,空穴電流

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